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本发明公开了一种西门子法多晶硅尾气处理方法，包括以下步骤：（１）配料：将四氯化硅与水按摩尔比０．５～０．８∶１～２．４混匀；（２）反应：对混合物料进行加热回流，温度为１００～１５０℃，回流时间为２～４小时；（３）分离：反应完毕后，将产生的固...
该专利属于王宏达所有，仅供学习研究参考，未经过王宏达授权不得商用。

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