【技术实现步骤摘要】
C:\Documents and Settings\Administrator\Local Settings\Temporary Internet Files\Content.IE5\WYZ6MGRR\CA6JGTIB.png0006为此目的，根据本法明的方法特征在于样本的厚度T被确定，透射粒子必须穿过的样本材料的长度L由样本的厚度T得来，并且将孔径半角设定为值oc ,使得0.5R(oc )/L《tan(oc ) < 2R(oc )/L,其结果是，样本用度范围内基本恒定的直径。0007如本领域普通技术人员了解，跨接直径取决于射束的孔径半角。这在例4口透射电子显f毁4竟法(Transmission Electron Microscopy) (L. Reimer，Springer Verlag， 4th ed., ISBN 3-540-62568-2)中有解释。在所述手册4.2.2章节中，更具体地说，在公式4.18和图4.13中，其显示了跨接直径为射束孔径半角的一函数，最小跨接直径在一定孔径半角处出现，而较大和较小孔径半角产生更大跨接直径。为了获得最佳分辨率，本...
【技术保护点】
用于获取粒子光学装置中样本（１）的透射图像的方法，所述装置被配备用以通过使用粒子的精密聚焦射束（２）扫描样本并检测透射通过样本（４，５Ａ，５Ｂ，５Ｃ）的粒子来使样本成像，所述精密聚焦束显示最小直径（３），又称跨接（ｃｒｏｓｓ－ｏｖｅｒ），跨接直径Ｒ为精密聚焦束的孔径半角α的函数，该方法包括： 通过使用粒子的精密聚焦射束（２）扫描样本并检测透射通过样本（４，５Ａ，５Ｂ，５Ｃ）的粒子获取样本（１）的图像， 其特征在于，在图像被获取前， 样本的厚度Ｔ被确定或估算， 透射粒子必须穿过的样本材料的长度Ｌ由样本的厚度Ｔ获取，并且 孔径半角α被设为一值...
【技术特征摘要】
EP 2007-11-21 07121186.61. 用于获取粒子光学装置中样本(1)的透射图像的方法，所述装置被配备用以通过使用粒子的精密聚焦射束(2)扫描样本并检测透射通过样本(4，5A，5B，5C)的粒子来使样本成像，所述精密聚焦束显示最小直径(3)，又称跨接(cross-over)，跨接直径R为精密聚焦束的孔径半角α的函数，该方法包括通过使用粒子的精密聚焦射束(2)扫描样本并检测透射通过样本(4，5A，5B，5C)的粒子获取样本(1)的图像，其特征在于，在图像被获取前，样本的厚度T被确定或估算，透射粒子必须穿过的样本材料的长度L由样本的厚度T获取，并且孔径半角α被设为一值，使得0. 5R(α)/L≤tan(α)≤2R(α)/L，其结果是，样本用射束被扫描，该射束具有在与透射粒子必须穿过的样本材料的长度L相等的长度上基本恒定的直径。2. 根据权利要求1所述的方法，其中样本(1)与精密聚焦束(2)基本垂直， 并且透射粒子(4， 5A， 5B, 5C)必须穿过的样本材料的长度L大致等于样 本的厚度T,并且精密聚焦束的孔径半角oc设为值oc ,使得0.5R(oc )/T< tan(oc ) <2R(oc )/T。3. 根据权利要求1所述的方法，其中与样本(1)表面相正交的线在图像被 获取前相对于精密聚焦束(2)倾斜过一，角，其结果是透射粒子(4， 5A, 5B, 5C)必须穿过的样本材料的长度L等于样本的厚度T与倾斜角卩的余 弦之积，并且将精密聚焦束的孔径半角a设为值a ,使得0.5R(a ) 'cos([3 )/T 《tan(oc ) 《2R(oc ) cos([3 )/T。4. 根据权利要求1所述的方法，其中该方法进一步包括通过以下方法形成 3D重构确定最大倾斜角P max及多个将要获得的图像，确定透射粒子必须穿过的样本材料的最大长度Lmax， Lmax二T/cos(卩 max),将精密聚焦束(2)的孔径半角(x设为值a ，使得0.5R(a ) 'cos...
【专利技术属性】
技术研发人员：A亚库谢夫斯卡，E索尔蒂，U鲁肯，B弗赖塔格，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]
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