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本发明揭示了用于扫描透射电子显微镜（ＳＴＥＭ）的方法。在ＳＴＥＭ中，用电子聚焦束（２）扫描样本（１）。跨接直径（３）能低到０．１ｎｍ。本领域普通技术人员了解，跨接直径取决于射束的孔径半角α。因此，为了获得最佳分辨率，选取跨接直径Ｒ（α）最小...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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