分离装置及分离方法制造方法及图纸

本发明专利技术是有关于一种分离装置及分离方法。该分离装置，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，此分离装置包括一平台、一传动部、一溶解部、一清洗部及一第一分隔板。传动部配置于平台上，以移动电子本体及基板。溶解部配置于平台上，是用以喷洒一溶剂于电子本体及基板。清洗部配置于平台上，是用以清洗电子本体。第一分隔板是位于溶解部及清洗部之间，此第一分隔板具有至少一第一通孔，是仅使电子本体穿越，藉由电子本体穿越第一通孔，而基板无法通过第一通孔，而使电子本体及基板分离。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，特别是涉及一种水平移动电子本体及基板以进行分离及收集自动化程序的。
技术介绍
—般传统电子本体(例如半导体晶圆、太阳能电池或面板)的清洗方式是以机械 手臂送至清洗处清洗，接着，再将电子本体以机械手臂运送至烘干处烘干电子本体上的液 体，然后再将烘干的电子本体以机械手臂原封不动的送到储存区储存。 由上述可知，先前技术自电子本体准备清洗、烘干至储存区装填完成的一连串的 作业，皆是个别独立动作而不连贯，无法将所有过程整合为一个连续的流程，造成过多时 间的花费，成本的提高及维修费用的增加，并且每一段作业上，其每一动作仅作动于单一晶 圆，而无法分批及大量处理晶圆，使得整体效率大幅下降。 另外，面对电子本体日趋薄化，导致日后薄形化的电子本体上必须添加一粘附的 基板，以防止搬运及动作时毁损，而现有电子本体清洗装置，并无使电子本体及基板分离的 装置。 由此可见，上述现有的电子本体清洗装置在产品结构、清洗方法与使用上，显然仍 存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽 心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品及方法又 没有适切的结构及方法能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何 能创设一种新的，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需 改进的目标。 有鉴于上述现有的电子本体清洗装置存在的缺陷，本专利技术人基于从事此类产品设 计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设 一种新的，能够改进一般现有的电子本体清洗装置，使其更具有实用 性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发 明。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，克服现有的电子本体清洗装置存在的缺陷，而提供一种新型 的，所要解决的技术问题是使其利用具有溶解部、清洗部、烘干部及收 集部的一平台，可大量分离相粘合的电子本体及基板。 本专利技术的另一 目的在于，克服现有的电子本体清洗装置存在的缺陷，而提供一种 新的分离装置，所要解决的技术问题是使其利用相隔溶解部及清洗部的分隔板上的通孔， 以分离相粘合的电子本体及基板。 本专利技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本专利技术提出 的一种分离装置，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，该分离装置包括一平台；一传4动部，配置于该平台上，以移动该电子本体及该基板；一溶解部，配置于该平台上，是用以喷洒一溶剂于该电子本体及该基板；一清洗部，配置于该平台上，是用以清洗该电子本体；以及一第一分隔板，是位于该溶解部及该清洗部之间，该第一分隔板具有至少一第一通孔，该第一通孔的高度是仅使该电子本体穿越，而该基板无法通过该第一通孔，致使该电子本体及该基板分离。 本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。 前述的分离装置，其中所述的溶解部具有一第一喷嘴，藉由该第一喷嘴喷洒该溶剂，以溶解该电子本体及该基板间的粘着剂。 前述的分离装置，其中所述的清洗部具有一第二喷嘴，藉由该第二喷嘴的喷洒，以进一步带动该电子本体及该基板其中之一移动。 前述的分离装置，其中所述的传动部是为一滚轮组或一流体，以移动该电子本体及该基板其中之一。 前述的分离装置，其还包含一烘干部，该烘干部是设置于该平台上，用以烘干该电子本体及该基板其中之一。 前述的分离装置，其还包括一收集部，该收集部是设置于该平台上，用以收集该电子本体及该基板其中之一。 前述的分离装置，其还包括一基板推移部，该基板推移部是设置于该平台上，用以使已分离的该基板引导至一第二通孔。 前述的分离装置，其中所述的该电子本体是晶圆、太阳能电池及面板其中之一。 本专利技术的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本专利技术提出的一种分离方法，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，该分离方法包括下列步骤 i)配置一平台、一传动部、一溶解部、一基板推移部、一清洗部、一第一分隔板，且该第一分隔板是设置于该溶解部及该清洗部之间； ii)利用该传动部带动相粘合的该电子本体及该基板往该第一分隔板移动； iii)利用溶解部喷射一溶剂，以溶解该电子本体上所粘附的粘着剂； iv)利用第一分隔板上的一第一通孔使该电子本体穿越至该清洗部，且使该基板无法通过第一通孔，藉此让相粘合的该电子本体及该基板分离； v)利用该基板推移部的引导，使已分离的该基板穿越该第一分隔板上的一第二通孔至该清洗部；以及 vi)利用该清洗部所喷射的清洗剂加以清洗已分离的该电子本体及该基板，以去除该电子本体及该基板上所粘附的粘着剂。 本专利技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。 前述的分离方法，其还包含下列步骤 利用该清洗部所喷射的清洗剂带动该电子本体穿越该第二分隔板上的一第三通孔、该基板穿越第二分隔板上的一第四通孔至烘干部。 前述的分离方法，其还包含下列步骤 设置一烘干部于该平台上，分别烘干已分离的该电子本体及该基板。 前述的分离方法，其还包含下列步骤 设置一收集部于该平台上，用以收集已分离的该电子本体及该基板。 前述的分离方法，其中所述的溶解部具有一第一喷嘴，藉由该第一喷嘴喷洒该溶剂，以溶解该电子本体及该基板间的粘着剂。 前述的分离方法，其中所述的清洗部具有一第二喷嘴，藉由该第二喷嘴的喷洒，以进一步带动该电子本体及该基板其中之一移动。 前述的分离方法，其中所述的传动部是为一滚轮组或一流体，以移动该电子本体及该基板其中之一。 前述的分离方法，其中所述的电子本体是晶圆、太阳能电池及面板其中之一。 本专利技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技术方案，本专利技术至少具有下列优点及有益效果 本专利技术的利用具有溶解部、清洗部、烘干部及收集部的一平台，达到大量分离相粘合的电子本体及基板的功效。 本专利技术的分离装置，利用相隔溶解部及清洗部的分隔板上的通孔，达到分离相粘合的电子本体及基板的功效。 综上所述，本专利技术是有关于一种。该分离装置，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，此分离装置包括一平台、一传动部、一溶解部、一清洗部及一第一分隔板。传动部配置于平台上，以移动电子本体及基板。溶解部配置于平台上，是用以喷洒一溶剂于电子本体及基板。清洗部配置于平台上，是用以清洗电子本体。第一分隔板是位于溶解部及清洗部之间，此第一分隔板具有至少一第一通孔，是仅使电子本体穿越，藉由电子本体穿越第一通孔，而基板无法通过第一通孔，而使电子本体及基板分离。本专利技术的具有大量分离相粘合的电子本体及基板的功效。本专利技术具有上述诸多优点及实用价值，其不论在产品结构、分离方法或功能上皆有较大的改进，在技术上有显著的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的电子本体清洗装置具有增进的突出多项功效，从而更加适于实用，诚为一新颖、进步、实用的新设计。 上述说明仅是本专利技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本专利技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明 图1是本专利技术分离装置的较佳实施例的立体结构示意图。 图2是本专利技术分离装置的较佳实施例的第一作动示意图。 图3是本专利技术分离装置的较佳实施例的第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种分离装置，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，其特征在于该分离装置包括：一平台；一传动部，配置于该平台上，以移动该电子本体及该基板；一溶解部，配置于该平台上，是用以喷洒一溶剂于该电子本体及该基板；一清洗部，配置于该平台上，是用以清洗该电子本体；以及一第一分隔板，是位于该溶解部及该清洗部之间，该第一分隔板具有至少一第一通孔，该第一通孔的高度是仅使该电子本体穿越，而该基板无法通过该第一通孔，致使该电子本体及该基板分离。

【技术特征摘要】
一种分离装置，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，其特征在于该分离装置包括一平台；一传动部，配置于该平台上，以移动该电子本体及该基板；一溶解部，配置于该平台上，是用以喷洒一溶剂于该电子本体及该基板；一清洗部，配置于该平台上，是用以清洗该电子本体；以及一第一分隔板，是位于该溶解部及该清洗部之间，该第一分隔板具有至少一第一通孔，该第一通孔的高度是仅使该电子本体穿越，而该基板无法通过该第一通孔，致使该电子本体及该基板分离。2. 根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其中所述的溶解部具有一第一喷嘴， 藉由该第一喷嘴喷洒该溶剂，以溶解该电子本体及该基板间的粘着剂。3. 根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其中所述的清洗部具有一第二喷嘴， 藉由该第二喷嘴的喷洒，以进一步带动该电子本体及该基板其中之一移动。4. 根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其中所述的传动部是为一滚轮组或一 流体，以移动该电子本体及该基板其中之一。5. 根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其还包含一烘干部，该烘干部是设置 于该平台上，用以烘干该电子本体及该基板其中之一。6. 根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其还包括一收集部，该收集部是设置 于该平台上，用以收集该电子本体及该基板其中之一。7. 根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其还包括一基板推移部，该基板推移 部是设置于该平台上，用以使已分离的该基板引导至一第二通孔。8. 根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于其中所述的该电子本体是晶圆、太阳 能电池及面板其中之一。9. 一种分离方法，是用以分离一相粘合的电子本体及基板，其特征在于该分离方法包 括下列步骤配置一平台、一传动部、一溶解部、一基板推移...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎源欣，杨秋峰，
申请(专利权)人：亚泰半导体设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]