The invention provides a high proportion mixing device, which has a first and second feeding pipes, a first and second first atomization/fine dose control device and a reaction chamber. The first and second feeding pipes are arranged in a multi-layer sleeve mode. The first and second atomization/fine dose control devices are located at the end of the first and second feeding pipes respectively, and the reaction chamber is used to accommodate the first and second feeding pipes, and the first and second atomization/fine dose control devices. The first and second feeding pipes receive the first and second liquid agents respectively. The first and the second atomization/micronization dosage control devices atomize or micronize the first and second liquid agents separately, and spray the first and second liquid agents separately on the wall of the reaction chamber to mix the first and second liquid agents separately.
【技术实现步骤摘要】
高配比混料装置与使用其的制剂生产系统
本专利技术关于一种用于生产制剂的高配比混料装置及使用其的制剂生产系统,尤其指一种反应时间较快、反应效率较佳且能够微型化的高配比混料装置与使用其的制剂生产系统。
技术介绍
在半导体制程、光电制程、医药制程、化学制程、食品制程或其他制程中,往往需要使用由不同液态剂别混合的制剂来调和产品或辅助产品制造。于制造制剂的混料制程中,因应于反应时间与调和比例的不同,不同液态剂别之间可能会有很大的容积差异(亦即,多个液态剂别之间具有高配比)。于公知技术中,进行高配比液态剂别混料的方式是控制入料比例,以单一注入孔或注入流道的方式进行混合。进一步地说,公知技术是以单点方式将小量液态剂别注入大量的液态剂别中,再进行搅拌,以达到混合目的。然而,上述作法并无法获得完整的混合效果。再者,针对需要快速反应的情况,可能会因为无法均匀地分散进行混合,而产生一些缺点,例如:酸碱中和的结块、混合失败或混合不良等。另外一方面,公知技术用于半导体制造厂或光电制造厂的混料装置多数为体积庞大的桶槽结合长路径的管线系统的设备,因此,公知技术的混料装置不但占据了庞大的空间,甚至不易搬移,或为固定式设施,而无法搬移。
技术实现思路
因此,为了克服公知技术的不足之处,本专利技术实施例提供一种用于生产制剂的高配比混料装置及使用其的制剂生产系统,其将多个不同的液态剂别雾化或细微化的分散处理后,将雾化或细微化的液态剂别喷洒在反应室的液态剂别混合壁面,以达到均匀、快速与高效率混合的目的。再者,上述高配比混料装置及使用其的制剂生产系统仅需在局限的空间内即可以完成不同的液态剂别的混合,故 ...
【技术保护点】
1.一种高配比混料装置,其特征在于,所述高配比混料装置包括:第一入料管,用以所述收第一液态剂别;第二入料管,系与所述第一入料管以多层套管方式配置,用以接收第二液态剂别;第一雾化/细微化剂量控制装置,设置于所述第一入料管的末端,用以对所述第一液态剂别进行雾化或细微化的分散处理;第二雾化/细微化剂量控制装置,设置于所述第二入料管的末端,用以对所述第二液态剂别进行雾化或细微化的分散处理;以及反应室,用以容置所述第一与第二入料管、所述第一与第二雾化/细微化剂量控制装置,具有液态剂别混合壁面,其中所述第一与所述第二雾化/细微化剂量控制装置用以将雾化或细微化的所述第一与第二液态剂别喷洒在所述液态剂别混合壁面,以进行所述第一与第二液态剂别的混合。
【技术特征摘要】
1.一种高配比混料装置,其特征在于,所述高配比混料装置包括:第一入料管,用以所述收第一液态剂别;第二入料管,系与所述第一入料管以多层套管方式配置,用以接收第二液态剂别;第一雾化/细微化剂量控制装置,设置于所述第一入料管的末端,用以对所述第一液态剂别进行雾化或细微化的分散处理;第二雾化/细微化剂量控制装置,设置于所述第二入料管的末端,用以对所述第二液态剂别进行雾化或细微化的分散处理;以及反应室,用以容置所述第一与第二入料管、所述第一与第二雾化/细微化剂量控制装置,具有液态剂别混合壁面,其中所述第一与所述第二雾化/细微化剂量控制装置用以将雾化或细微化的所述第一与第二液态剂别喷洒在所述液态剂别混合壁面,以进行所述第一与第二液态剂别的混合。2.根据权利要求1所述的高配比混料装置,其特征在于,所述高配比混料装置更包括:第一剂量控制装置,设置于所述第一入料管的另一个末端,用以接收所述第一液态剂别,并调整所述第一液态剂别的供料剂量与压力,以将所述第一液态剂别送入至所述第一入料管;以及第二剂量控制装置,设置于所述第二入料管的另一个末端,用以接收所述第二液态剂别,并调整所述第二液态剂别的供料剂量与压力,以将所述第二液态剂别送入至所述第二入料管。3.根据权利要求1所述的高配比混料装置,其特征在于,所述高配比混料装置更包括:末端混合器,系设置于所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐宏信,邱彦岚,
申请(专利权)人:亚泰半导体设备股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾,71
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