接头组件与接头装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种接头组件与接头装置，其具有第一基座、第一流体接口组件与阀门组件。通过阀门组件可控制流体流经或不流经接头组件，以达到对流体的双边逆止的效果。本实用新型专利技术提供的接头组件与接头装置可有效管制流体的流通，并具有较佳的阻隔功能。

【技术实现步骤摘要】
接头组件与接头装置
本技术关于一种接头组件与接头装置，具体涉及一种通过阀门组件以加强阻隔流体泄漏的接头组件与接头装置。
技术介绍
接头装置被用以控制工业制程的污染，以半导体制造中的化学机械研磨制程(CMP)为例，研磨液(slurry)流经接头装置后喷洒于晶圆上以进行化学研磨，其中接头装置需要定期被卸下来做清洁保养，以维持半导体制程中的洁净程度。研磨液一般是含固液体(solidcontainliquid)，因此，传统接头装置采用活塞对接以达到导通或不导通，且传统接头装置并未包含开关把手，来达到逆止的功能。然而，由于传统接头装置缺乏双边逆止的功能，因此容易在拆装过程中发生漏液的情形，甚至可能在液体循环回路失去控制时，无逆止功能，而导致回流的液体自容器(例如，原液桶)中溢出。再者，活塞对接的方式易造成液体残留于接口处，进而使污染的风险提高。
技术实现思路
为了克服现有技术中不足的地方，本技术实施例提供一种接头组件与接头装置。所述接头组件具有阀门组件，用户可通过阀门组件的阀门控制部件以控制开关，达成液体回路双边逆止的功效。再者，阀门组件提供较佳的阻隔性，可有效降低液体残留的机率，提升各种工业制程中的洁净程度。基于前述目的的至少其中之一，本技术实施例提供的接头组件包括第一基座、第一流体接口组件以及阀门组件。所述第一基座具有沿着第一基座的第一方向贯穿第一基座的上端与下端的第一镂空结构，以及沿着第一基座的第二方向贯穿第一基座的侧端的第二镂空结构，其中第一镂空结构连通于第二镂空结构。所述第一流体接口组件为中空柱体，并具有第一端与第二端。第一流体接口组件容置于第一基座的第一镂空结构并固定于第一基座，且第一镂空结构的上端暴露第一流体接口组件的第一端。所述阀门组件包括阀门部件与阀门控制部件。所述阀门部件具有第一中空流通部与第一封闭部，且阀门部件安置于第一基座的第二镂空结构内，并可旋转地固定于第一基座。所述阀门控制部件连接阀门部件，用以被旋转，以带动阀门部件在第一基座的第二镂空结构内旋转，使得阀门部件的第一中空流通部连通于第一流体接口组件的第二端，或使得阀门部件的第一封闭部封闭第一流体接口组件的第二端。可选地，所述接头组件还包括第二流体接口组件，其中第二流体接口组件为中空柱体，且具有第三端与第四端。第二流体接口组件容置于第一基座的第一镂空结构并固定于第一基座，且第一镂空结构的上端暴露第二流体接口组件的第三端，其中阀门组件的阀门部件还具有第二中空流通部与第二封闭部，阀门控制部件用以被旋转，以带动阀门部件在第一基座的第二镂空结构内旋转，使得阀门部件的第二中空流通部连通于第二流体接口组件的第四端，或使得阀门部件的第二封闭部封闭第二流体接口组件的第四端。可选地，所述阀门组件更包括阀门O型内环，且阀门O型内环设置于阀门部件的第一中空流通部与第一封闭部之间，以及第二中空流通部与第二封闭部之间，以阻挡流体在第一中空流通部与第二中空流通部之间流通。可选地，所述接头组件还包括锁紧环与环扣。所述锁紧环为环状圈体，具有套接孔与锁紧部，并通过套接孔以使锁紧环环套于第一基座的底部区域，其中所述锁紧部具有第一牙纹。所述环扣为环状圈体，套合并固定于第一基座的底部区域的凹槽。所述环扣的直径大于锁紧环的套接孔的直径，以阻挡锁紧环在环套第一基座的底部区域时脱落。可选地，所述接头组件，还包括第一密封套环与第二密封套环。所述第一密封套环为中空柱体，具有第五端与第六端。所述第五端被容置于第一基座的第一镂空结构的下端。所述第一密封套环更具有第一密封O型环，其中第一密封O型环环套于第一密封套环的外侧并位于第五端与第六端之间。所述第二密封套环为中空柱体，具有第七端与第八端。所述第七端被容置于第一基座的第一镂空结构的下端。所述第二密封套环还具有第二密封O型环，其中第二密封O型环环套于第二密封套环的外侧并位于第七端与第八端之间。阀门控制部件用以被旋转，以带动阀门部件在第一基座的第二镂空结构内旋转，使得阀门部件的第一中空流通部连通于第一密封套环的第五端与第一流体接口组件的第二端以及使得阀门部件的第二中空流通部连通于第二密封套环的第七端与第二流体接口组件的第四端，或者，使得阀门部件的第一封闭部封闭第一密封套环的第五端与第一流体接口组件的第二端以及使得阀门部件的第二封闭部封闭第二密封套环的第七端与第二流体接口组件的第四端。可选地，所述接头组件，还包括湿气接口组件，且湿气接口组件为中空柱体。湿气接口组件容置于第一基座的第一镂空结构并固定于第一基座，且第一镂空结构的上端暴露湿气接口组件的一端。基于前述目的的至少其中之一，本技术实施例提供的接头装置包括前面所述其中一个接头组件、第二基座、第一流体延伸接口组件以及锁附部件。所述第二基座具有沿着第二基座的第三方向贯穿第二基座的顶部与底部的第三镂空结构。所述第一流体延伸接口组件为中空柱体，具有第九端与第十端，第一流体延伸接口组件容置于第二基座的第三镂空结构并固定于第二基座，且第三镂空结构的顶部暴露第一流体延伸接口组件的第九端。所述锁付部件为中空柱体，用以容置与固定第二基座，具有第一锁部与第二锁部，第一锁部用以使锁附部件与第一基座彼此连接，以及第二锁部用以使锁附部件与流体容器彼此连接，其中阀门控制部件用以被旋转，以带动阀门部件在第一基座的第二镂空结构内旋转，以使第一流体延伸接口组件的第九端连通或不连通第一流体接口组件的第二端。可选地，在接头组件包括第二流体接口组件时，接头装置更包括第二流体延伸接口组件。第二流体延伸接口组件为中空柱体，并具有第十一端与第十二端。第二流体延伸接口组件容置于第二基座的第三镂空结构并固定于第二基座，第三镂空结构的顶部暴露第二流体延伸接口组件的第十一端，其中阀门控制部件用以被旋转，以带动阀门部件在第一基座的第二镂空结构内旋转，以使第二流体延伸接口组件的第十一端连通或不连通第二流体接口组件的第四端。可选地，在接头组件包括锁紧环时，第一锁部具有对应于锁紧环的第一牙纹的第一锁部牙纹，锁附部件环套并固定第二基座，并通过第一锁部的第一锁部牙纹与锁紧环的第一牙纹对应锁合。可选地，锁附部件的第二锁部具有第二锁部牙纹，用以对应锁合流体容器的容器锁部牙纹，以使流体容器内的流体通过第一输送管流经彼此连通的第一流体延伸接口组件与第一流体接口组件。简言之，本技术实施例提供的接头组件其阀门组件可降低流体流通时接口残留液体的可能性，且通过所述阀门组件可使循环回路受到开关控制，以避免回流液体过多而从流体容器溢出，故于对接头组件有需求的各种市场(例如半导体、医药、化学以及食品等制程)具有优势。为让本技术的上述和其他目的、特征及优点能更明显易懂，配合所附图示，做详细说明如下。附图说明图1A是本技术第一实施例的接头装置的组装后视图。图1B是本技术第一实施例的接头装置的分解正视图。图2是本技术第一实施例的接头装置的爆炸图。图3是本技术第二实施例的接头装置用于流体容器的示意图。具体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种接头组件，其特征在于，所述接头组件包括：/n第一基座，具有沿着所述第一基座的第一方向贯穿所述第一基座的上端与下端的第一镂空结构，以及沿着所述第一基座的第二方向贯穿所述第一基座的侧端的第二镂空结构，其中所述第一镂空结构连通于所述第二镂空结构；/n第一流体接口组件，为中空柱体，具有第一端与一第二端，所述第一流体接口组件容置于所述第一基座的所述第一镂空结构并固定于所述第一基座，且所述第一镂空结构的上端暴露所述第一流体接口组件的所述第一端；以及/n阀门组件，包括：/n阀门部件，具有第一中空流通部与第一封闭部，所述阀门部件安置于所述第一基座的所述第二镂空部内，并可旋转地固定于所述第一基座；以及/n阀门控制部件，连接所述阀门部件，用以被旋转，以带动所述阀门部件在第一基座的所述第二镂空部内旋转，使得所述阀门部件的所述第一中空流通部连通于所述第一流体接口组件的所述第二端，或使得所述阀门部件的所述第一封闭部封闭所述第一流体接口组件的所述第二端。/n

【技术特征摘要】
1.一种接头组件，其特征在于，所述接头组件包括：
第一基座，具有沿着所述第一基座的第一方向贯穿所述第一基座的上端与下端的第一镂空结构，以及沿着所述第一基座的第二方向贯穿所述第一基座的侧端的第二镂空结构，其中所述第一镂空结构连通于所述第二镂空结构；
第一流体接口组件，为中空柱体，具有第一端与一第二端，所述第一流体接口组件容置于所述第一基座的所述第一镂空结构并固定于所述第一基座，且所述第一镂空结构的上端暴露所述第一流体接口组件的所述第一端；以及
阀门组件，包括：
阀门部件，具有第一中空流通部与第一封闭部，所述阀门部件安置于所述第一基座的所述第二镂空部内，并可旋转地固定于所述第一基座；以及
阀门控制部件，连接所述阀门部件，用以被旋转，以带动所述阀门部件在第一基座的所述第二镂空部内旋转，使得所述阀门部件的所述第一中空流通部连通于所述第一流体接口组件的所述第二端，或使得所述阀门部件的所述第一封闭部封闭所述第一流体接口组件的所述第二端。


2.如权利要求1所述的接头组件，其特征在于，所述接头组件还包括：
第二流体接口组件，为中空柱体，具有第三端与第四端，所述第二流体接口组件容置于所述第一基座的所述第一镂空结构并固定于所述第一基座，且所述第一镂空结构的所述上端暴露所述第二流体接口组件的所述第三端；
其中所述阀门组件的所述阀门部件还具有第二中空流通部与第二封闭部，所述阀门控制部件用以被旋转，以带动所述阀门部件在所述第一基座的第二镂空结构内旋转，使得所述阀门部件的所述第二中空流通部连通于所述第二流体接口组件的所述第四端，或使得所述阀门部件的所述第二封闭部封闭所述第二流体接口组件的所述第四端。


3.如权利要求2所述的接头组件，其特征在于，所述阀门组件还包括：
阀门O型内环，设置于所述阀门部件的所述第一中空流通部与所述第二中空流通部之间，以及所述第一封闭部与所述第二封闭部之间，以阻挡流体在所述第一中空流通部与所述第二中空流通部之间流通。


4.如权利要求1所述的接头组件，其特征在于，所述接头组件还包括：
锁紧环，为环状圈体，具有套接孔与锁紧部，通过所述套接孔以使所述锁紧环环套于所述第一基座的底部区域，所述锁紧部具有第一牙纹；以及
环扣，为环状圈体，套合并固定于所述第一基座的所述底部区域的凹槽；
其中所述环扣的直径大于所述锁紧环的所述套接孔的直径，以阻挡所述锁紧环在环套所述第一基座的所述底部区域时脱落。


5.如权利要求2所述的接头组件，其特征在于，所述接头组件还包括：
第一密封套环，为中空柱体，具有第五端与第六端，所述第五端被容置于所述第一基座的所述第一镂空结构的所述下端，所述第一密封套环更具有第一密封O型环，环套于所述第一密封套环的外侧并位于所述第五端与第六端之间；以及
第二密封套环，为中空柱体，具有第七端与第八端，所述第七端被容置于所述第一基座的所述第一镂空结构的所述下端，所述第二密封套环更具有第二密封O型环，环套于所述第二密封套环的外侧并位于所述第七端与第八端之间；
其中所述阀门控制部件用以被旋转，以带动所述阀门部件在所述第一基座的所述第二镂空结构内旋转，使得所述阀门部件的所述第一中空流通部连通于所述第一密封套环的所述第五端与所述第一流体接口组件的所述第二端以及使得所述阀门部件的所述第二中空流通部连通于所述第二密封套环的所述第七端与所述第二流体接口组件的所述第四端，或者，使得所述阀门部件的所述第一封闭部封闭所述第一密封套环的所述第五端与所述第一流体接口组件的所述第二端以及使得所述阀门部件的所述第二封闭部封闭所述第二密封套环的所述第七端与所述第二流体接口组件的所述第四端。


6.如权利要求1所述的接头组件，其特征在于，所述接头组件还包括：
湿气接口组件，为中空柱体，所述湿气接口组件容置于所述第一基座的所述第一镂空结构并固定于所述第一基座，且所述第一镂空结构的所述上端暴露所述湿气接口组件的一端。


7.一种接头装置，其特征在于，包括：
如权利要求1所述的接头组件；
第二基座，具有沿着所述第二基座的第三方向贯穿所述第二基座的顶部与底部的第三镂空结构；
第一流体延伸接口组件，为中空柱体，具有第九端与第十端，所述第一流体延伸接口组件容置于所述第二基座的所述第三镂空结构并固定于所述第二基座，且所述第三镂空结构的顶部暴露所述第一流体延伸接口组件的所述第九端；以及
锁附部件，为中空柱体，用以容置与固定所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏信，邱彦岚，
申请(专利权)人：亚泰半导体设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71