外气除净式蓄热焚化炉制造技术

一种外气除净式蓄热焚化炉，包含有一蓄热焚化炉、一废气主要管路、一风车、一废气进口阀组、一通向控制阀组、一外气送风管路及一外气控制阀；该废气主要管路系与蓄热焚化炉的通气管路连接，而废气管路上设有废气进口阀组及通向控制阀组来控制切换管路，以控制管路中的废气的流向，而于废气主要管路的末端设有风车，以形成风压来吸抽管路中的气体，该外气送风管路的一端系与废气主要管路相连接，以供送入气体进入废气主要管路及蓄热床中，而外气送风管路上设有外气控制阀，以供控制外气进出，由此，于蓄热焚化炉在切换气流方向之时，控制外气送风管路送入气体，消除蓄热焚化炉因双塔气流方向切换产生的高浓度污染，达到去除废气污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关一种外气除净式蓄热焚化炉，具体地是有关一种蓄热焚化炉(Regenerative Thermal Oxidizer, RTO)，由设有一蓄热焚化炉、一废气主要管路、 一风车、 一废气进口阀组、 一通向控制阀组、 一外气送风管路及一外气控制阀，可将蓄热燃烧炉在切换蓄热床气流流动方向时，一方面使切换气流方向时的泄漏污染去除，另一作用其一蓄热床的未燃烧废气不致有外泄，而产生运转的污染峰值，达到稳定利用的功能，适用于包括产生有机废气需要减除的行业，如某些特定工业的生产领域，如半导体业、光电产业，化工业等。
技术介绍
挥发性有机物质(Volatile Organic Compound, VOC)在产业界广泛被使用，亦随工艺而排放至大气环境，例如，随半导体与光电业工艺排放的有机废气，IPA(IsopropylAlcohol, C3H80)、丙酮、环己酮等，易造成环境污染。各国对于挥发性有机物质皆有严格的空污管制标准，以维护环保以及民众的健康；以中国台湾为例，环保署已公告实施半导体制造业空气污染管制及排放标准；对于挥发性有机废气强制要求的削减率，以半导体业为例，至少应大于90%。有机废气的处理方法很多，热焚化分解是重要的方法之一，而蓄热焚化炉是其中一种，特色是热回效率可以高达90%以上。其中蓄热焚化炉(RTO)可为双塔式而配置有二个蓄热床(Regenerativebeds)，蓄热床内充填蓄热材，使挥发性有机废气流经蓄热床预热(此时蓄热材释出热能)，而后挥发性有机废气进入燃烧室；此时，由于燃烧炉燃料喷嘴产生辅助热能可提供热量及VOCs成分氧化分解产生的热量，使燃烧室保持一定的高温(例如850 °C)，在设计的滞留时间，例如零点八秒，有机废气所含的VOCs成份将被氧化成H20及C02。图1为一般传统双塔式蓄热焚化炉(RTO)的结构示意图；其中的蓄热焚化炉l 0 a主要含有两组蓄热床，第一蓄热床l 2 a和第二蓄热床l1 a、燃烧室l 3 a及其相连的废气进出管线和流向调节阀等；其中风机2 8 a自废气来源端抽排有机废气(VOCs Laden Air)至蓄热焚化炉1 0a入口后，可有两种模式进入燃烧室l 3 a中反应。第一种模式有机废气由一风机2 8 a入口进入管线，分别经由第一流向调节阀2 1 a进入第一蓄热床l 2 a (此时的第二流向调节阀2 2 a和第三流向调节阀2 3 a为OFF[关闭]状态)；预热后进的有机废气进入燃烧室中进行反应；有机废气在燃烧室1 3 a中由燃料喷嘴1 4 a提供一燃烧火焰1 5 a ，其燃烧室l 3 a内部的燃烧温度可达摄氏温度80(TC以上，将有机废气经氧化反应形成H20及C02;有机废气经由第二蓄热床l 1 a、第四流向调节阀24 a，经由烟囱3 5 1 a排出至大气中；其中废气在通过第二蓄热床1 1a时，第二蓄热床l 1 a被来自燃烧室的高温废气流加热。第二种模式有机废气由风机2 8 a前段进入管线，分别经由第三流向调节阀2 3 a(此时的第一流向调节阀2 1 a和第四流向调节阀2 4 a为OFF状态)进入第二蓄热床l 1 a;在通过第二蓄热床l 1 a预热后，有机废气在燃烧室1 3 a中由燃烧喷嘴1 4 a提供一燃烧用火焰1 5 a将有机废气氧化成H20及C02，然后通过第一蓄热床l 2 a，及第二流向调节阀2 2 a排放，第一蓄热床12a被自燃烧室的高温气流加热。其上述第一种和第二种模式定时循环做气流流动方向切换，使第一蓄热床l 2 a及第二蓄热床l 1 a可轮流蓄热维持高温，用以预热有机废气；其中蓄热材多为陶瓷材料或金属氧化物所组成。公知的蓄热焚化炉1 0 a，运作周期中于双塔式焚化炉进出阀门做切换气流方向时，会产生一个相当于入口浓度的排放峰值到烟囱(排放口)，由于焚化炉对有机废气的破坏效率可达98%以上，而入口气流在切换时会直接排到烟囱，以此98%破坏效率预估，可知此浓度可以达到经焚化炉处理过排气的50倍高，此一直造成产业界的困扰；公知蓄热焚化炉的缺点在于阀的气流流动方向切换时会产生一污染的切换峰值，其污染的缺失使得其于实用场合有其不便与困扰。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种外气除净式蓄热焚化炉。为实现上述目的，本专利技术提供的外气除净式蓄热焚化炉，包含一蓄热焚化炉，该蓄热焚化炉设有第一蓄热床、第二蓄热床及一燃烧室，该燃烧室位与第一蓄热床及第二蓄热床的顶部相通的空间，而该第一蓄热床及第二蓄热床各设有至少一通气管路，以供气体的进出；一废气主要管路，该废气主要管路与蓄热焚化炉的第一蓄热床及第二蓄热床的通气管路连接，以供废气进入燃烧室处理，并将处理后的气体排出；一风车，该风车设于废气主要管路的末端，以供形成风压来吸抽管路中的气体；一废气进口阀组，该废气进口阀组设于废气主要管路上，以控制废气进出，该废气进口阀组连设有一废气管路通往燃烧室中，由废气进口阀组来控制切换管路；一通向控制阀组，该通向控制阀组设于废气主要管路上，以控制废气的进出于第一蓄热床、第二蓄热床及燃烧后的气体排放，由通向控制阀组来控制切换管路；一外气送风管路，该外气送风管路的一端与废气主要管路相连接，以供送入气体进入废气主要管路及蓄热床中；以及一外气控制阀，该外气控制阔设于外气送风管路上，以供控制外气进出；由此，于蓄热焚化炉在切换气流方向之时，控制外气送风管路送入气体，防止蓄热焚化炉因切换产生高浓度污染，达到去除废气污染。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该第一蓄热床及第二蓄热床填有蓄热材，该蓄热材是由陶瓷或金属或金属氧化物或砾石或以上二种以上物质组合所组成。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该燃烧室其结构型式为热氧化燃烧式、催化剂燃烧式、电热氧化式、电热氧化式、等离子体反应式其中的一种所组成。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该燃烧室中包含有一燃料喷嘴提供该燃烧室的热能。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该燃烧室中包含有一电热器提该燃烧室的热能。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该燃烧室中包含有一等离子体产生器提供该燃烧室的热能。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该废气进口阀组是采用二个二通阀结构组成。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该废气进口阀组是采用一个三通阀结构。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该通向控制阀组是采用四个二通阀结构组成。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该通向控制阀组是采用二个三通阀结构组成。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该通向控制阀组是采用一个四通阀结构。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该外气控制阀是采用一个二通阀结构。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该废气主要管路的末端连设有一烟囱，以供将气体排放出大气中。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该废气管路上进一步连设有一热交换器，以供预先加热用。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该热交换器的热源是采电热器、燃料热源、等离子体产生器、高温气流、高温流体其中的一种。所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该热交换器的热源是废热回收。本专利技术的装置具有如下实用优点1 、由外气送风管路与废气主要管路连接，而废气主要管路与蓄热焚化炉的第一蓄热床及第二蓄热床的通气管路连接，以供蓄热焚化炉的双塔气流切换时，送入压力较高的气体将通气管本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外气除净式蓄热焚化炉，包含：　一蓄热焚化炉，该蓄热焚化炉设有第一蓄热床、第二蓄热床及一燃烧室，该燃烧室位与第一蓄热床及第二蓄热床的顶部相通的空间，而该第一蓄热床及第二蓄热床各设有至少一通气管路，以供气体的进出；　一废气主要管 路，该废气主要管路与蓄热焚化炉的第一蓄热床及第二蓄热床的通气管路连接，以供废气进入燃烧室处理，并将处理后的气体排出；　一风车，该风车设于废气主要管路的末端，以供形成风压来吸抽管路中的气体；　一废气进口阀组，该废气进口阀组设于废气 主要管路上，以控制废气进出，该废气进口阀组连设有一废气管路通往燃烧室中，由废气进口阀组来控制切换管路；　一通向控制阀组，该通向控制阀组设于废气主要管路上，以控制废气的进出于第一蓄热床、第二蓄热床及燃烧后的气体排放，由通向控制阀组来控制 切换管路；　一外气送风管路，该外气送风管路的一端与废气主要管路相连接，以供送入气体进入废气主要管路及蓄热床中；以及　一外气控制阀，该外气控制阀设于外气送风管路上，以供控制外气进出；　由此，于蓄热焚化炉在切换气流方向之时，控 制外气送风管路送入气体进行吹除，消除蓄热焚化炉因切换产生的高浓度污染，达到去除废气污染。...

【技术特征摘要】
1、一种外气除净式蓄热焚化炉，包含一蓄热焚化炉，该蓄热焚化炉设有第一蓄热床、第二蓄热床及一燃烧室，该燃烧室位与第一蓄热床及第二蓄热床的顶部相通的空间，而该第一蓄热床及第二蓄热床各设有至少一通气管路，以供气体的进出；一废气主要管路，该废气主要管路与蓄热焚化炉的第一蓄热床及第二蓄热床的通气管路连接，以供废气进入燃烧室处理，并将处理后的气体排出；一风车，该风车设于废气主要管路的末端，以供形成风压来吸抽管路中的气体；一废气进口阀组，该废气进口阀组设于废气主要管路上，以控制废气进出，该废气进口阀组连设有一废气管路通往燃烧室中，由废气进口阀组来控制切换管路；一通向控制阀组，该通向控制阀组设于废气主要管路上，以控制废气的进出于第一蓄热床、第二蓄热床及燃烧后的气体排放，由通向控制阀组来控制切换管路；一外气送风管路，该外气送风管路的一端与废气主要管路相连接，以供送入气体进入废气主要管路及蓄热床中；以及一外气控制阀，该外气控制阀设于外气送风管路上，以供控制外气进出；由此，于蓄热焚化炉在切换气流方向之时，控制外气送风管路送入气体进行吹除，消除蓄热焚化炉因切换产生的高浓度污染，达到去除废气污染。2、 如权利要求l所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该第一蓄热床及第二蓄热床填有蓄热材，该蓄热材是由陶瓷或金属或金属氧化物或砾石或以上二种以上物质组合所组成。3、 如权利要求l所述的外气除净式蓄热焚化炉，其中，该燃烧室其结构型式为热氧化燃烧式、催化剂燃烧式、电热氧化式、电热氧化式、等离子体反应式其中的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，扶亚民，田磊，徐瑞珠，刘邦昱，洪守铭，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]