移动式微污染去除装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种移动式微污染去除装置，主要包括有一箱体、至少一第一吸附管式模块、至少一第二吸附管式模块的组合设计，该箱体于底部装设至少一移动体，以通过移动体来让该箱体能在室内进行移动，并通过该箱体内的第一吸附管式模块及第二吸附管式模块来吸附室内的挥发性有机化学气态物质后再将处理后洁净空气送回室内，使具有进行对局部空间的微污染消除的效能，以达到清净室内空气及减低产品不良率的效果。品不良率的效果。品不良率的效果。

【技术实现步骤摘要】
移动式微污染去除装置


[0001]本技术涉及一种移动式微污染去除装置，特别涉及一种能具有进行对局部空间的微污染消除的效能，以达到清净室内空气及减低产品不良率的效果，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的清净室、无尘室或类似的室内空间。

技术介绍

[0002]在半导体制程中有一道工序为微影成像(雕像术lithography)，主要是决定组件式样(pattern)、尺寸(dimension)以及电路接线(routing)，而该道工序因为采用感光剂易曝光，得在黄色灯光照明区域内工作，该黄色灯光照明区域又叫做黄光区无尘清净室，所以该黄光区无尘清净室对温度、湿度维持上要求得较其他工艺来得高。
[0003]而在上述微影成像(雕像术lithography)工艺中使用的药品化学品有显像溶液(develope solution)、光阻溶液、去除光阻溶液等，而溶液中含有VOC化学物质包括IPA，PGMEA，PGME
…
等，所以对黄光区无尘清净室内气体处理必须谨慎控制，不能外溢而造成污染，以免影响芯片生产的合格率。
[0004本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种移动式微污染去除装置，其特征在于，包括：一箱体，该箱体于底部装设至少一移动体，该箱体设有一进气管、一出气管、一第一空间、一第二空间及一回转室，该进气管与该第一空间连接，该出气管与该第二空间连接，该回转室与该第一空间及该第二空间连通；至少一第一吸附管式模块，该第一吸附管式模块设在该箱体的第一空间内；以及至少一第二吸附管式模块，该第二吸附管式模块设在该箱体的第二空间内。2.根据权利要求1所述的移动式微污染去除装置，其特征在于，该箱体的第二空间进一步装设一滤网，该滤网位于该第二吸附管式模块与该出气管之间。3.根据权利要求1所述的移动式微污染去除装置，其特征在于，该箱体进一步呈侧倒状，且为向左侧或向右侧的，任一方向侧倒，该箱体的第一空间位于该第二空间的下方处，该进气管向侧倒方向延伸，该第二空间位于该第一空间的上方处，该出气管向侧倒方向延伸，该箱体的回转室设在该第一空间与该第二空间的侧边处。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，扶亚民，赖世明，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：