移动式微污染去除装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种移动式微污染去除装置，主要包括有一箱体、至少一第一吸附管式模块、至少一第二吸附管式模块的组合设计，该箱体于底部装设至少一移动体，以通过移动体来让该箱体能在室内进行移动，并通过该箱体内的第一吸附管式模块及第二吸附管式模块来吸附室内的挥发性有机化学气态物质后再将处理后洁净空气送回室内，使具有进行对局部空间的微污染消除的效能，以达到清净室内空气及减低产品不良率的效果。品不良率的效果。品不良率的效果。

【技术实现步骤摘要】
移动式微污染去除装置


[0001]本技术涉及一种移动式微污染去除装置，特别涉及一种能具有进行对局部空间的微污染消除的效能，以达到清净室内空气及减低产品不良率的效果，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的清净室、无尘室或类似的室内空间。

技术介绍

[0002]在半导体制程中有一道工序为微影成像(雕像术lithography)，主要是决定组件式样(pattern)、尺寸(dimension)以及电路接线(routing)，而该道工序因为采用感光剂易曝光，得在黄色灯光照明区域内工作，该黄色灯光照明区域又叫做黄光区无尘清净室，所以该黄光区无尘清净室对温度、湿度维持上要求得较其他工艺来得高。
[0003]而在上述微影成像(雕像术lithography)工艺中使用的药品化学品有显像溶液(develope solution)、光阻溶液、去除光阻溶液等，而溶液中含有VOC化学物质包括IPA，PGMEA，PGME
…
等，所以对黄光区无尘清净室内气体处理必须谨慎控制，不能外溢而造成污染，以免影响芯片生产的合格率。
[0004]半导体工艺越来越精密，且发展到10nm、7nm、5nm、3nm以下，所以对黄光区无尘清净室要求也愈来愈严格，尤其是AMC(Airborne Molecular Contamination)有机微污染物，需要控制在ppb等级。中央空调系统的FFU以及化学滤网虽可控制整体无尘室的微污染平均值达到要求水准，然而局部位置的微污染物仍可能偏高。

技术实现思路

[0005]本申请人有鉴于上述缺失，希望能提出一种具有进行对局部空间的微污染消除的效能的移动式微污染去除装置，令使用者可轻易操作组装，潜心研思、设计组制，以提供使用者便利性，为本申请人所研发的创作动机。
[0006]本技术的主要目的，在于提供一种移动式微污染去除装置，主要包括有一箱体、至少一第一吸附管式模块、至少一第二吸附管式模块的组合设计，该箱体在底部装设至少一移动体，以通过移动体来让该箱体能在室内进行移动，并通过该箱体内的第一吸附管式模块及第二吸附管式模块来吸附室内的挥发性有机化学气态物质后再将处理后洁净空气送回室内，使具有进行对局部空间的微污染消除的效能，以达到清净室内空气及减低产品不良率的效果，进而增加整体的实用性。
[0007]本技术的次一目的，在于提供一种移动式微污染去除装置，该箱体设有一进气管、一出气管、一第一空间、一第二空间及一回转室，该回转室与该第一空间及该第二空间连通，而该进气管与该第一空间连接，且该第一吸附管式模块设在第一空间内，该出气管与该第二空间连接，且该第二吸附管式模块设在第二空间内，其中该箱体的第二空间装设一滤网，而该滤网位于该第二吸附管式模块与该出气管之间，且该滤网为高效率空气净化滤网(High efficiency particulate air Filter，HEPA)或是超高效率空气净化滤网(ULPA)的其中任一，让经过第二吸附管式模块的气体能再通过该滤网来进行过滤，使具有
达到过滤效果约为DOP 99.97％以上的效能，进而增加整体的使用性。
[0008]本技术的再一目的，在于提供一种移动式微污染去除装置，通过该箱体设有两种实施形式，而第一种实施形式为该箱体呈直立状，且该箱体的第一空间与该第二空间相邻，该进气管向上方向延伸，而该出气管向上方向延伸，且该箱体的回转室设在该第一空间与该第二空间的下方处，再者，第二种实施形式为该箱体呈侧倒状，且为向左侧或向右侧的其中任一方向侧倒，该箱体的第一空间位于该第二空间的下方处，而该进气管向侧倒方向延伸，且该第二空间位于该第一空间的上方处，该出气管向侧倒方向延伸，而该箱体的回转室设在该第一空间与该第二空间的侧边处，因此，以能配合不同的室内空间限制条件来装设箱体，使具有达到易于进行吸附的效能，进而增加整体的完整性。
附图说明
[0009]图1是本技术实施例的第一形态的立体示意图；
[0010]图2是本技术实施例的第一形态的进气及出气示意图；
[0011]图3是本技术实施例的第一形态具有滤网的进气及出气示意图；
[0012]图4是本技术实施例的第二形态的立体示意图；
[0013]图5是本技术实施例的第二形态具有滤网的进气及出气示意图。
[0014]附图标记说明：
[0015]10、箱体
[0016]11、进气管
[0017]12、出气管
[0018]13、第一空间
[0019]14、第二空间
[0020]15、回转室
[0021]20、第一吸附管式模块；
[0022]30、第二吸附管式模块；
[0023]40、滤网
[0024]50、移动体
具体实施方式
[0025]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本技术作进一步的详细说明。
[0026]请参阅图1至图5，为本技术实施例的示意图。而本技术实施例的移动式微污染去除装置的最佳实施方式为运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的清净室、无尘室或类似的室内空间，而具有进行对局部空间的微污染消除的效能，以达到清净室内空气及减低产品不良率的效果。
[0027]而本技术实施例的移动式微污染去除装置，主要包括有一箱体10、至少一第一吸附管式模块20及至少一第二吸附管式模块30的组合设计(如图1所示)，该第一吸附管式模块20与该第二吸附管式模块30分别由多个中空纤维吸附材所组成，该中空纤维吸附材由高分子聚合物，并添加微米尺寸无机颗粒所制成，添加的微米尺寸无机颗粒须对有机溶
剂蒸汽或AMC有很强的吸附能力，其中AMC(Airborne Molecular Contamination)是环境中有能力沉降在晶圆片表面上形成单分子层(monolayer)薄膜的气态化学污染物质。此外，目前用于吸附物质的微米尺寸无机颗粒具有0.005至50um之间的粒径，而微米尺寸无机颗粒具有二维或三维的孔洞结构，且孔洞为规则或不规则的形体，且该微米尺寸无机颗粒包括由分子筛、A型沸石(例如3A、4A或5A)、X型沸石(例如13X)、Y型沸石、ZSM
‑
5沸石、金属有机骨架(Metal Organic Frameworks：MOF)、活性炭或石墨烯所组成群组的至少一。
[0028]而上述所称高分子聚合物由聚砜(polysulfone,PSF)、聚醚砜(polyethersulfone,PESF)、聚偏二氟乙烯(polyvinylidene fluoride,PVDF)、聚苯砜(polyphenylsulfone,PPSU)、聚丙烯腈(polyacrylonitrile)、醋酸纤维素、二醋酸纤维素、聚亚酰胺(polyimide,PI)、聚醚酰亚胺、聚酰胺、聚乙烯醇、聚乳酸、聚乙醇酸、聚乳酸
‑
乙醇酸(polylactic...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种移动式微污染去除装置，其特征在于，包括：一箱体，该箱体于底部装设至少一移动体，该箱体设有一进气管、一出气管、一第一空间、一第二空间及一回转室，该进气管与该第一空间连接，该出气管与该第二空间连接，该回转室与该第一空间及该第二空间连通；至少一第一吸附管式模块，该第一吸附管式模块设在该箱体的第一空间内；以及至少一第二吸附管式模块，该第二吸附管式模块设在该箱体的第二空间内。2.根据权利要求1所述的移动式微污染去除装置，其特征在于，该箱体的第二空间进一步装设一滤网，该滤网位于该第二吸附管式模块与该出气管之间。3.根据权利要求1所述的移动式微污染去除装置，其特征在于，该箱体进一步呈侧倒状，且为向左侧或向右侧的，任一方向侧倒，该箱体的第一空间位于该第二空间的下方处，该进气管向侧倒方向延伸，该第二空间位于该第一空间的上方处，该出气管向侧倒方向延伸，该箱体的回转室设在该第一空间与该第二空间的侧边处。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，扶亚民，赖世明，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：