【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种太阳能光伏产业工艺设备，具体地说是用于平板炉 PECVD(等离子增强化学气相沉积)中的配套装置。
技术介绍
太阳能电池主要有125型(即125x125) 、156型(即156x156)等规格，相应的硅 片载片器也有125型、156型等规格。在进行平板炉PECVD的工艺时，硅片是放在同一规格 的硅片载片器的挂钩上，由于平板炉是连续生产，配置的硅片载片器至少要10只以上。因 其价格很贵，有些厂家只配置了 156规格的硅片载片器，如果要生产125规格的产品就需要 另外配备125型的，从而增加了采购成本。
技术实现思路
本技术针对上述问题，提供一种PECVD用硅片载片器的变换装置，该装置安 装于156型硅片载片器上，可将156型变换成125型的硅片载片器，可大幅度降低采购成 本。 按照本技术的技术方案一种PECVD用硅片载片器的变换装置，包括板体，其 特征是所述板体的角部以板体的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂，使所述板体 成十字形；板体的一面设置与所述十字形对应的十字槽；所述十字槽的宽度与第一种规格 的硅片载片器的框杆宽度相等，支臂的宽度为第一种规格的硅片载片器的边长与第二种规 格的硅片载片器的边长之差再加上第一种规格的框杆宽度之和。 各个相邻的支臂的交叉处设置有过渡圆弧。所述支臂的两个外侧面上对称地设置 有半腰圆槽，半腰圆槽的对称线垂直于所述支臂的边线，所述支臂上设置有圆孔，圆孔的中 心线在半腰圆槽的对称线上。在处于同一直线上的两个支臂中，一个支臂的外端与所述十 字槽的同侧设置有第一台肩，另一个支臂的外端与所述十字槽的相反侧设置有第二台肩。 本...
【技术保护点】
一种ＰＥＣＶＤ用硅片载片器的变换装置，包括板体（３），其特征是：所述板体（３）的角部以板体（３）的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂（１０），使所述板体（３）成十字形；板体（３）的一面设置与所述十字形对应的十字槽（４）；所述十字槽（４）的宽度与第一种规格的硅片载片器的框杆宽度相等，支臂（１０）的宽度为第一种规格的硅片载片器的边长与第二种规格的硅片载片器的边长之差再加上第一种规格的框杆宽度之和。
【技术特征摘要】
一种PECVD用硅片载片器的变换装置，包括板体(3)，其特征是所述板体(3)的角部以板体(3)的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂(10)，使所述板体(3)成十字形；板体(3)的一面设置与所述十字形对应的十字槽(4)；所述十字槽(4)的宽度与第一种规格的硅片载片器的框杆宽度相等，支臂(10)的宽度为第一种规格的硅片载片器的边长与第二种规格的硅片载片器的边长之差再加上第一种规格的框杆宽度之和。2. 按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的变换装置，其特征是各个相邻的支 臂(10)的交叉处设置有过渡圆弧(6)...
【专利技术属性】
技术研发人员：尤耀明，
申请(专利权)人：无锡绿波新能源设备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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