PECVD用硅片载片器的转换装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种ＰＥＣＶＤ用硅片载片器的转换装置，其包括正方形的框体，框体的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，框体内设置有正方形内孔，内孔的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。本发明专利技术安装于第一种规格的硅片载片器内，将第一种规格的硅片载片器转换为第二种规格的硅片载片器，用于生产第二种规格的产品，可以节省采购成本；拆除本发明专利技术后，又可以生产第一种规格的产品，转换方便。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种太阳能光伏产业工艺设备，具体地说是用于平板炉PECVD(等离子增强化学气相沉积)中的配套装置。
技术介绍
太阳能电池主要有125型(即125x125)、 156型(即156x156)等规格，相应的硅片载片器也有125型、156型等规格。在进行平板炉PECVD的工艺时，硅片是放在同一规格的C/C框的挂钩上，由于平板炉是连续生产，配置的硅片载片器至少要10只以上。因其价格很贵，有些厂家只配置了 156规格的硅片载片器，如果要生产125规格的产品就需要另外配备125型的硅片载片器，从而增加了采购成本。
技术实现思路
本专利技术针对上述问题，提供一种PECVD用硅片载片器的转换装置，该装置安装于156型硅片载片器上，可将156型硅片载片器转换成125型硅片载片器，可大幅度降低采购成本。按照本专利技术的技术方案 一种PECVD用硅片载片器的转换装置，包括正方形的框体，其特征是所述框体的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，所述框体内设置有方形内孔，所述方形内孔的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。所述方形内孔的四个角为圆角。所述方形内孔的中心与所述框体的中心同心。所述框体本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＰＥＣＶＤ用硅片载片器的转换装置，包括正方形的框体（３），其特征是：所述框体（３）的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，所述框体（３）内设置有方形内孔（４），所述方形内孔（４）的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。

【技术特征摘要】
1、一种PECVD用硅片载片器的转换装置，包括正方形的框体(3)，其特征是所述框体(3)的边长与第一种规格的硅片载片器的边长相等，所述框体(3)内设置有方形内孔(4)，所述方形内孔(4)的边长与第二种规格的硅片载片器的边长相等。2、 按照权利要求1所述的PECVD用硅片载片器的转换装置，其特征是 所述方形内孔(4)的四个角为圆角。3、 按照权利要求2所述的PECVD用硅片载片器的转换装置，其特征是 所述方形内孔(4)的中心与所述框体(3)的中心同心。4、 按照权利要求3所述的PECVD用硅片载片器的转换装置，其特征是 所述框体(3)的四条边上均设置有第一半腰圆槽(8)，第一半腰圆槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：尤耀明，
申请(专利权)人：无锡绿波新能源设备有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]