下载PECVD用硅片载片器的变换装置的技术资料

文档序号:4247095

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及一种PECVD用硅片载片器的变换装置,其包括板体,所述板体的角部以板体的中心为中心呈辐射状向外延伸有四个支臂,使所述板体成十字形;板体的一面设置与所述十字形对应的十字槽;所述十字槽的宽度与第一种规格的硅片载片器的框杆宽度相等,...
该专利属于无锡绿波新能源设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡绿波新能源设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。