基于显微视觉的光学测量和检测的装置制造方法及图纸

技术编号:4207397 阅读:199 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本实用新型专利技术公开了一种基于显微视觉的光学测量和检测的装置,其包括一被检测体、光源支架、转轴、散热片、高亮度照明光源、挡光板、显微放大镜头、CCD摄像机、电缆、图像采集和图像处理系统;所述的高亮度照明光源发出的光线照射在被检测体上,该被检测体反射的图像信息光线经显微放大镜头放大后,再传输到所述CCD摄像机,该CCD摄像机再将采集到的图像信息传输给图像采集和图像处理系统,进行分析和判断,本实用新型专利技术的优点在于:结构简单,不但能自动检测产品,而且能够快速、准确地识别和分析出缺陷的特征信息,并对不合格产品进行统计并报警,大大提高了生产效率与产品合格率。(*该技术在2018年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种基于显微视觉的光学测量和检测的装置,具体是 一种显微图像技术、光学图像处理技术、计算机视觉识别技术和精密定位 技术相结合的综合装置,该装置适用于微细电子元器件、半导体芯片的表 面微观划痕等缺陷检测以及微细线宽的精确测量。
技术介绍
在珠三角地区汇聚着全球九成以上的计算机产业巨头,有电子信息企业近3000家,沿珠江已形成电子信息产业黄金走廊。生产的电脑磁头等 半成品约占全球市场的40%;生产的电路板、电脑驱动器等占全球市场的 30%。目前国内大批量的微细电子元器件表面质量检测大部分通过人眼在 高倍显微镜下进行观察和判断,有的产品缺陷检测对光学要求严格,肉眼 在显微镜下也难以判断,通过手指触摸的方式进行判断。大批量的产品检测往往需要大量的员工进行高重复性的工作。这种产 品缺陷检测方式有许多不足之处,首先,人眼长时间工作在高倍率的显微 镜下,极易疲劳,容易误判和漏判;其次,由于每个人对标准的认识程度 和理解程度不同,主观判断的标准也不一样,难以量化,因此在检测过程 中,没有统一的检测标准;最后,由于检测的工作量大、重复性高,对人 眼的伤害严重。多数电子元器件生产企业依然属于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于显微视觉的光学测量和检测的装置,其特征在于,其包括一被检测体、光源支架、转轴、散热片、高亮度照明光源、挡光板、显微放大镜头、CCD摄像机、电缆、图像采集和图像处理系统;所述高亮度照明光源设置在所述的光源支架的上方;所述的散热片设置在高亮度照明光源上;所述的散热片包括两安装端面,该端面上还各设有一转轴;所述的高亮度照明光源发出的光线照射在被检测体上,该被检测体反射的图像信息光线经显微放大镜头放大后,再传输到所述CCD摄像机,该CCD摄像机再将采集到的图像信息传输给图像采集和图像处理系统,进行分析和判断。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王华
申请(专利权)人:东莞康视达自动化科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:44[中国|广东]

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