【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种基于显微视觉的光学测量和检测的装置,具体是 一种显微图像技术、光学图像处理技术、计算机视觉识别技术和精密定位 技术相结合的综合装置,该装置适用于微细电子元器件、半导体芯片的表 面微观划痕等缺陷检测以及微细线宽的精确测量。
技术介绍
在珠三角地区汇聚着全球九成以上的计算机产业巨头,有电子信息企业近3000家,沿珠江已形成电子信息产业黄金走廊。生产的电脑磁头等 半成品约占全球市场的40%;生产的电路板、电脑驱动器等占全球市场的 30%。目前国内大批量的微细电子元器件表面质量检测大部分通过人眼在 高倍显微镜下进行观察和判断,有的产品缺陷检测对光学要求严格,肉眼 在显微镜下也难以判断,通过手指触摸的方式进行判断。大批量的产品检测往往需要大量的员工进行高重复性的工作。这种产 品缺陷检测方式有许多不足之处,首先,人眼长时间工作在高倍率的显微 镜下,极易疲劳,容易误判和漏判;其次,由于每个人对标准的认识程度 和理解程度不同,主观判断的标准也不一样,难以量化,因此在检测过程 中,没有统一的检测标准;最后,由于检测的工作量大、重复性高,对人 眼的伤害严重。多数电子元 ...
【技术保护点】
一种基于显微视觉的光学测量和检测的装置,其特征在于,其包括一被检测体、光源支架、转轴、散热片、高亮度照明光源、挡光板、显微放大镜头、CCD摄像机、电缆、图像采集和图像处理系统;所述高亮度照明光源设置在所述的光源支架的上方;所述的散热片设置在高亮度照明光源上;所述的散热片包括两安装端面,该端面上还各设有一转轴;所述的高亮度照明光源发出的光线照射在被检测体上,该被检测体反射的图像信息光线经显微放大镜头放大后,再传输到所述CCD摄像机,该CCD摄像机再将采集到的图像信息传输给图像采集和图像处理系统,进行分析和判断。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王华,
申请(专利权)人:东莞康视达自动化科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:44[中国|广东]
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