基于显微视觉的光学测量和检测方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于显微视觉的光学测量和检测方法，其包括以下步骤：（１）设置一上方安装有高亮度照明光源的光源支架；（２）在光源支架下方设一被检测体；（３）调整高亮度照明光源发射的光线角度α１和被检测体的斜面角度α相同；（４）设置一挡光板于光源支架一侧；（５）在挡光板上设一显微放大镜；（６）显微放大镜将放大后的图像信息传递到ＣＣＤ摄像机；（７）ＣＣＤ摄像机将采集到的图像信息传输给图像采集和图像处理系统进而分析与判断；本发明专利技术还公开了一种用来实施前述基于显微视觉的光学测量和检测方法的装置；本发明专利技术的优点在于：能自动快速检测产品，而且精确性高，对不合格产品进行统计并报警，大大提高了生产效率和产品合格率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种基于显微视觉的光学测量和检测方法及装置，具体是 一种显微图像技术、光学图像处理技术、计算机视觉识别技术和精密定位 技术相结合的方法及其装置，适用于微细电子元器件、半导体芯片的表面 微观划痕等缺陷检测以及微细线宽的精确测量。
技术介绍
在珠三角地区汇聚着全球九成以上的计算机产业巨头，有电子信息企业近3000家，沿珠江已形成电子信息产业黄金走廊。生产的电脑磁头等 半成品约占全球市场的40%;生产的电路板、电脑驱动器等占全球市场的 30%。目前国内大批量的微细电子元器件表面质量检测大部分通过人眼在 高倍显微镜下进行观察和判断，有的产品缺陷检测对光学要求严格，肉眼 在显微镜下也难以判断，通过手指触摸的方式进行判断。大批量的产品检测往往需要大量的员工进行高重复性的工作。这种产 品缺陷检测方式有许多不足之处，首先，人眼长时间工作在高倍率的显微 镜下，极易疲劳，容易误判和漏判；其次，由于每个人对标准的认识程度 和理解程度不同，主观判断的标准也不一样，难以量化，因此在检测过程 中，没有统一的检测标准；最后，由于检测的工作量大、重复性高，对人 眼的伤害严重。多数电子元器件生产企业依本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于显微视觉的光学测量和检测方法，其特征在于，其包括如下步骤：　（１）设置一上方安装有高亮度照明光源的光源支架；　（２）在所述的光源支架下方、高亮度照明光源照射范围内设一被检测体；　（３）调整所述的高亮度照明光源发射的光线角度α１，使该光线角度α１和被检测体的斜面角度α１相同，即α１＝α；　（４）设置一挡光板于光源支架一侧且在高亮度照明光源照射范围内；　（５）所述的挡光板上设一显微放大镜头，该显微放大镜头在被检测体反光源照射范围内；　（６）所述的显微放大镜头将放大后的图像信息传递到ＣＣＤ摄像机；　（７）所述的ＣＣＤ摄像机，将采集到的图像信息传输给图像采集和图像处理系统，并进行分析和判断。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王华，
申请(专利权)人：东莞康视达自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：44[中国|广东]