用于清洗探针的基座制造技术

本实用新型专利技术提出了一种用于清洗探针的基座，包括：可置入盛有洗针溶液容器内的底座；自底座并沿垂直于该底座的方向延伸有一手持部；该基座还包括：在底座与手持部的接触面具有若干个倾斜于该接触面、且向底座内延伸的固定孔；一部分内嵌于固定孔、另一部分伸出固定孔并折弯后垂直于接触面的套管，套管内可供直径处于预定尺寸范围内的探针插入、并使插入的探针折弯后固定于套管内。本实用新型专利技术还提供了另一种用于清洗探针的基座。采用本实用新型专利技术的基座，插入基座的套管内的探针折弯后固定于基座的套管内，且直径处于预定尺寸范围内的探针都可被套管固定，本实用新型专利技术的基座能够固定多种尺寸的探针，具有较佳的兼容性。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体清洗技术，特别涉及一种用于清洗探针的基座。
技术介绍
纳米探针在半导体芯片微小结构的电性测试中发挥了非常重要的作用。在利用纳 米探针进行电性测试之前，需要对纳米探针进行清洗，主要原因如下第一，纳米探针的主 要材料是钨，在保存过程中，钨在空气中会缓慢氧化，从而在探针表面形成一层绝缘的氧化 层，影响测试的准确性；第二，保存过程中，探针表面会附着其他的污染颗粒，对于直径只有 几十纳米的针尖而言，探针表面的任何附着物都会影响测试的准确性。因此，为了保证对半 导体芯片微小结构的电性测试的准确性，在使用纳米探针进行电性测试之前必须对纳米探 针进行清洗。 在对纳米探针进行清洗时，通常将探针固定于专用于清洗探针的基座上，将固定 有探针的基座置入盛有洗针溶液的容器内；将盛有洗针溶液且内部收容有基座的容器放入 超声波清洗器，利用超声波清洗器产生的超声波振荡及清洗液对固定于基座上的探针进行 清洗；利用气枪吹干固定于基座的探针；利用吹干后的探针对半导体芯片的微小结构进行 电性测试。 图1为现有的用于清洗探针的基座，现结合图l，对现有的用于清洗探针的基座的 结构进行说明，具体如下现有的用于清洗探针的基座11包括一可置入盛有洗针溶液容 器内的底座111 ，自底座111沿垂直于该底座111的方向延伸有一手持部112，在底座111与 手持部112接触的表面均匀分布有垂直于底座111与手持部112的接触面、向底座111内 延伸且可容探针10插入的固定孔113。探针10的针柄插入底座111上的固定孔113后，通 过手持部112将携带有探针10的底座111置入盛有洗针溶液的容器内，通过超声波振荡对 固定于基座111上的探针10进行清洗。 现有的用于清洗探针的基座11通常由聚四氟乙烯制作而成，但由于聚四氟乙烯 的材质不够坚固，反复插入与拔出探针10容易造成底座111上的固定孔113内径增大，内 壁磨损；探针10固定不牢固，且容易在超声波振荡或清洗结束后的气枪吹干过程中从底座 111的固定孔113中脱落。现有的用于清洗探针的基座11由于固定孔113的内径一定，直 径大于固定孔113内径的探针10无法插入固定孔113，直径小于固定孔113内径的探针10 固定不牢固，现有的用于清洗探针的基座11只能用于清洗直径与固定孔113内径相等的探 针10。 综上所述，现有的用于清洗探针的基座11兼容性不佳，耐用性较差。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种用于清洗探针的基座，该基座能够固定多种尺 寸的探针，具有较佳的兼容性。 本技术还提供了另一种用于清洗探针的基座，该基座能够固定多种尺寸的探针，具有较佳的兼容性。 为达到上述目的，本技术的技术方案具体是这样实现的 —种用于清洗探针的基座，包括可置入盛有洗针溶液容器内的底座；自所述底 座并沿垂直于该底座的方向延伸有一手持部； 该基座还包括在所述底座与所述手持部的接触面具有若干个倾斜于该接触面、 且向所述底座内延伸的固定孔； —部分内嵌于所述固定孔、另一部分伸出所述固定孔并折弯后垂直于所述接触面 的套管，所述套管内可供直径处于预定尺寸范围内的探针插入、并使插入的探针折弯后固 定于所述套管内。 上述基座中，在所述套管折弯两部分延伸方向所构成的平面内，第一位置点到第 二位置点与第三位置点间连线的垂直距离，确定所述预定尺寸范围的下限；其中，所述第一 位置点为折弯处截面位于折弯内侧的位置点；所述第二位置点为内嵌于所述固定孔部分的 端面位于折弯外侧的位置点；所述第三位置点为所述另一部分的端面位于折弯外侧的位置 点；所述套管内直径确定所述预定尺寸范围的上限。 上述基座中，所述套管为耐弱酸碱腐蚀的金属管。 —种用于清洗探针的基座，包括可置入盛有洗针溶液容器内的底座；自所述底 座并沿垂直于该底座的方向延伸有一手持部； 该基座还包括在所述底座与所述手持部的接触面具有若干个固定孔，每个固定 孔包含自所述接触面向所述底座内竖直延伸的垂直部、及自所述垂直部的底部向手持部方 向折弯后再向所述底座内延伸的折弯部； 自所述固定孔垂直部插入、并随折弯部折弯后内嵌于所述固定孔的套管，所述套 管内可供直径处于预定尺寸范围内的探针插入、并使插入的探针折弯后固定于所述套管 内。 上述基座中，在所述套管折弯两部分延伸方向所构成的平面内，第四位置点到第 五位置点与第六位置点间连线的垂直距离，确定所述预定尺寸范围的下限；其中，所述第四 位置点为所述套管折弯处截面位于折弯内侧的位置点；所述第五位置点为所述套管内嵌于 所述固定孔垂直部分的端面位于折弯外侧的位置点；所述第六位置点为所述套管内嵌于所 述固定孔折弯部分的端面位于折弯外侧的位置点；所述套管内直径确定所述预定尺寸范围 的上限。 上述基座中，所述套管为耐弱酸碱腐蚀的金属管。 由上述的技术方案可见，本技术提供了一种用于清洗探针的基座，包括可置 入盛有洗针溶液容器内的底座；自底座并沿垂直于该底座的方向延伸有一手持部；该基座 还包括在底座与手持部的接触面具有若干个倾斜于该接触面、且向底座内延伸的固定孔； 一部分内嵌于固定孔、另一部分伸出固定孔并折弯后垂直于接触面的套管，套管内可供直 径处于预定尺寸范围内的探针插入、并使插入的探针折弯后固定于套管内。 本技术还提供了 一种用于清洗探针的基座，包括可置入盛有洗针溶液容器内 的底座；自底座并沿垂直于该底座的方向延伸有一手持部；该基座还包括在底座与手持 部的接触面具有若干个固定孔，每个固定孔包含自接触面向底座内延伸的垂直部、及自垂 直部的底部向手持部方向折弯后再向底座内延伸的折弯部；自固定孔垂直部插入、并随折弯部折弯后内嵌于固定孔的套管，套管内可供直径处于预定尺寸范围内的探针插入、并使 插入的探针折弯后固定于套管内。 采用本技术的基座，插入基座的套管内的探针折弯后固定于基座的套管内， 且直径处于预定尺寸范围内的探针都可被套管固定，本技术的基座能够固定多种尺寸 的探针，具有较佳的兼容性。附图说明图la为现有的用于清洗探针的基座的结构示意图。 图lb为现有的用于清洗探针的基座的固定孔的剖视图。 图2a为本技术用于清洗探针的基座实施例一的结构示意图。 图2b为本技术用于清洗探针的基座实施例一的固定孔的剖视图。 图3a为本技术用于清洗探针的基座实施例二的结构示意图。 图3b为本技术用于清洗探针的基座实施例二的固定孔的剖视图。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案、及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施 例，对本技术进一步详细说明。 本技术提出了一种用于清洗探针的基座，包括可置入盛有洗针溶液容器内 的底座；自底座并沿垂直于该底座的方向延伸有一手持部；该基座还包括在底座与手持 部的接触面具有若干个倾斜于该接触面、且向底座内延伸的固定孔；一部分内嵌于固定孔、 另一部分伸出固定孔并折弯后垂直于接触面的套管，套管内可供直径处于预定尺寸范围内 的探针插入、并使插入的探针折弯后固定于套管内。 本技术还提出了一种用于清洗探针的基座，包括可置入盛有洗针溶液容器内 的底座；自底座并沿垂直于该底座的方向延伸有一手持部；该基座还包括在底座与手持 部的接触面具有若干个固定孔，每个固定孔包含自接触面向底座本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于清洗探针的基座，包括：可置入盛有洗针溶液容器内的底座；自所述底座并沿垂直于该底座的方向延伸有一手持部；其特征在于，该基座还包括：在所述底座与所述手持部的接触面具有若干个倾斜于该接触面、且向所述底座内延伸的固定孔；一部分内嵌于所述固定孔、另一部分伸出所述固定孔并折弯后垂直于所述接触面的套管，所述套管内可供直径处于预定尺寸范围内的探针插入、并使插入的探针折弯后固定于所述套管内。

【技术特征摘要】
一种用于清洗探针的基座，包括可置入盛有洗针溶液容器内的底座；自所述底座并沿垂直于该底座的方向延伸有一手持部；其特征在于，该基座还包括在所述底座与所述手持部的接触面具有若干个倾斜于该接触面、且向所述底座内延伸的固定孔；一部分内嵌于所述固定孔、另一部分伸出所述固定孔并折弯后垂直于所述接触面的套管，所述套管内可供直径处于预定尺寸范围内的探针插入、并使插入的探针折弯后固定于所述套管内。2. 根据权利要求l所述的基座，其特征在于，在所述套管折弯两部分延伸方向所构成的平面内，第一位置点到第二位置点与第三位 置点间连线的垂直距离，确定所述预定尺寸范围的下限；其中，所述第一位置点为折弯处截 面位于折弯内侧的位置点；所述第二位置点为内嵌于所述固定孔部分的端面位于折弯外侧 的位置点；所述第三位置点为所述另一部分的端面位于折弯外侧的位置点；所述套管内直径确定所述预定尺寸范围的上限。3. 根据权利要求1或2所述的基座，其特征在于，所述套管为耐弱酸碱腐蚀的金属管。4. 一种用于清洗探针的基座，包括 可置入盛有洗针溶液容器内的底座...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔立超，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]