滚轮装置驱动机构制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种滚轮装置驱动机构，适用于驱动平行安装于真空腔内用于传输基片的滚轮装置，包括驱动装置、磁力传动装置及密封盖，真空腔的腔壁开设有安装孔，密封盖密封地安装于安装孔内，密封盖具有中空结构的凸起，磁力传动装置包括传动齿轮、外磁环套和内磁环套，传动齿轮套于外磁环套外，凸起穿过外磁环套并与传动齿轮枢接，传动齿轮与驱动装置连接，内磁环套固定套设在滚轮装置的滚轮轴上并容置于凸起的中空结构内，外磁环套与内磁环套均内嵌有永磁体，驱动装置带动传动齿轮转动，传动齿轮带动外磁环套旋转，外磁环套带动内磁环套旋转，内磁环套带动滚轮装置的滚轮轴旋转。本发明专利技术滚轮装置驱动机构密封效果好、不易损坏、高清洁度、无噪音。

Roller device drive mechanism

The invention discloses a roller device driving mechanism for driving parallel installed in the vacuum chamber for the roller device transport substrate, which comprises a driving device, a magnetic transmission device and a sealing cover, the vacuum chamber wall is provided with a mounting hole, the sealing cover is hermetically installed in the mounting hole, the sealing cover bulges with hollow structure the magnetic transmission device comprises a transmission gear, the outer magnetic ring sleeve and the inner ring gear is sheathed on the outer sleeve, magnetic ring, magnetic ring and protruding through the outer sleeve and the drive gear is pivoted, the drive gear is connected with the driving device, internal magnetic ring is fixedly sheathed on the roller shaft in the roller device is arranged in the hollow bulge and in the structure, the outer magnetic ring sleeve and the inner sleeve are embedded with permanent magnets, the driving device drives the drive gear to rotate, the drive gear drives the outer magnetic ring is rotated, the outer magnetic sleeve drives the inner magnetic ring The inner magnetic ring sleeve drives the roller shaft of the roller device to rotate. The driving device of the rolling wheel device has good sealing effect, uneasy damage, high cleanness and no noise.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种为传输装置提供动力的驱动机构，尤其涉及一种驱动真空腔内的用于传输基片的滚轮装置的滚轮装置驱动机构。
技术介绍
玻璃基材等薄板已广泛用于制造LCD-TFT显示屏、有机发光显示器件(0LED)面 板、薄膜太阳能面板应用及其他类似者。于此类应用中大多在洁净玻璃上镀覆薄膜晶体管， 这类大型玻璃基材的制程通常包含实施多个连续步骤，包括如化学气相沉积制程(CVD)、物 理气相沉积制程(PVD)、有机物质蒸镀、磁控溅射沉积或蚀刻制程。用于处理玻璃基材的系 统可包括一或多个制程处理室，以进行前述所述制程。目前趋势面板加工朝向大面积基材 尺寸发展，以使基材上可形成更多显示器、或制造更大型的显示器以及更大型的太阳能面 板。 由于此类制程的工艺要求比较严格，即必须在真空状态下以及完全洁净的空间环 境中进行，如有机发光二极管的蒸镀制程，其沉积物为呈蒸汽状的有机物质，如有空气、水 汽等存在的话极易与有机蒸镀材料发生反应进而改变基材上的沉积物成分，影响其发光效 应；再如，磁控溅射沉积制程过程中，等离子体辉光放电后相互撞击空间内惰性气体使离子 化程度达到雪崩状态，从而大面积、大范围的撞击金属本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种滚轮装置驱动机构，适用于驱动平行安装于真空腔内的用于传输基片的滚轮装置，其特征在于：所述滚轮装置驱动机构包括驱动装置、磁力传动装置及密封盖，所述真空腔的腔壁开设有安装孔，所述密封盖密封地安装于所述安装孔内，所述密封盖具有中空结构的凸起，所述磁力传动装置包括传动齿轮、外磁环套和内磁环套，所述传动齿轮套于所述外磁环套外，所述凸起枢接地穿过所述外磁环套并与所述传动齿轮枢接，所述传动齿轮与所述驱动装置连接，所述内磁环套固定套设在所述滚轮装置的滚轮轴上并容置于所述密封盖的凸起的中空结构内，所述外磁环套与所述内磁环套均内嵌有永磁体，所述驱动装置驱动所述传动齿轮转动，所述传动齿轮带动所述外磁环套旋转，所...

【技术特征摘要】
一种滚轮装置驱动机构，适用于驱动平行安装于真空腔内的用于传输基片的滚轮装置，其特征在于所述滚轮装置驱动机构包括驱动装置、磁力传动装置及密封盖，所述真空腔的腔壁开设有安装孔，所述密封盖密封地安装于所述安装孔内，所述密封盖具有中空结构的凸起，所述磁力传动装置包括传动齿轮、外磁环套和内磁环套，所述传动齿轮套于所述外磁环套外，所述凸起枢接地穿过所述外磁环套并与所述传动齿轮枢接，所述传动齿轮与所述驱动装置连接，所述内磁环套固定套设在所述滚轮装置的滚轮轴上并容置于所述密封盖的凸起的中空结构内，所述外磁环套与所述内磁环套均内嵌有永磁体，所述驱动装置驱动所述传动齿轮转动，所述传动齿轮带动所述外磁环套旋转，所述外磁环套带动所述内磁环套旋转，所述内磁环套带动所述滚轮装置的滚轮轴旋转。2. 如权利要求1所述的滚轮装置驱动机构，其特征在于所述外磁环套上开设有外磁 铁安装槽，所述内磁环套于所述外磁铁安装槽相应的位置上开设有内磁铁安装槽，所述永 磁体分别安装于所述外磁铁安装槽和内磁铁安装槽内。3. 如权利要求1所述的滚轮装置驱动机构，其特征在于所述驱动装置包括第一链传 动轮、第二链传动轮、...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，刘惠森，范继良，余超平，王曼媛，王勇，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：发明
国别省市：44[中国|广东]