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本发明公开了一种滚轮装置驱动机构，适用于驱动平行安装于真空腔内用于传输基片的滚轮装置，包括驱动装置、磁力传动装置及密封盖，真空腔的腔壁开设有安装孔，密封盖密封地安装于安装孔内，密封盖具有中空结构的凸起，磁力传动装置包括传动齿轮、外磁环套和内...
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