非接触式滚轮装置驱动机构制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种非接触式滚轮装置驱动机构，适用于驱动平行安装于真空腔内用于传输基片的滚轮装置，包括驱动装置、磁力传动装置及密封盖，真空腔的腔壁开设有安装孔，密封盖密封地安装于安装孔内，密封盖具有中空结构的凸起，磁力传动装置包括传动齿轮、外磁环套和内磁环套，传动齿轮套于外磁环套外，凸起穿过外磁环套并与传动齿轮枢接，传动齿轮与驱动装置连接，内磁环套固定套设在滚轮装置的滚轮轴上并容置于凸起的中空结构内，外磁环套与内磁环套均内嵌有永磁体，驱动装置带动传动齿轮转动，传动齿轮带动外磁环套旋转，外磁环套带动内磁环套旋转，内磁环套带动滚轮装置的滚轮轴旋转。本实用新型专利技术密封效果好、不易损坏、高清洁度、无噪音。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种为传输装置提供动力的驱动机构，尤其涉及一种驱动真空腔内的用于传输基片的滚轮装置的非接触式滚轮装置驱动机构。
技术介绍
玻璃基材等薄板已广泛用于制造LCD-TFT显示屏、有机发光显示器件(0LED)面板、薄膜太阳能面板应用及其他类似者。于此类应用中大多在洁净玻璃上镀覆薄膜晶体管，这类大型玻璃基材的制程通常包含实施多个连续步骤，包括如化学气相沉积制程(CVD)、物理气相沉积制程(PVD)、有机物质蒸镀、磁控溅射沉积或蚀刻制程。用于处理玻璃基材的系统可包括一或多个制程处理室，以进行前述所述制程。目前趋势面板加工朝向大面积基材尺寸发展，以使基材上可形成更多显示器、或制造更大型的显示器以及更大型的太阳能面板。 由于此类制程的工艺要求比较严格，即必须在真空状态下以及完全洁净的空间环境中进行，如有机发光二极管的蒸镀制程，其沉积物为呈蒸汽状的有机物质，如有空气、水汽等存在的话极易与有机蒸镀材料发生反应进而改变基材上的沉积物成分，影响其发光效应；再如，磁控溅射沉积制程过程中，等离子体辉光放电后相互撞击空间内惰性气体使离子化程度达到雪崩状态，从而大面积、大范围的撞击金属靶材，金属原子或/和原子团脱离靶材在磁力引导下沉积到基底上，然此过程如密封不好、真空环境不足将严重影响辉光放电的程度，同时空气中的氧气和水汽也会将靶材侵蚀，导致磁控溅射制程中断或/和沉积薄膜受到影响；类此种种玻璃等基材的镀膜、覆膜制程，都必须要保证整个制程的真空系统的绝对可靠性。这样，在此类制程中，真空传动就凸显了重要意义，真空传动的设计程度往往考验着整个制程的真空系统的可靠性。 真空环境的获得全赖于能够密封，针对不同真空室的工作要求，在真空传动系统中，动力源一般由外部传到内部这样首先就要解决的是传动系统与真空室间的密封，同时基于制造的要求必须保证所有传动的执行机构都能同步运动，而现有技术中，对真空腔的动力传动大都采用动密封传动，以往的动密封传动一方面动密封不容易实现，对于元部件的要求较高，另一方面动密封存在不稳定性，多次重复动作容易导致密封元器件的坏损影响密封要求。在真空腔体内的传输采用大量的滚轮、滚珠顶杆等，一方面滚轮与被传输器件接触会产生避免不了的磨损，另一方面大量采用大量的滚轮、滚珠顶杆也会给真空环境带来污染。腔体内部的同步联系，由于链轮与链条或/和同步带轮与同步带间的相对运动以及直接的物理接触会使来自驱动装置的污染源增多。 因此，急需一种密封效果好、不易损坏、高清洁度、超静音的非接触式的非接触式滚轮装置驱动机构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种密封效果好、不易损坏、高清洁度、超静音的采用非接触式传输动力的非接触式滚轮装置驱动机构。 为了实现上述目的，本技术的技术方案为提供一种非接触式滚轮装置驱动机构，适用于驱动平行安装于真空腔内的用于传输基片的滚轮装置，所述非接触式滚轮装置驱动机构包括驱动装置、磁力传动装置及密封盖，所述真空腔的腔壁开设有安装孔，所述密封盖密封地安装于所述安装孔内，所述密封盖具有中空结构的凸起，所述磁力传动装置包括传动齿轮、外磁环套和内磁环套，所述传动齿轮套于所述外磁环套外，所述凸起枢接地穿过所述外磁环套并与所述传动齿轮枢接，所述传动齿轮与所述驱动装置连接，所述内磁环套固定套设在所述滚轮装置的滚轮轴上并容置于所述密封盖的凸起的中空结构内，所述外磁环套与所述内磁环套均内嵌有永磁体，所述驱动装置驱动所述传动齿轮转动，所述传动齿轮带动所述外磁环套旋转，所述外磁环套带动所述内磁环套旋转，所述内磁环套带动所述滚轮装置的滚轮轴旋转。 较佳地，所述外磁环套上开设有外磁铁安装槽，所述内磁环套于所述外磁铁安装槽相应的位置上开设有内磁铁安装槽，所述永磁体分别安装于所述外磁铁安装槽和内磁铁安装槽内。采用开设外磁铁安装槽和内磁铁安装槽并在其内安装永磁体的方式使所述外磁环套和内磁环套之间建立磁性连接，使本技术非接触式滚轮装置驱动机构的结构简单且制造成本低。 较佳地，所述驱动装置包括第一链传动轮、第二链传动轮、链条、驱动传动轴、驱动齿轮及马达，所述链条缠绕于所述第一链传动轮和第二链传动轮上且与所述第一链传动轮和第二链传动轮相啮合，所述第一链传动轮固定于所述马达的输出轴上，所述驱动传动轴枢接于所述真空腔的外壁上，所述第二链传动轮与所述驱动齿轮同轴固定于所述驱动传动轴上，所述驱动齿轮与所述传动齿轮啮合。 一方面，所述驱动装置通过链条将动力从马达上传输到驱动传动轴上，并通过驱动传动轴使得固定于其上的驱动齿轮实现同步转动；另一方面，所述驱动齿轮与所述传动齿轮啮合，通过齿轮之间的相互啮合进行动力传动，可有效的起到减速的作用，使得被传输基片或物体在传输动力时更加平稳，并且结构的布局更加紧凑合理，避免因驱动传动轴旋转不平稳而造成非接触式滚轮装置驱动机构和真空腔发生振动。 较佳地，所述驱动装置还包括轴承座，所述轴承座固定于所述真空腔的外壁上，所述驱动传动轴与所述轴承座枢接。当滚轮轴转动时，物体可以直接承载于所述滚轮轴上随之移动，而轴安装架使得滚轮轴可以稳固的承载传输物体，防止滚轮轴变形或者断裂。 较佳地，所述滚轮装置还包括支架及滚轮，所述支架安装于所述真空腔内的滚轮轴两侧，所述滚轮轴的一端与所述内磁环套固定连接，所述滚轮轴的另一端依次穿过两所述滚轮并与所述支架枢接，被同一所述滚轮轴穿过的两所述滚轮之间形成基片传输区。所述支架使所述滚轮轴平稳地安装在真空腔内，防止滚轮轴由于自身重量而产生的变形，或由于承载于其上的被传输物体过重而导致的断裂。所述滚轮使得所述滚轮装置方便地传输物体，所述非接触式滚轮装置驱动机构工作时，基片或者被传输物体直接承载于滚轮上，利用滚轮和基片之间的摩擦力，使得所述基片或被传输物体随着滚轮轴的转动而移动，最终实现基片或者物体的传输。 较佳地，所述滚轮开设有台阶，被同一所述滚轮轴穿过的两所述滚轮的台阶相对设置并形成所述基片传输区。当所述非接触式滚轮装置驱动机构工作时，基片或者被传输物体承载于所述台阶较低的一阶上，且通过较高的一阶的侧壁对被传输物体进行限位，实现物体在传输时的平稳，并且能有效的防止物体发生传输的偏移。 较佳地，所述非接触式滚轮装置驱动机构还包括密封圈，所述密封圈连接于所述密封盖与所述安装孔之间。所述密封圈使得真空腔的密封效果更好，更加稳定。 与现有技术相比，本技术非接触式滚轮装置驱动机构采用非接触式传输动力的静密封传动，通过密封盖将真空腔密封，并通过磁力传动装置将机械传动转变成磁力传动。由于所述磁力传动装置一部分位于密封盖外，一部分位于密封盖内，并通过非接触的方式实现磁力传动，因此，一方面，通过密封盖将所述真空腔完全密封使得本技术非接触式滚轮装置驱动机构的密封效果好，容易实现，克服了传统的动密封传动中对于元部件的要求较高，密封不容易实现，不稳定性，多次重复动作容易导致密封元器件的坏损影响密封要求等缺点；另一方面，通过设置在真空腔外的外磁环套和设置在真空腔内的内磁环套之间的磁连接来进行动力传动，使得本技术非接触式滚轮装置驱动机构运行时，外部的噪音不会传输到真空腔内部，且将机械传动转换为磁力传动，克服了传统的传动机构中，由于机械传动时各部件的相对运动以及直接的物理接触使得腔体内部的污本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种非接触式滚轮装置驱动机构，适用于驱动平行安装于真空腔内的用于传输基片的滚轮装置，其特征在于：所述非接触式滚轮装置驱动机构包括驱动装置、磁力传动装置及密封盖，所述真空腔的腔壁开设有安装孔，所述密封盖密封地安装于所述安装孔内，所述密封盖具有中空结构的凸起，所述磁力传动装置包括传动齿轮、外磁环套和内磁环套，所述传动齿轮套于所述外磁环套外，所述凸起枢接地穿过所述外磁环套并与所述传动齿轮枢接，所述传动齿轮与所述驱动装置连接，所述内磁环套固定套设在所述滚轮装置的滚轮轴上并容置于所述密封盖的凸起的中空结构内，所述外磁环套与所述内磁环套均内嵌有永磁体，所述驱动装置驱动所述传动齿轮转动，所述传动齿轮带动所述外磁环套旋转，所述外磁环套带动所述内磁环套旋转，所述内磁环套带动所述滚轮装置的滚轮轴旋转。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨明生，刘惠森，范继良，余超平，王曼媛，王勇，
申请(专利权)人：东莞宏威数码机械有限公司，
类型：实用新型
国别省市：44[中国|广东]