【技术实现步骤摘要】
本技术涉及基板吸盘，具体为一种基板吸盘结构。
技术介绍
1、基板处理工艺包括先对基板进行固定与基板吸盘上，且在基板位置固定的状态下通过旋转的垫状物对基板表面进行擦拭或者细微研磨的工艺。
2、其中现有的基板吸盘仅可以对固定大小的基板进行吸附固定，且在基板较大或较小时会导致现有的基板吸盘不便于对基板进行稳定吸附固定或无法吸附固定的情况出现。
技术实现思路
1、针对上述技术问题，本技术提供一种基板吸盘结构，可以便捷的对不同大小型号基板进行吸附固定，并实现了对基板进行稳定吸附固定。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基板吸盘结构，包括设置在固定块上的支撑盘、以及设置在支撑盘上对基板进行吸附固定的吸附机构，支撑盘顶端端面沿圆周阵列开设有四个长度方向过中心位置的限位槽，吸附机构包括四个分别一一对应活动设置在不同限位槽上方的移动吸附盘、设置在支撑盘顶端中心位置上的固定吸附盘、设置在支撑盘内部开设储存槽内并分别连接移动吸附盘和固定吸附盘的吸附装置、以及设置在储存槽内并驱动四个移动吸附盘分别在不同限位槽内同步移动的控制组件。
3、优选的，吸附机构还包括活动穿设于限位槽内且分别连接不同移动吸附盘的连接管，四个连接管设置在控制组件上且均连接吸附装置。
4、优选的，控制组件包括轴线方向相互垂直设置在储存槽内的第一双向丝杆和第二双向丝杆、设置在储存槽内且分别固定连接不同连接管的四个第一螺纹块、以及设置在储存槽内并驱动第一双向丝杆和第二双向丝杆进行
5、优选的，第一驱动件包括两个分别固定套设于第一双向丝杆杆身中部和第二双向丝杆杆身中部且相互啮合的传动齿轮、设置在储存槽内且与其中一个传动齿轮啮合的驱动齿轮、以及设置在储存槽内并驱动驱动齿轮进行转动的第一电机。
6、优选的，控制组件包括两根轴线方向相互平行设置在储存槽内的滑杆、设置在储存槽内且分别固定连接不同连接管的四个滑块、以及设置在储存槽内并驱动两根滑杆相互靠近或相互远离的第二驱动件，每根滑杆两端分别活动穿设于不同滑块上。
7、优选的，第二驱动件包括分别固定设置在不同滑杆杆身中部位置上的两个第二螺纹块、以及设置在储存槽内且两端分别通过螺纹连接穿设于不同第二螺纹块上的第三双向丝杆，第三双向丝杆端部连接设置在储存槽内设置的第二电机输出端。
8、本技术的有益效果：直接将基板放置于支撑盘上的固定吸附盘和移动吸附盘上，从而便于对基板进行吸附固定，且在需要对不同大小型号的基板进行吸附固定时，直接通过控制组件带动设置在支撑盘上开设的限位槽上的四个移动吸附盘同步移动，且带动四个移动吸附盘同步向靠近支撑盘中心位置移动或远离位置移动，从而便于调节四个移动吸附盘之间的位置，从而便于对不同大小型号基板进行吸附固定，可以便捷的对不同大小型号基板进行吸附固定，并实现了对基板进行稳定吸附固定。
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1.一种基板吸盘结构，包括设置在固定块(1)上的支撑盘(2)、以及设置在支撑盘(2)上对基板进行吸附固定的吸附机构，其特征在于，支撑盘(2)顶端端面沿圆周阵列开设有四个长度方向过中心位置的限位槽(3)，吸附机构包括四个分别一一对应活动设置在不同限位槽(3)上方的移动吸附盘(5)、设置在支撑盘(2)顶端中心位置上的固定吸附盘(6)、设置在支撑盘(2)内部开设储存槽(7)内并分别连接移动吸附盘(5)和固定吸附盘(6)的吸附装置、以及设置在储存槽(7)内并驱动四个移动吸附盘(5)分别在不同限位槽(3)内同步移动的控制组件。
2.根据权利要求1所述的一种基板吸盘结构，其特征在于：吸附机构还包括活动穿设于限位槽(3)内且分别连接不同移动吸附盘(5)的连接管(4)，四个连接管(4)设置在控制组件上且均连接吸附装置。
3.根据权利要求1所述的一种基板吸盘结构，其特征在于：控制组件包括轴线方向相互垂直设置在储存槽(7)内的第一双向丝杆(8)和第二双向丝杆(9)、设置在储存槽(7)内且分别固定连接不同连接管(4)的四个第一螺纹块(10)、以及设置在储存槽(7)内并驱动第一双
4.根据权利要求3所述的一种基板吸盘结构，其特征在于：第一驱动件包括两个分别固定套设于第一双向丝杆(8)杆身中部和第二双向丝杆(9)杆身中部且相互啮合的传动齿轮(11)、设置在储存槽(7)内且与其中一个传动齿轮(11)啮合的驱动齿轮(12)、以及设置在储存槽(7)内并驱动驱动齿轮(12)进行转动的第一电机(13)。
5.根据权利要求1所述的一种基板吸盘结构，其特征在于：控制组件包括两根轴线方向相互平行设置在储存槽(7)内的滑杆(15)、设置在储存槽(7)内且分别固定连接不同连接管(4)的四个滑块(14)、以及设置在储存槽(7)内并驱动两根滑杆(15)相互靠近或相互远离的第二驱动件，每根滑杆(15)两端分别活动穿设于不同滑块(14)上。
6.根据权利要求5所述的一种基板吸盘结构，其特征在于：第二驱动件包括分别固定设置在不同滑杆(15)杆身中部位置上的两个第二螺纹块(17)、以及设置在储存槽(7)内且两端分别通过螺纹连接穿设于不同第二螺纹块(17)上的第三双向丝杆(16)，第三双向丝杆(16)端部连接设置在储存槽(7)内设置的第二电机(18)输出端。
...【技术特征摘要】
1.一种基板吸盘结构，包括设置在固定块(1)上的支撑盘(2)、以及设置在支撑盘(2)上对基板进行吸附固定的吸附机构，其特征在于，支撑盘(2)顶端端面沿圆周阵列开设有四个长度方向过中心位置的限位槽(3)，吸附机构包括四个分别一一对应活动设置在不同限位槽(3)上方的移动吸附盘(5)、设置在支撑盘(2)顶端中心位置上的固定吸附盘(6)、设置在支撑盘(2)内部开设储存槽(7)内并分别连接移动吸附盘(5)和固定吸附盘(6)的吸附装置、以及设置在储存槽(7)内并驱动四个移动吸附盘(5)分别在不同限位槽(3)内同步移动的控制组件。
2.根据权利要求1所述的一种基板吸盘结构，其特征在于：吸附机构还包括活动穿设于限位槽(3)内且分别连接不同移动吸附盘(5)的连接管(4)，四个连接管(4)设置在控制组件上且均连接吸附装置。
3.根据权利要求1所述的一种基板吸盘结构，其特征在于：控制组件包括轴线方向相互垂直设置在储存槽(7)内的第一双向丝杆(8)和第二双向丝杆(9)、设置在储存槽(7)内且分别固定连接不同连接管(4)的四个第一螺纹块(10)、以及设置在储存槽(7)内并驱动第一双向丝杆(8)和第二双向丝杆(9)进行同步转动的第一驱动件，第一双向丝杆(8)两端分别穿设于不同第一螺纹块(10)上且杆身与第...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛业保，章广飞，王运钢，李文静，
申请(专利权)人：安徽国芯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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