一种压板装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种压板装置，涉及到光刻机技术领域，包括呈

【技术实现步骤摘要】
一种压板装置


[0001]本技术涉及光刻机
，特别涉及一种压板装置
。

技术介绍

[0002]光刻机称为掩膜对准曝光机，常用的光刻机是采用掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干
、
涂底
、
旋涂光刻胶
、
软烘
、
对准曝光
、
后烘
、
显影
、
硬烘
、
刻蚀等多道工序
。
[0003]例如公开号为
CN214375824U
提出的一种光刻机，包括主机体
、
工作台
、
压板装置
。
主机体上设有光路模块
、
驱动模块，工作台的上表面形成为用于放置工件的放置区；光路模块与工作台的放置区相对设置，工作台与主机体连接，且工作台和光路模块中的至少一个与驱动模块连接，以使光路模块能够相对于放置区在水平方向移动
。
压板装置与主机体固定，且压板装置位于光路模块的至少一侧，压板装置与放置区相对设置，压板装置被构造成为以非接触方式对位于工作台上的工件施加以抵压放置区的作用力
。
[0004]上述方案使压板装置靠近光路模块的工作区域，工作台上的工件稳定性更高
。
非接触式的压板装置避免了工件表面可能存在的划痕或者交叉污染，提高了工件的良率，简化了光刻机的结构；但是在
PCB
板体加工结束后，需要先解除对加工完成后的r/>PCB
板体的压紧操作，将加工完成后
PCB
取下，对
PCB
板体的放置进行让位，然后，再对待加工
PCB
板体进行压紧，存在着操作时需要让位的问题，导致加工效率较低
。

技术实现思路

[0005]针对上述问题，本申请提供了一种压板装置
。
[0006]为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种压板装置，包括呈
U
型的支撑架，所述支撑架两个支脚上设置有主转轴，且与所述支脚转动连接，所述主转轴的外圈固定套接有对应两侧水平的安装座，所述安装座水平面上设置有两组承载单元，所述承载单元上设置有压板机构，
PCB
板体位于所述承载单元上，通过压板机构对其进行压紧；
[0007]所述主转轴上对称设置有调节机构，通过所述调节机构可以调节每组承载单元之间的距离
。
[0008]优选地，其中一个所述支撑架支脚上固定连接有第一驱动电机，所述主转轴的一端与所述第一驱动电机的输出端固定连接；
[0009]所述支撑架上设置有传送带，所述传送带位于所述承载单元的下方
。
[0010]优选地，所述安装座上开设有两组条型孔，每组数量为两个，所述承载单元包括滑动套接在所述安装座内的插板，所述插板的两端固定连接有与所述安装座水平面齐平的承载板，所述调节机构可以推动所述承载板在所述条型孔内滑动
。
[0011]优选地，两组所述承载板之间固定连接有连接板，所述连接板上固定连接有推板，所述调节机构包括固定套接在所述主转轴外圈的两个套管，所述套管位于所述安装座的两侧，所述套管的侧壁上固定连接有两个对称分布的支片，所述支片上设置有电动伸缩杆，所
述电动伸缩杆的输出端与所述推板固定连接
。
[0012]优选地，所述压板机构包括固定连接在其中一侧的两个第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端固定连接有第二转轴，所述第二转轴的外圈固定套接有第二齿轮，每组所述承载板上均固定连接有凸片，该两个所述凸片之间转动连接有第一转轴，所述第一转轴的一端贯穿一侧凸片，且外圈固定套接有与所述第二齿轮啮合的第一齿轮，所述第一转轴的外圈设置有若干个压紧件
。
[0013]优选地，所述压紧件包括固定套接在所述第一转轴外圈的套环，所述套环的侧壁上固定连接有压片，两组所述压片之间的角度为直角
。
[0014]优选地，所述压片上设置有多个硅胶材质的凸点
。
[0015]综上，本技术的技术效果和优点：
[0016]本技术通过设置两组承载单元，可以循环式的对
PCB
板体进行压紧释放操作，不需要对
PCB
板体的放置进行让位，提高对
PCB
板体压紧和释放的节奏和效率，进而提升对
PCB
板体加工效率，同时在一定范围内对不同尺寸的
PCB
板体进行压紧，提高整个装置的实用性
。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
。
[0018]图1为压板装置立体结构示意图
。
[0019]图2为压板机构和调节机构结构示意图
。
[0020]图3为压板机构结构示意图
。
[0021]图4为局部结构示意图
。
[0022]图中：
1、
支撑架；
2、
第一驱动电机；
201、
主转轴；
3、
第一齿轮；
4、
第二齿轮；
5、
第一转轴；
6、
安装座；
601、
条型孔；
7、
承载板；
701、
凸片；
702、
推板；
703、
插板；
704、
连接板；
8、
套管；
801、
支片；
9、
电动伸缩杆；
10、
第二驱动电机；
1001、
第二转轴；
11、
套环；
1101、
压片；
12、
凸点
。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围
。
[0024]实施例：参考图1‑4所示的一种压板装置，包括呈
U
型的支撑架1，支撑架1两个支脚上设置有主转轴
201
，且与支脚转动连接，主转轴
201
的外圈固定套接有对应两侧水平的安装座6，安装座6水平面上设置有两组承载单元，承载单元上设置有压板机构，
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种压板装置，包括呈
U
型的支撑架
(1)
，其特征在于：所述支撑架
(1)
两个支脚上设置有主转轴
(201)
，且与所述支脚转动连接，所述主转轴
(201)
的外圈固定套接有对应两侧水平的安装座
(6)
，所述安装座
(6)
水平面上设置有两组承载单元，所述承载单元上设置有压板机构，
PCB
板体位于所述承载单元上，通过压板机构对其进行压紧；所述主转轴
(201)
上对称设置有调节机构，通过所述调节机构可以调节每组承载单元之间的距离
。2.
根据权利要求1所述的压板装置，其特征在于：其中一个所述支撑架
(1)
支脚上固定连接有第一驱动电机
(2)
，所述主转轴
(201)
的一端与所述第一驱动电机
(2)
的输出端固定连接；所述支撑架
(1)
上设置有传送带，所述传送带位于所述承载单元的下方
。3.
根据权利要求1所述的压板装置，其特征在于：所述安装座
(6)
上开设有两组条型孔
(601)
，每组数量为两个，所述承载单元包括滑动套接在所述安装座
(6)
内的插板
(703)
，所述插板
(703)
的两端固定连接有与所述安装座
(6)
水平面齐平的承载板
(7)
，所述调节机构可以推动所述承载板
(7)
在所述条型孔
(601)
内滑动
。4.
根据权利要求3所述的压板装置，其特征在于：两组所述承载板
(7)
之间固定连接有连接板
(704)
，所述连接板
(704)
上固定连接有推板
(702)
，所述调节机构包括固定套...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛业保，章广飞，王运钢，李文静，
申请(专利权)人：安徽国芯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：