一种光刻机镜头保护装置制造方法及图纸

本技术公开了一种光刻机镜头保护装置，涉及到光刻机技术领域，包括物镜镜头和开设在所述物镜镜头的侧壁上对称的一对销孔，所述物镜镜头外侧设置有保护罩，所述保护罩上设置有壳体，所述壳体内设置有隔板，将所述壳体分隔成两个腔室，其中一个腔室内设置有冷却循环机构，另一个腔室内设置有冷却通风机构；所述保护罩包括内护管和外护管，所述内护管和所述外护管两端密封且之间形成冷却腔；所述冷却腔内设置有螺旋管。本技术能够对物镜镜头进行保护，配合冷却液的循环流动，对物镜镜头进行持续性冷却，降低了连续曝光后镜头升高的温度，同时可以对物镜镜头表面进行吹风，减少物镜镜头表面产生结晶物现象的几率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光刻机，特别涉及一种光刻机镜头保护装置。

技术介绍

1、光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，其作用是用光来制作一个图形，其工作过程是在硅片表面匀胶，然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程，将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

2、例如公开号为cn111638630a提出的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置，包括底座，所述底座的上端一侧开设有圆形槽，所述圆形槽内底部转动连接有固定轴，所述底座的上端设置有矩形板，所述矩形板同轴固定连接在固定轴上端，所述矩形板侧壁内开设有装置腔，所述装置腔内底部与内顶部之间对称转动连接有一对螺纹杆，一对所述螺纹杆上均螺纹连接有丝杠螺母。

3、上述方案通过设置第一控制机构、第一驱动机构、螺纹杆和传动机构等，既可以方便地实现物镜镜头的高度调节和横向转动调节，使物镜镜头更容易对准目标物，方便了光刻机的工作过程，还可以取代传统螺栓式的装配过程，更为方便快捷地完成物镜镜头的装配工作，具有较强的实际意义；但是申请人发现物镜镜头缺乏保护结构，且由于长时间进行激光曝光，物镜内部温度会随曝光时间而变化，物镜内部温度的变化会造成焦面飘逸，同时长期使用时，物镜镜头被污染表面会产生结晶物的现象。

技术实现思路

1、针对上述问题，本申请提供了一种光刻机镜头保护装置。

2、为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种光刻机镜头保护装置，包括物镜镜头和开设在所述物镜镜头的侧壁上对称的一对销孔，所述物镜镜头外侧设置有保护罩，所述保护罩上设置有壳体，所述壳体内设置有隔板，将所述壳体分隔成两个腔室，其中一个腔室内设置有冷却循环机构，另一个腔室内设置有冷却通风机构；

3、所述保护罩包括内护管和外护管，所述内护管和所述外护管两端密封且之间形成冷却腔；

4、所述冷却腔内设置有螺旋管，所述螺旋管内注入有冷却液，所述冷却循环机构与所述螺旋管进出口连接。

5、优选地，所述冷却循环机构包括循环单元和冷却单元；所述循环单元包括固定连接在所述壳体内的驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转轴，所述转轴贯穿隔板，且自由端与所述壳体另一侧内壁转动连接，所述转轴的外圈设置有多个第二叶片，所述壳体的顶部固定套接有进液管，所述进液管的自由端与所述螺旋管出液口固定连接，所述壳体的底部固定套接有排液管，所述排液管的自由端与所述螺旋管进液口固定连接。

6、优选地，所述冷却单元包括设置所述隔板上的两个对称分布的半导体制冷片，其中所述半导体制冷片制冷面位于该腔室内，所述半导体制冷片散热面位于另一个腔室内。

7、优选地，所述冷却通风机构包括固定连接在所述转轴外圈的多个第一叶片，所述壳体的底部固定套接有多个呈l型的气管，通过所述气管将气流吹送到所述物镜镜头表面。

8、优选地，所述外护管上开设有若干个散热孔。

9、综上，本技术的技术效果和优点：

10、本技术能够对物镜镜头进行保护，配合冷却液的循环流动，对物镜镜头进行持续性冷却，降低了连续曝光后镜头升高的温度，同时可以对物镜镜头表面进行吹风，减少物镜镜头表面产生结晶物现象的几率。

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【技术保护点】

1.一种光刻机镜头保护装置，包括物镜镜头(1)和开设在所述物镜镜头(1)的侧壁上对称的一对销孔(101)，其特征在于：所述物镜镜头(1)外侧设置有保护罩，所述保护罩上设置有壳体(3)，所述壳体(3)内设置有隔板(10)，将所述壳体(3)分隔成两个腔室，其中一个腔室内设置有冷却循环机构，另一个腔室内设置有冷却通风机构；

2.根据权利要求1所述的光刻机镜头保护装置，其特征在于：所述冷却循环机构包括循环单元和冷却单元；所述循环单元包括固定连接在所述壳体(3)内的驱动电机(13)，所述驱动电机(13)的输出端固定连接有转轴(9)，所述转轴(9)贯穿隔板(10)，且自由端与所述壳体(3)另一侧内壁转动连接，所述转轴(9)的外圈设置有多个第二叶片(902)，所述壳体(3)的顶部固定套接有进液管(4)，所述进液管(4)的自由端与所述螺旋管(7)出液口固定连接，所述壳体(3)的底部固定套接有排液管(6)，所述排液管(6)的自由端与所述螺旋管(7)进液口固定连接。

3.根据权利要求1所述的光刻机镜头保护装置，其特征在于：所述冷却单元包括设置所述隔板(10)上的两个对称分布的半导体制冷片(8)，其中所述半导体制冷片(8)制冷面位于该腔室内，所述半导体制冷片(8)散热面位于另一个腔室内。

4.根据权利要求2所述的光刻机镜头保护装置，其特征在于：所述冷却通风机构包括固定连接在所述转轴(9)外圈的多个第一叶片(901)，所述壳体(3)的底部固定套接有多个呈L型的气管(5)，通过所述气管(5)将气流吹送到所述物镜镜头(1)表面。

5.根据权利要求1所述的光刻机镜头保护装置，其特征在于：所述外护管(2)上开设有若干个散热孔(201)。

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【技术特征摘要】

1.一种光刻机镜头保护装置，包括物镜镜头(1)和开设在所述物镜镜头(1)的侧壁上对称的一对销孔(101)，其特征在于：所述物镜镜头(1)外侧设置有保护罩，所述保护罩上设置有壳体(3)，所述壳体(3)内设置有隔板(10)，将所述壳体(3)分隔成两个腔室，其中一个腔室内设置有冷却循环机构，另一个腔室内设置有冷却通风机构；

2.根据权利要求1所述的光刻机镜头保护装置，其特征在于：所述冷却循环机构包括循环单元和冷却单元；所述循环单元包括固定连接在所述壳体(3)内的驱动电机(13)，所述驱动电机(13)的输出端固定连接有转轴(9)，所述转轴(9)贯穿隔板(10)，且自由端与所述壳体(3)另一侧内壁转动连接，所述转轴(9)的外圈设置有多个第二叶片(902)，所述壳体(3)的顶部固定套接有进液管(4)，所述进液管(4)的自由端与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文静，章广飞，王运钢，薛业保，
申请(专利权)人：安徽国芯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：