【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆载台配件领域，特别涉及一种光刻机晶圆放置板更换机构。
技术介绍
1、光刻是半导体制造过程中一道非常重要的工序，它是将一系列掩模板上的芯片图形通过曝光依次转移到硅片相应层上的工艺过程，被认为是大规模集成电路制造中的核心步骤。半导体制造中一系列复杂而耗时的光刻工艺主要由相应的光刻机来完成。
2、现有的光刻机通过在载台表面开设凹槽的方式用于容纳晶圆放置板，为了避免晶圆放置板在凹槽内部产生晃动，凹槽内壁与晶圆放置板的侧表面紧密贴合，晶圆用于放置在该晶圆放置板上进行加工。如若需要对晶圆放置板实施清洁、更换操作，晶圆在凹槽内部处于紧密连接状态，很难被取出，过程较为繁琐，耗费时间较长。
技术实现思路
1、针对上述问题，本申请提供了一种光刻机晶圆放置板更换机构。
2、为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种光刻机晶圆放置板更换机构，包括有呈空心结构的载台，所述载台的顶部开设有凹槽，凹槽内部搭接有可升降的放置板，所述放置板的底端向下延伸形成一对对位块，所述对位块的外侧均拆卸式连接有限位座，对称分布的一对所述限位座的底部连接有同一联动板。
3、所述联动板的中心处贯穿设置有可转动的导向轴，且联动板的底部固定连接有环绕于导向轴外侧的第一导向座，所述导向轴的外表面且靠下方固定连接有第二导向座，当所述放置板搭接于凹槽内部时，所述第一导向座、第二导向座的突起部分错开分布，所述导向轴的底部安装有与其相适配的伺服电机，当所述第一导向座、联动板同步上升后，所述限位
4、进一步的，所述导向轴的外表面且靠上方螺纹连接有限位环，所述限位环的底部固定连接有复位弹簧，所述复位弹簧的底部固定连接有压力座，所述压力座的边缘处向下延伸形成两个支脚，支脚抵接于联动板的表面，当所述第一导向座、联动板同步上升时，所述压力座同步上升，直至所述复位弹簧收缩。
5、进一步的，所述联动板的表面设置有多个呈环形结构排列的滚轮，所述滚轮与导向轴的表面相抵。
6、进一步的，所述对位块的内表面均延伸形成对接凸起，所述限位座的内侧固定连接有托板，所述托板的顶部设置有可转动的锁定销，当所述对位块与限位座相连接时，所述对接凸起插接于锁定销的外侧，且对接凸起抵接于托板的上表面。
7、进一步的，所述对接凸起的表面开设有贯穿其自身以及对位块的容置通道，所述锁定销的顶部呈l状结构，自然状态下，所述锁定销的顶端可位于容置通道内侧转动，直至进入所述对位块表面的槽体内侧，与所述容置通道的下端开口相偏移。
8、进一步的，所述限位座的表面开设有可控制锁定销的操作通道。
9、综上，本技术的技术效果和优点：
10、1、本技术可控制载台内部的伺服电机运转，驱动第二导向座的突起部分转动挤压第一导向座的突起部分，第一导向座、联动板同步上升，直至限位座、对位块向上露出载台。即可在限位座上实施对位块的拆卸操作，以达到拆卸、更换放置板的目的，能够及时、快速的对放置板实施更换操作，具有便携操作的优点。
11、2、本技术通过在第二导向座上组合设置有限位换、复位弹簧以及压力座，当放置板的更换操作完成后，复位弹簧的弹性势能可驱使压力座快速下降，进而可压力驱使联动板、限位座，更换后的对位块以及放置板快速复位，实施后续的晶圆加工操作。
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1.一种光刻机晶圆放置板更换机构，包括有呈空心结构的载台(1)，其特征在于：所述载台(1)的顶部开设有凹槽，凹槽内部搭接有可升降的放置板(2)，所述放置板(2)的底端向下延伸形成一对对位块(21)，所述对位块(21)的外侧均拆卸式连接有限位座(3)，对称分布的一对所述限位座(3)的底部连接有同一联动板(4)；
2.根据权利要求1所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于：所述导向轴(5)的外表面且靠上方螺纹连接有限位环(9)，所述限位环(9)的底部固定连接有复位弹簧(10)，所述复位弹簧(10)的底部固定连接有压力座(11)，所述压力座(11)的边缘处向下延伸形成两个支脚，支脚抵接于联动板(4)的表面，当所述第一导向座(6)、联动板(4)同步上升时，所述压力座(11)同步上升，直至所述复位弹簧(10)收缩。
3.根据权利要求1所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于：所述联动板(4)的表面设置有多个呈环形结构排列的滚轮(12)，所述滚轮(12)与导向轴(5)的表面相抵。
4.根据权利要求1所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于：所述对位块
5.根据权利要求4所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于：所述对接凸起(22)的表面开设有贯穿其自身以及对位块(21)的容置通道(23)，所述锁定销(32)的顶部呈L状结构，自然状态下，所述锁定销(32)的顶端可位于容置通道(23)内侧转动，直至进入所述对位块(21)表面的槽体内侧，与所述容置通道(23)的下端开口相偏移。
6.根据权利要求3所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于：所述限位座(3)的表面开设有可控制锁定销(32)的操作通道(33)。
...【技术特征摘要】
1.一种光刻机晶圆放置板更换机构，包括有呈空心结构的载台(1)，其特征在于：所述载台(1)的顶部开设有凹槽，凹槽内部搭接有可升降的放置板(2)，所述放置板(2)的底端向下延伸形成一对对位块(21)，所述对位块(21)的外侧均拆卸式连接有限位座(3)，对称分布的一对所述限位座(3)的底部连接有同一联动板(4)；
2.根据权利要求1所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于：所述导向轴(5)的外表面且靠上方螺纹连接有限位环(9)，所述限位环(9)的底部固定连接有复位弹簧(10)，所述复位弹簧(10)的底部固定连接有压力座(11)，所述压力座(11)的边缘处向下延伸形成两个支脚，支脚抵接于联动板(4)的表面，当所述第一导向座(6)、联动板(4)同步上升时，所述压力座(11)同步上升，直至所述复位弹簧(10)收缩。
3.根据权利要求1所述的光刻机晶圆放置板更换机构，其特征在于：所述联动板(4)的表面设置有多个呈环形结构排列的滚轮(12)，所述滚轮(12...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛业保，章广飞，王运钢，李文静，
申请(专利权)人：安徽国芯智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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