【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及纳米印压脱膜，尤其涉及一种气压式纳米压印机自动脱模机构。
技术介绍
1、纳米压印技术是一种用于在纳米尺度下制造微纳米结构的重要技术。通过将模版表面的纳米结构复制到材料表面，纳米压印技术可以实现高精度、高分辨率的纳米图案制造，具有成本低、制造周期短、适用于多种材料等优势，在纳米电子、纳米光学、纳米生物学等领域得到广泛应用。
2、然而在传统的气压式纳米压印机中，脱模过程仍需人工操作，存在着工作效率低、操作难度大等问题。为了解决这些问题，本专利技术提出了气压式纳米压印机自动脱模机构。通过控制气压，使脱模过程自动化，提高了纳米压印的效率和精度。但目前仍存在一些技术难点和瓶颈，需要进一步的研究和创新来解决。
3、首先，在气压式纳米压印机自动脱模机构中，控制气压的精度和稳定性仍是一个难点。过高或过低的气压都会影响脱模效果。气压的变化速度和变化规律也会影响脱模效果和样品质量。其次，气压式纳米压印机自动脱模机构的传动机构的稳定性和可靠性会直接影响脱模的效果和样品质量。此外，传统的气压脱模方式由于气压大小和不均匀等问题容易对脱模造成损伤。要解决上述存在的问题，需要探索新型的脱模方法。这些问题的解决将进一步提高气压式纳米压印机自动脱模机构的效率和质量，使其在纳米
更加得心应手。因此，希望设计出一种区别于已有气压脱模工艺方案的新方法，实现在气压腔室中进行线脱模的新工艺。
4、基于气压差和传动装置直接脱模的技术方案存在以下几个缺点：
5、一、脱模过程不均匀性：使用气压差或传动装置直接脱
6、二、脱模力较大：由于气压差和传动装置脱模都是在模版和基材所接触边缘同时脱模，所需要的脱模力较大。
7、三、脱模精度受限：基于气压差和传动装置直接脱模的技术方案在实际应用中可能受到脱模精度的限制。在气压差方案中，由于气压的控制难度以及气路结构的精度问题，可能难以实现高精度的脱模。在传动装置直接脱模方案中，传动装置的稳定性和精度，以及装置与模具之间的匹配度都会影响脱模的精度。
8、四、损伤风险增加：由于气压差和传动装置直接脱模的方式都是在模具和材料之间施加较大的压力，因此存在着对脱模材料造成损伤的风险。特别是在气压差方案中，一些材料可能无法承受较大压力而发生破裂或形变。
技术实现思路
1、本专利技术目的在于提供一种气压式纳米压印机自动脱模机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种气压式纳米压印机自动脱模机构，包括主体支架，所述主体支架顶部设有聚合物模板，所述聚合物模板通过固定组件密封固定于所述主体支架的内侧壁，所述聚合物模板顶部设有压印腔，所述压印腔侧壁设有进气孔和出气孔，所述聚合物模板底部设有安装座，所述安装座顶部设有压印组件，所述主体支架底部对称设有用于带动所述安装座升降的驱动组件，所述压印腔顶部设有固化组件。
3、作为优选，所述聚合物模板底部设有微结构层。
4、作为优选，所述固定组件包括所述聚合物模板两侧对称设有的柔性密封垫，一侧所述柔性密封垫设有金属垫片，所述主体支架一侧设有输出轴与金属垫片固定连接的电缸。
5、作为优选，所述进气孔和所述出气孔端部均设有阀门，所述进气孔一端连通有充气泵。
6、作为优选，所述压印组件包括所述安装座顶部吸附设有的衬底，所述衬底顶部设有压印胶材。
7、作为优选，所述安装座为真空吸盘。
8、作为优选，所述压印胶材通过旋涂、喷涂或刮涂的方法制备在所述衬底顶部。
9、作为优选，所述驱动组件包括所述安装座底部对称设有的球形铰链，所述主体支架底部对称设有用于带动同侧所述球形铰链升降的精密驱动电缸。
10、作为优选，所述固化组件包括所述主体支架顶部设有的透明玻璃，所述透明玻璃顶部设有紫光灯。
11、本专利技术的有益效果：
12、1、通过在压印完成后，一端的精密驱动电缸向下移动，使一侧的聚合物模板拉紧，当聚合物模板提供的拉力大于边缘接触位点脱模所需要的脱模力时，边缘接触位点处的聚合物模板与压印胶材开始分离，即点脱模开始，然后转变到线脱模，并从一端延伸到另一端，完成整个脱模过程，有效的解决了纳米压印脱模所需脱模力较大的难题，极大的延长了模板的使用寿命。
13、2、通过先在聚合物模板与压印胶材接触的边缘一点开始启动脱模，此时所需要的脱模力较小，对聚合物模板损伤较小，并且整个脱模过程比较均匀，同时避免了脱模过程不均匀性的问题。
14、3、本专利技术可以实现特定取向要求的脱模，例如光栅和斜齿光栅的压印脱模。
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1.一种气压式纳米压印机自动脱模机构，包括主体支架（1），其特征在于：所述主体支架（1）顶部设有聚合物模板（7），所述聚合物模板（7）通过固定组件（8）密封固定于所述主体支架（1）的内侧壁，所述聚合物模板（7）顶部设有压印腔（4），所述压印腔（4）侧壁设有进气孔（5）和出气孔（6），所述聚合物模板（7）底部设有安装座（11），所述安装座（11）顶部设有压印组件，所述主体支架（1）底部对称设有用于带动所述安装座（11）升降的驱动组件（13），所述压印腔（4）顶部设有固化组件。
2.根据权利要求1所述的一种气压式纳米压印机自动脱模机构，其特征在于：所述聚合物模板（7）底部设有微结构层。
3.根据权利要求1所述的一种气压式纳米压印机自动脱模机构，其特征在于：所述固定组件（8）包括所述聚合物模板（7）两侧对称设有的柔性密封垫（81），一侧所述柔性密封垫（81）设有金属垫片（82），所述主体支架（1）一侧设有输出轴与金属垫片（82）固定连接的电缸（83）。
4.根据权利要求1所述的一种气压式纳米压印机自动脱模机构，其特征在于：所述进气孔（5）和所述出气孔
5.根据权利要求1所述的一种气压式纳米压印机自动脱模机构，其特征在于：所述压印组件包括所述安装座（11）顶部吸附设有的衬底（10），所述衬底（10）顶部设有压印胶材（9）。
6.根据权利要求1所述的一种气压式纳米压印机自动脱模机构，其特征在于：所述安装座（11）为真空吸盘。
7.根据权利要求5所述的一种气压式纳米压印机自动脱模机构，其特征在于：所述压印胶材（9）通过旋涂、喷涂或刮涂的方法制备在所述衬底（10）顶部。
8.根据权利要求1所述的一种气压式纳米压印机自动脱模机构，其特征在于：所述驱动组件（13）包括所述安装座（11）底部对称设有的球形铰链（12），所述主体支架（1）底部对称设有用于带动所述球形铰链（12）升降的精密驱动电缸（131）。
9.根据权利要求1所述的一种气压式纳米压印机自动脱模机构，其特征在于：所述固化组件包括所述主体支架（1）顶部设有的透明玻璃（3），所述透明玻璃（3）顶部设有紫光灯（2）。
...【技术特征摘要】
1.一种气压式纳米压印机自动脱模机构，包括主体支架（1），其特征在于：所述主体支架（1）顶部设有聚合物模板（7），所述聚合物模板（7）通过固定组件（8）密封固定于所述主体支架（1）的内侧壁，所述聚合物模板（7）顶部设有压印腔（4），所述压印腔（4）侧壁设有进气孔（5）和出气孔（6），所述聚合物模板（7）底部设有安装座（11），所述安装座（11）顶部设有压印组件，所述主体支架（1）底部对称设有用于带动所述安装座（11）升降的驱动组件（13），所述压印腔（4）顶部设有固化组件。
2.根据权利要求1所述的一种气压式纳米压印机自动脱模机构，其特征在于：所述聚合物模板（7）底部设有微结构层。
3.根据权利要求1所述的一种气压式纳米压印机自动脱模机构，其特征在于：所述固定组件（8）包括所述聚合物模板（7）两侧对称设有的柔性密封垫（81），一侧所述柔性密封垫（81）设有金属垫片（82），所述主体支架（1）一侧设有输出轴与金属垫片（82）固定连接的电缸（83）。
4.根据权利要求1所述的一种气压式纳米压印机自动脱模机构，其特征在于：所...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓萌萌，
申请(专利权)人：璞璘科技杭州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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