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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本实施方式涉及半导体存储装置。
技术介绍
1、已知一种半导体存储装置,具备:基板、在与基板的表面交叉的第1方向上排列的多个导电层、在第1方向上延伸且与多个导电层对置的半导体层、以及设置于多个导电层与半导体层之间的电荷积蓄层。
2、现有技术文献:
3、专利文献:
4、专利文献1:日本特许第6581019号说明书
技术实现思路
1、专利技术所要解决的课题
2、提供高速动作的半导体存储装置。
3、用于解决课题的手段
4、一个实施方式所涉及的半导体存储装置具备:基板、包括第1导电层及第2导电层的第1布线层、设置于基板与第1布线层之间的第2布线层、以及设置于基板与第2布线层之间的存储器单元阵列层。存储器单元阵列层具备:多个第3导电层,在与基板的表面交叉的第1方向上排列;半导体层,在第1方向上延伸且与多个第3导电层对置;以及电荷积蓄层,设置于多个第3导电层与半导体层之间。第2布线层具备:第4导电层,与半导体层的第1方向上的一端部连接;以及第5导电层,与第1导电层对置且与第2导电层电连接。
【技术保护点】
1.一种半导体存储装置,其中,具备:
2.如权利要求1所述的半导体存储装置,其中,
3.如权利要求1或者2所述的半导体存储装置,其中,
4.一种半导体存储装置,其中,具备:
5.如权利要求1~4中任1项所述的半导体存储装置,其中,
6.如权利要求1~5中任1项所述的半导体存储装置,其中,
7.如权利要求1~6中任1项所述的半导体存储装置,其中,
8.如权利要求1~7中任1项所述的半导体存储装置,其中,
9.如权利要求1~8中任1项所述的半导体存储装置,其中,
10.如权利要求1~9中任1项所述的半导体存储装置,其中,
11.如权利要求1~10中任1项所述的半导体存储装置,其中,
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种半导体存储装置,其中,具备:
2.如权利要求1所述的半导体存储装置,其中,
3.如权利要求1或者2所述的半导体存储装置,其中,
4.一种半导体存储装置,其中,具备:
5.如权利要求1~4中任1项所述的半导体存储装置,其中,
6.如权利要求1~5中任1项所述的半导体存储装置,其中,
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