System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 半导体存储装置制造方法及图纸_技高网

半导体存储装置制造方法及图纸

技术编号:41226680 阅读:2 留言:0更新日期:2024-05-09 23:44
半导体存储装置具备基板、包括第1导电层及第2导电层的第1布线层、设置于基板与第1布线层之间的第2布线层、以及设置于基板与第2布线层之间的存储器单元阵列层。存储器单元阵列层具备:多个第3导电层,在与基板的表面交叉的第1方向上排列;半导体层,在第1方向上延伸且与多个第3导电层对置;以及电荷积蓄层,设置于多个第3导电层与半导体层之间。第2布线层具备:第4导电层,与半导体层的第1方向上的一端部连接;以及第5导电层,与第1导电层对置且与第2导电层电连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本实施方式涉及半导体存储装置


技术介绍

1、已知一种半导体存储装置,具备:基板、在与基板的表面交叉的第1方向上排列的多个导电层、在第1方向上延伸且与多个导电层对置的半导体层、以及设置于多个导电层与半导体层之间的电荷积蓄层。

2、现有技术文献:

3、专利文献:

4、专利文献1:日本特许第6581019号说明书


技术实现思路

1、专利技术所要解决的课题

2、提供高速动作的半导体存储装置。

3、用于解决课题的手段

4、一个实施方式所涉及的半导体存储装置具备:基板、包括第1导电层及第2导电层的第1布线层、设置于基板与第1布线层之间的第2布线层、以及设置于基板与第2布线层之间的存储器单元阵列层。存储器单元阵列层具备:多个第3导电层,在与基板的表面交叉的第1方向上排列;半导体层,在第1方向上延伸且与多个第3导电层对置;以及电荷积蓄层,设置于多个第3导电层与半导体层之间。第2布线层具备:第4导电层,与半导体层的第1方向上的一端部连接;以及第5导电层,与第1导电层对置且与第2导电层电连接。

【技术保护点】

1.一种半导体存储装置,其中,具备:

2.如权利要求1所述的半导体存储装置,其中,

3.如权利要求1或者2所述的半导体存储装置,其中,

4.一种半导体存储装置,其中,具备:

5.如权利要求1~4中任1项所述的半导体存储装置,其中,

6.如权利要求1~5中任1项所述的半导体存储装置,其中,

7.如权利要求1~6中任1项所述的半导体存储装置,其中,

8.如权利要求1~7中任1项所述的半导体存储装置,其中,

9.如权利要求1~8中任1项所述的半导体存储装置,其中,

10.如权利要求1~9中任1项所述的半导体存储装置,其中,

11.如权利要求1~10中任1项所述的半导体存储装置,其中,

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种半导体存储装置,其中,具备:

2.如权利要求1所述的半导体存储装置,其中,

3.如权利要求1或者2所述的半导体存储装置,其中,

4.一种半导体存储装置,其中,具备:

5.如权利要求1~4中任1项所述的半导体存储装置,其中,

6.如权利要求1~5中任1项所述的半导体存储装置,其中,

【专利技术属性】
技术研发人员:冈田信彬
申请(专利权)人:铠侠股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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