半导体存储装置制造方法及图纸

技术编号:41105843 阅读:21 留言:0更新日期:2024-04-25 14:00
本发明专利技术的实施方式提供一种坏块增加得到抑制的半导体存储装置。实施方式的半导体存储装置(1)包括第1导电体层(31)及多个第2导电体层(35),所述多个第2导电体层(35)位于所述第1导电体层的上方,且沿着第1方向积层。第1半导体层(372)沿着所述第1方向在所述多个第2导电体层内延伸,且与所述第1导电体层相接。电荷储存层(374)配置在所述第1半导体层与所述多个第2导电体层之间。金属层(381)在所述第1导电体层的上方,沿着所述第1方向及与所述第1方向交叉的第2方向延伸,且在与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向,将所述多个第2导电体层分离。第1绝缘体层(382)配置在所述金属层与所述第1导电体层之间、及所述金属层与所述多个第2导电体层之间。

【技术实现步骤摘要】

实施方式涉及一种半导体存储装置


技术介绍

1、已知有一种nand型闪速存储器,由存储单元呈三维状排列而成。


技术实现思路

1、实施方式提供一种坏块增加得到抑制的半导体存储装置。

2、实施方式的半导体存储装置包括第1导电体层及多个第2导电体层,所述多个第2导电体层位于所述第1导电体层的上方,且沿着第1方向积层。第1半导体层沿着所述第1方向在所述多个第2导电体层内延伸,且与所述第1导电体层相接。电荷储存层配置在所述第1半导体层与所述多个第2导电体层之间。金属层在所述第1导电体层的上方,沿着所述第1方向及与所述第1方向交叉的第2方向延伸,且在与所述第1方向及所述第2方向交叉的第3方向,将所述多个第2导电体层分离。第1绝缘体层配置在所述金属层与所述第1导电体层之间、及所述金属层与所述多个第2导电体层之间。

【技术保护点】

1.一种半导体存储装置,具备:

2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,还具有:

3.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中所述分断构造的下端部的所述第3方向的宽度是:小于所述分断构造中与所述多个第2导电体层中的最下层相对向部分的所述第3方向的宽度。

4.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中所述金属层包含钨。

5.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中所述金属层包含氮化钛。

6.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中所述金属层包含钛及氮化钛。

7.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述第1绝缘体层的下...

【技术特征摘要】

1.一种半导体存储装置,具备:

2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,还具有:

3.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中所述分断构造的下端部的所述第3方向的宽度是:小于所述分断构造中与所述多个第2导电体层中的最下层相对向部分的所述第3方向的宽度。

4.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中所述金属层包含钨。

5.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中所述金属层包含氮化钛。

6.根据权利要求2所述的半导体存储装置,其中所述金属层包含钛及氮化钛。

7.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其中所述第1绝缘体层的下端位于较所述第1导电体层的上表面更下方。

8.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:伊藤孝政
申请(专利权)人:铠侠股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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