【技术实现步骤摘要】
【】本专利技术涉及光刻，特别涉及一种掩模误差面积计算方法、系统及存储介质。
技术介绍
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技术介绍
1、随着技术的迭代，晶圆上的关键尺寸(c d)快速缩小，在以前可以忽略的物理效应，在更先进的节点上不能忽略，其中就包含了光学临近效应(op e)。光学临近效应将导致原始版图(l ayo ut)在晶圆上曝光出来的轮廓有一定的误差，当c d越小时，这种误差将越大，直接曝光出来的轮廓将不可接受。分辨率增强技术(ret)能减少这种误差的技术，其中，光学临近效应修正(o p c)是ret中一种极其有效的技术，通过修正原始版图，从而弥补曝光时由于op e导致的误差。
2、随着cd的不断减少，版图的制造规则也越加复杂，比如某些层需要考虑多边形(polyg on)的最小面积(min are a)规则。由于多边形可以同时动多条边，同时多边形内部可能还有孔，因此，实际中p o lyg o n的面积与最小面积总有许多误差，这些误差在生产制造时是难以接受的。
技术实现思路
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技术实现思路
1、为减少最小面积误差，本专利技术提供了一种掩模误差面积计算方法、系统及存储介质。
2、本专利技术解决技术问题的方案是提供一种掩模误差面积计算方法，包括以下步骤：输入掩模版图，获取该掩模版图中的所有图形及所述图形的初始面积；移动所述图形的各条边并依次连接得到移动后的图形，获取各图形的移动后面积；以图形的初始面积、各条边的移动距离构建用于表达移动后面积的函数关系式；基
3、优选地，移动所述图形的各条边并依次连接得到移动后的图形，获取各图形的移动后面积包括：扩张所述图形的各条边并依次连接得到扩张后的图形，获取各图形的扩张后最优面积；基于扩张后所述图形的最优面积回退该图形的各条边并依次连接得到回退后的图形，获取各图形的回退后面积。
4、优选地，以所述图形的初始面积、各条边的移动距离及移动后面积构建函数关系式包括：以图形的初始面积、各条边扩张距离构建表达扩张后最优面积的第一函数关系式；以图形的扩张后最优面积、各条边的回退值构建表达回退后面积的第二函数关系式。
5、优选地，各条边的扩张距离和回退值分别与该条边的长度成函数关系，同一图形中各条边扩张距离相同，各条边的回退值相同。
6、优选地，所述图形为矩形或夹角成45°的多边形。
7、优选地，当图形为正方形时，所述第一函数关系式为：(a-2x)2＝spec，其中，a为扩张后图形的边长，x为各条边扩张距离，spec为初始面积；所述第二函数关系式为：(b+2y)2＝spec，其中，b为回退后图形的边长，y为各条边回退值，spec为扩张后最优面积。
8、优选地，各条边的扩张方向与该条边垂直且向图形外移动，各条边的回退方向与移动方向相反。
9、优选地，移动所述图形的各条边并依次连接得到移动后的图形之前包括：检测判断所述图形各条边移动后是否出现重叠角区域；对移动后会出现重叠角区域的图形的各条边，在预设第一范围内向图形外进行移动并增长，或在预设第二范围内向图形内进行回退并缩短。
10、本专利技术为解决上述技术问题还提供一种掩模误差面积减少系统，包括：版图信息获取模块：用于获取输入的掩模版图中所有图形及所述图形的初始面积；图形移动模块：用于移动所述图形的各条边并依次连接得到移动后的图形，获取各图形的移动后面积；函数构建模块：用于以所述图形的初始面积、各条边的移动距离及移动后面积构建函数关系式；数据处理模块：用于基于函数关系式计算所述图形的初始面积到移动后面积中该图形各条边的移动距离。
11、本专利技术为解决上述技术问题还提供一种存储介质，所述存储介质存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如上所述的掩模误差面积计算方法。
12、与现有技术相比，本专利技术的一种掩模误差面积计算方法、系统及存储介质具有以下优点：
13、1、本专利技术的掩模误差面积计算方法，包括以下步骤：输入掩模版图，获取该掩模版图中的所有图形及所述图形的初始面积；移动图形的各条边并依次连接得到移动后的图形，获取各图形的移动后面积；以图形的初始面积、各条边的移动距离构建用于表达移动后面积的函数关系式；基于函数关系式计算图形的初始面积到移动后面积中该图形各条边的最优移动距离。通过该方法，直接构建各条边移动距离与移动后面积变化的函数式，使得面积的获取直接从图形各条边的变化量上计算得出，避免了常规方法的多次计算误差，从而使得面积变化的获取更直观，计算更准确，进而通过面积变化获取图形各条边的变化量。
14、2、本专利技术的掩模误差面积计算方法，移动图形的各条边并依次连接得到移动后的图形，获取各图形的移动后面积包括：扩张图形的各条边并依次连接得到扩张后的图形，获取各图形的扩张后最优面积；基于扩张后图形的最优面积回退该图形的各条边并依次连接得到回退后的图形，获取各图形的回退后面积。扩张用于等比扩大图形，回退用于等比缩小图形，通过扩张及缩小从而找到满足掩模制造规则与预设面积的最优面积。
15、3、本专利技术的掩模误差面积计算方法，以图形的初始面积、各条边的移动距离及移动后面积构建函数关系式包括：以图形的初始面积、各条边扩张距离构建表达扩张后最优面积的第一函数关系式；以图形的扩张后最优面积、各条边的回退值构建表达回退后面积的第二函数关系式。图形的扩张与缩小分别对应两种移动状态，均为找到满足需求的最优面积，因此分别对应两种移动状态建立函数关系式，从而能在不同移动状态中共同确定最优面积，并依靠函数关系式对应获取该种状态下图形各条边的移动距离，获取结果更精准，获取方式更简单。
16、4、本专利技术的掩模误差面积计算方法，图形为夹角成45°和/或90°的多边形。图形的形状影响该图形的面积计算速度，在图形的各条边细微移动中，更能体现面积变化的精确性，进而对图形形状的限定能进一步提升面积计算效率及面积计算精度。
17、5、本专利技术的掩模误差面积计算方法，各条边的扩张方向与该条边垂直且向图形外移动，各条边的回退方向与移动方向相反。图形在扩张或回退缩小的移动过程中，图形始终保持形状不变，也不会发生旋转，各条边的移动距离也始终与图形面积保持固定函数关系，进而使得图形面积的计算更简单。
18、6、本专利技术的掩模误差面积计算方法，移动图形的各条边并依次连接得到移动后的图形之前包括：检测判断图形各条边移动后是否出现重叠角区域；对移动后会出现重叠角区域的图形的各条边，在预设第一范围内向图形外进行移动并增长，或在预设第二范围内向图形内进行回退并缩短。
19、7、本专利技术还提供一种掩模误差面积减少系统，包括版图信息获取模块、图形移动模块、函数构建模块与数据处理模块，其中，版图信息获取模块用于获取输入的掩模版图中所有图形及所述图形的初始面积；图形移动模块用于移动所述图形的各条边并依次连接得到移动后的图本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种掩模误差面积计算方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的掩模误差面积计算方法，其特征在于：移动所述图形的各条边并依次连接得到移动后的图形，获取各图形的移动后面积包括：
3.如权利要求2所述的掩模误差面积计算方法，其特征在于，以所述图形的初始面积、各条边的移动距离及移动后面积构建函数关系式包括：
4.如权利要求3所述的掩模误差面积计算方法，其特征在于：各条边的扩张距离和回退值分别与该条边的长度成函数关系，同一图形中各条边扩张距离相同，各条边的回退值相同。
5.如权利要求3所述的掩模误差面积计算方法，其特征在于：所述图形为夹角成45°和/或90°的多边形。
6.如权利要求5所述的掩模误差面积计算方法，其特征在于，当图形为正方形时，所述第一函数关系式为：
7.如权利要求2所述的掩模误差面积计算方法，其特征在于：各条边的扩张方向与该条边垂直且向图形外移动，各条边的回退方向与移动方向相反。
8.如权利要求2所述的掩模误差面积计算方法，其特征在于，移动所述图形的各条边并依次连接得到移动
9.一种掩模误差面积减少系统，其特征在于包括：版图信息获取模块：用于获取输入的掩模版图中所有图形及所述图形的初始面积；
10.一种存储介质，其特征在于：所述存储介质存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如权利要求1-8中任一项所述的掩模误差面积计算方法。
...【技术特征摘要】
1.一种掩模误差面积计算方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的掩模误差面积计算方法，其特征在于：移动所述图形的各条边并依次连接得到移动后的图形，获取各图形的移动后面积包括：
3.如权利要求2所述的掩模误差面积计算方法，其特征在于，以所述图形的初始面积、各条边的移动距离及移动后面积构建函数关系式包括：
4.如权利要求3所述的掩模误差面积计算方法，其特征在于：各条边的扩张距离和回退值分别与该条边的长度成函数关系，同一图形中各条边扩张距离相同，各条边的回退值相同。
5.如权利要求3所述的掩模误差面积计算方法，其特征在于：所述图形为夹角成45°和/或90°的多边形。
6.如权利要求5所...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪琪皓，陈板桥，
申请(专利权)人：深圳晶源信息技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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