一种SEM图像轮廓提取方法、装置、设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术涉及图像处理技术领域，特别涉及一种SEM图像轮廓提取方法、装置、设备及存储介质。所述SEM图像轮廓提取方法，用于提取掩模图形，包括：基于待测掩模获取原始SEM图像，对所述原始SEM图像进行像素处理，得到像素点，基于像素点获取与之对应的预设范围区域；计算像素点与所述预设范围区域的相关性，得到相关图像；基于相关图像生成二值化图像并提取搜索种子，搜索种子为二值化图像中的亮点；基于搜索种子提取轮廓线。通过计算梯度向量区域相关性的方法有效地过滤了散落的噪声点以准确提取图形轮廓。

【技术实现步骤摘要】

【】本专利技术涉及图像处理，特别涉及一种sem图像轮廓提取方法、装置、设备及存储介质。

技术介绍

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技术介绍

1、扫描电子显微镜(scanning electron microscope,sem)图像的轮廓线提取在计算光刻建模与后续计算中有多种应用。在半导体大规模集成电路制造领域里，版图文件(gds)中设计好的目标图形会通过光刻工艺转移到晶圆上，对曝光后的晶圆上的图形进行sem图像轮廓提取可以得到关键尺寸、侧壁角度等用以衡量共计质量的重要几何参数。为了获取目标图形的边缘信息，我们需要准确地提取图形轮廓。

2、然而sem图像中总是含有大量的噪点，对机器而言，大量的噪点严重影响了轮廓的提取。传统的基于梯度提取轮廓的方法难以避免噪声的干扰，即使通过高斯模糊对图像进行处理，消除了部分噪点，使得图像更加平滑，仍然无法达到满意效果。

3、因此，亟需一种可以避免噪声的干扰，准确提取图形轮廓的技术。

技术实现思路

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技术实现思路

1、为了解决现有sem图像提取图形轮本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种S E M图像轮廓提取方法，用于提取掩模图形，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的S EM图像轮廓提取方法，其特征在于：对所述原始S EM图像进行像素化处理后包括：

3.如权利要求1所述的S EM图像轮廓提取方法，其特征在于，计算每个所述像素点与所述预设范围区域的相关性，得到相关图像，包括：

4.如权利要求1所述的S E M图像轮廓提取方法，其特征在于：所述预设范围区域为以对应像素点为中心的正方形区域。

5.如权利要求1所述的S EM图像轮廓提取方法，其特征在于，得到相关图像之后对所述相关图像进行归一化处理。

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【技术特征摘要】

1.一种s e m图像轮廓提取方法，用于提取掩模图形，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的s em图像轮廓提取方法，其特征在于：对所述原始s em图像进行像素化处理后包括：

3.如权利要求1所述的s em图像轮廓提取方法，其特征在于，计算每个所述像素点与所述预设范围区域的相关性，得到相关图像，包括：

4.如权利要求1所述的s e m图像轮廓提取方法，其特征在于：所述预设范围区域为以对应像素点为中心的正方形区域。

5.如权利要求1所述的s em图像轮廓提取方法，其特征在于，得到相关图像之后对所述相关图像进行归一化处理。

6.如权利要求1所述的s em图像轮...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵宇航，高世嘉，
申请(专利权)人：深圳晶源信息技术有限公司，
类型：发明
国别省市：