【技术实现步骤摘要】
【】本专利技术涉及图像处理，特别涉及一种坏点图形编码方法、设备及存储介质。
技术介绍
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技术介绍
1、在光刻工艺的缺陷检测流程中，为了对坏点图形实现高效率的检测。对坏点图形使用准确的图形编码算法，保留图形的完整特征，将相同的编码结果分为一类坏点。
2、常见的图形编码算法有哈夫曼编码、位平面编码、sdf等。sdf矩阵可以精准表示一个图形，但同一个图形旋转后，得到的sd f矩阵不一致，而在图形分类中，经过旋转后重合的图形应该分为一个图形，现有的这种分类是不合理是，使用该种的分类方法，随着图形数量增加，需要的计算时间也急剧增加，从而使得坏点检测效率低下。
技术实现思路
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技术实现思路
1、为了解决现有坏点图形分类不合理、坏点检测效率低的问题，本专利技术提供一种坏点图形编码方法、设备及存储介质。
2、本专利技术为解决上述技术问题，提供如下的技术方案：一种坏点图形编码方法，用于对版图上的坏点图形进行编码，所述坏点图形编码方法包括：获取坏点图...
【技术保护点】
1.一种坏点图形编码方法，用于对版图上的坏点图形进行编码，其特征在于，所述坏点图形编码方法包括：
2.如权利要求1所述的坏点图形编码方法，其特征在于，获取坏点图形，包括：
3.如权利要求2所述的坏点图形编码方法，其特征在于：所述坏点图形的外边框为正方形。
4.如权利要求1所述的坏点图形编码方法，其特征在于，对所述坏点图形进行转化处理得到原始矩阵，包括：
5.如权利要求4所述的坏点图形编码方法，其特征在于：所述垂直距离为所述网格到所述坏点图形最近边界之间的网格数量或实际距离。
6.如权利要求1所述的坏点图形编码...
【技术特征摘要】
1.一种坏点图形编码方法，用于对版图上的坏点图形进行编码，其特征在于，所述坏点图形编码方法包括：
2.如权利要求1所述的坏点图形编码方法，其特征在于，获取坏点图形，包括：
3.如权利要求2所述的坏点图形编码方法，其特征在于：所述坏点图形的外边框为正方形。
4.如权利要求1所述的坏点图形编码方法，其特征在于，对所述坏点图形进行转化处理得到原始矩阵，包括：
5.如权利要求4所述的坏点图形编码方法，其特征在于：所述垂直距离为所述网格到所述坏点图形最近边界之间的网格数量或实际距离。
6.如权利要求1所述的坏点图形编码方法，其特征在于，对所述原始矩阵进行转动处理，包括：
...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈珈宇，姜强，
申请(专利权)人：深圳晶源信息技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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