【技术实现步骤摘要】
【】本专利技术涉及电子设计自动化，特别涉及一种显影轮廓提取准确性的验证方法、装置及计算机设备。
技术介绍
0、
技术介绍
1、随着规模集成电路制造中设计版图的特征尺寸不断缩小，工艺设备在越来越极限的工艺尺寸下只能在一定的图形条件下才能完成制造，然而芯片制造曝光费用昂贵，制造周期较长，为了更高效率和高质量的检测出设计版图的可制造性，通过使用光学仿真，将掩模转换成显影轮廓，更高效率的提升了生产的准确度。
2、而将掩模转换成显影轮廓，需要对显影轮廓的功能进行验证。现有技术中，通常采用肉眼将显影轮廓与基准轮廓进行对比来进行验证。或者，在显影轮廓的长度方向或宽度方向上选取两个点以连接成目标线段，再通过目标线段与基准轮廓中所对应的线段进行对比来进行验证。然而现有技术的验证方法不仅需要耗费大量的人力资源，且测试数据不够充分，无法保证验证的准确性，不利于日后的测试维护。
3、因此，尝试采用直接提取显影轮廓的完整轮廓去对其功能进行验证，具有测试数据充分，准确性高的优点，然而需要寻求一种验证方法，去验证对显影轮廓提取的准确性进行验证。
技术实现思路
0、
技术实现思路
1、为了寻求一种对显影轮廓提取的准确性进行验证的方法。本专利技术提供一种显影轮廓提取准确性的验证方法、装置及计算机设备。
2、本专利技术为解决上述技术问题，提供如下的技术方案：一种显影轮廓提取准确性的验证方法，包括以下步骤：
3、提供掩模版图和表面蚀刻有显影轮廓
4、拍摄分块上的显影轮廓以获得若干扫描图像；
5、将若干扫描图像进行合并以获得合并图像；
6、获取合并图像内显影轮廓上所有点的初始坐标；
7、获取合并图像与掩模版图的对应关系，基于对应关系将初始坐标转换为目标坐标；
8、提供仿真模型，目标坐标通过仿真模型获得仿真轮廓；
9、将显影轮廓和仿真轮廓进行比对，以对显影轮廓提取准确性进行验证。
10、优选地，拍摄分块上的显影轮廓以获得若干扫描图像包括：
11、选取晶圆片上的部分分块，并于所选取的分块的预设位置上拍摄以获得若干扫描图像；
12、或，选取晶圆片上的全部分块，并于所选取的分块的预设位置上拍摄以获得若干扫描图像。
13、优选地，获得若干扫描图像后还包括：
14、获取显影轮廓于其对应的扫描图像上的位置，判断该位置与预设位置之间的距离是否符合误差范围；
15、若符合，则保留该扫描图像；
16、若不符合，则筛除该扫描图像。
17、优选地，将若干扫描图像进行合并以获得合并图像包括：
18、提供若干扫描图像内的显影轮廓；
19、提供图像处理算法，将不同扫描图像上的显影轮廓进行合并，以获得一张合并图像，对合并图像进行优化处理以提高合并图像的分辨率。
20、优选地，获取合并图像内显影轮廓上所有点的初始坐标包括：
21、于合并图像上设定初始原点，并基于初始原点建立初始坐标系；
22、获取合并图像内显影轮廓上所有点于初始坐标系内的坐标以获取初始坐标。
23、优选地，获取合并图像与掩模版图的对应关系包括：
24、于掩模版图上设定目标原点，并基于目标原点建立目标坐标系；
25、获取初始原点和目标原点的位置；
26、基于初始原点和目标原点的位置获取合并图像与掩模版图的对应关系。
27、优选地，对显影轮廓提取准确性进行验证包括：
28、对显影轮廓和仿真轮廓进行比对，以获得误差值；
29、判断误差值是否处于预设范围；
30、若是，则表示显影轮廓提取的准确性高；
31、若否，则表示显影轮廓提取的准确性差。
32、本专利技术为解决上述技术问题，提供又一技术方案如下：一种装置，应用于上述的显影轮廓提取准确性的验证方法，所述装置包括：
33、分割模块：用于将掩模版图将晶圆片划分为若干个分块；
34、拍摄模块：用于对分块进行拍摄以获得若干扫描图像；
35、处理模块：用于将若干扫描图像进行合并以获得合并图像；
36、识别模块：用于获取合并图像内显影轮廓上所有点的初始坐标；
37、转换模块：用于将初始坐标转换为目标坐标；
38、仿真模型：用于将目标坐标仿真为仿真轮廓；
39、验证模块：用以对显影轮廓提取准确性进行验证。
40、优选地，所述装置还包括：
41、测试模块：用于提供测试图像，并将测试图像和其它扫描图像进行合并，以获得报错图像；
42、报错图像依次经过所述识别模块、转换模块、仿真模型和验证模块处理后，以判断基于报错图像上的显影轮廓与其相对应的仿真轮廓所获得的误差值是否准确。
43、本专利技术为解决上述技术问题，提供又一技术方案如下：一种计算机设备，应用于上述显影轮廓提取准确性的验证方法，包括存储器、处理器及存储在存储器上的计算机程序，所述处理器执行上述计算机程序以实现所述显影轮廓提取准确性的验证方法。
44、与现有技术相比，本专利技术所提供的一种显影轮廓提取准确性的验证方法、装置及计算机设备，具有如下的有益效果：
45、1.本专利技术实施例提供的一种显影轮廓提取准确性的验证方法，包括以下步骤：
46、提供掩模版图和表面蚀刻有显影轮廓的晶圆片，基于掩模版图将晶圆片划分为若干个分块；
47、拍摄分块上的显影轮廓以获得若干扫描图像；
48、将若干扫描图像进行合并以获得合并图像；
49、获取合并图像内显影轮廓上所有点的初始坐标；
50、获取合并图像与掩模版图的对应关系，基于对应关系将初始坐标转换为目标坐标；
51、提供仿真模型，目标坐标通过仿真模型获得仿真轮廓；
52、将显影轮廓和仿真轮廓进行比对，以对显影轮廓提取准确性进行验证，基于上述方法即可对显影轮廓提取的准确性进行验证，简单便捷，且无需耗费大量计算资源。
53、2.如权利要求1所述的显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：拍摄分块上的显影轮廓以获得若干扫描图像包括：
54、选取晶圆片上的部分分块，并于所选取的分块的预设位置上拍摄以获得若干扫描图像，随机选取可以在保证测试数据的充分性的情况下，尽可能减少所拍摄的扫描图像的数量，以节省拍摄过程中所耗费的时间，或减少计算资源的耗费。
55、或，选取晶圆片上的全部分块，并于所选取的分块的预设位置上拍摄以获得若干扫描图像。对晶圆片上的全部分块进行拍摄需要耗费大量的计算资源，但其测试数据的充分性得到提高。
56、3.本专利技术实施例获得若干扫描图像后还包括：
57、获取显影轮廓于本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：拍摄分块上的显影轮廓以获得若干扫描图像包括：
3.如权利要求1所述的显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：获得若干扫描图像后还包括：
4.如权利要求1所述的显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：将若干扫描图像进行合并以获得合并图像包括：
5.如权利要求1所述的显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：获取合并图像内显影轮廓上所有点的初始坐标包括：
6.如权利要求5所述的显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：获取合并图像与掩模版图的对应关系包括：
7.如权利要求1所述的显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：对显影轮廓提取准确性进行验证包括：
8.一种装置，应用于如权利要求1-7中任意一项所述的显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：所述装置包括：
9.如权利要求8所述的装置，其特征在于：所述装置还包括：
10.一种计算机设备，应用
...【技术特征摘要】
1.一种显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：拍摄分块上的显影轮廓以获得若干扫描图像包括：
3.如权利要求1所述的显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：获得若干扫描图像后还包括：
4.如权利要求1所述的显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：将若干扫描图像进行合并以获得合并图像包括：
5.如权利要求1所述的显影轮廓提取准确性的验证方法，其特征在于：获取合并图像内显影轮廓上所有点的初始坐标包括：
6.如权利要求5所述的显影轮廓提取准确性的验...
【专利技术属性】
技术研发人员：王成瑾，
申请(专利权)人：深圳晶源信息技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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