【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及断裂装置和断裂方法。
技术介绍
1、将玻璃、蓝宝石、sic等工件沿着设定的分割预定线分割，形成多个芯片。在对工件进行分割的情况下，例如在沿着分割预定线照射激光束而在工件内部形成了改质层之后，以往利用各种断裂装置进行分割(例如，参照专利文献1)。
2、专利文献1：日本特开2019-71390号公报
3、专利文献1中示出的断裂装置中，利用推压部件对内部沿着分割预定线而形成有分割起点的工件进行推压从而进行分割。但是，有时在工件内形成未分割的区域。以往，在利用推压部件对全部的分割预定线进行了推压之后，由操作者对是否沿着工件的全部分割预定线进行了分割进行确认，花费工时因而迫切希望改善。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供断裂装置以及断裂方法，能够抑制与确认工件是否被分割相关的工时。
2、为了解决上述的课题并实现目的，本专利技术的断裂装置具有：框架固定单元，其将由设定有多条分割预定线并且沿着各该分割预定线形成有分割起点的工件、粘贴有该工件的片以及粘贴有该片的外周的框架构成的工件单元的该框架固定；检测单元，其对被该框架固定单元固定了该框架的工件单元的分割预定线进行检测；夹持单元，其将与应分割的分割预定线相邻的区域的工件从该工件单元的上下夹持；以及推压部件，其隔着该应分割的分割预定线在该夹持单元的相反侧推压与该应分割的分割预定线相邻的区域的工件，沿着该应分割的分割预定线将工件断裂，其特征在于，该断裂装置具有：载荷计，其测量该推压部件推压工件
3、在上述断裂装置中，也可以是，该控制器根据载荷值上升之后转为下降之后规定时间内的载荷值的降低的状态来判定该分割结果。
4、在上述断裂装置中，该控制器也可以根据该载荷计所测量的载荷值而将对工件的全部的分割预定线未分割、已分割、存在一部分未分割的可能性中的任意一种判定为分割结果并进行存储。
5、在上述断裂装置中，可以具有显示单元，该显示单元显示包含各该分割预定线的晶片整体图，并且显示针对各该分割预定线的分割结果。
6、在所述断裂装置中，该检测单元可以包含拍摄相机，在被该框架固定单元固定了该框架的工件单元的晶片整体图显示于该显示单元的状态下，将该拍摄相机定位于与在该显示单元所显示的该晶片整体图上指定的分割预定线对应的该工件单元的该分割预定线而对该分割预定线进行拍摄。
7、本专利技术的断裂方法的特征在于，该断裂方法具有如下的步骤：工件单元形成步骤，形成由沿着分割预定线形成有分割起点的工件、粘贴有该工件的片以及粘贴有该片的外周的框架构成的工件单元；框架固定步骤，利用框架固定单元对该工件单元的该框架进行固定；检测步骤，从被该框架固定单元固定了该框架的该工件单元检测应分割的分割预定线；夹持步骤，在实施了该检测步骤之后，利用夹持单元从该工件单元的上下夹持与该应分割的分割预定线相邻的区域的工件；分割步骤，在实施了该夹持步骤之后，隔着该应分割的分割预定线在该夹持单元的相反侧利用推压部件推压与该应分割的分割预定线相邻的区域的工件，沿着该应分割的分割预定线将工件断裂；载荷检测步骤，在该分割步骤的实施中检测该推压部件推压工件的载荷值；以及判定步骤，根据通过该载荷检测步骤而检测的载荷值，对工件是否沿着该应分割的分割预定线被分割的分割结果进行判定。
8、本专利技术起到能够抑制与确认工件是否被分割相关的工时的效果。
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1.一种断裂装置，其具有：
2.根据权利要求1所述的断裂装置，其中，
3.根据权利要求1所述的断裂装置，其中，
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的断裂装置，其中，
5.根据权利要求4所述的断裂装置，其中，
6.一种断裂方法，其中，
【技术特征摘要】
1.一种断裂装置，其具有：
2.根据权利要求1所述的断裂装置，其中，
3.根据权利要求1所述的断裂装置，其中，
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