【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于橡胶材料领域，尤其涉及一种抗静电橡胶及其制备方法。
技术介绍
1、面板制造工艺中的阵列基板制成大体分为成膜、光刻、刻蚀三大工艺。刻蚀工艺包括湿法刻蚀和干法刻蚀，湿法刻蚀是通过对对象材料(一般为金属导电膜)与药液之间的化学反应，对对象材料进行刻蚀；干法刻蚀主要是指利用低压放电产生的等离子体中的离子或游离基与材料发生化学反应或通过轰击等物理作用进行刻蚀。
2、经过刻蚀工艺，光刻工程显影后没有被光阻覆盖的膜层部分去除，形成最终需要的线路图形。在刻蚀过程中，使用橡胶材料运送玻璃基板，橡胶材料本身具有良好的绝缘性能，在运动、应力及摩擦作用下，容易产生电荷积累而带上静电。橡胶表面带上静电后，会影响使用性能，加速橡胶制品表面的老化，甚至还可能会出现火花放电。
3、所以迫切需要设计一款抗静电的橡胶材料，同时，刻蚀过程中药液或等离子体形成的恶劣环境也对橡胶材料的耐受性有更高的要求。目前在此应用中使用的橡胶材料大多为氟橡胶添加导电炭黑，但氟橡胶的在湿刻药液或等离子体的环境中耐受性较差，导致产品寿命较短，同时导电炭黑对湿度和温度的变化比较敏感，使其不能在所处环境中提供足够的导电性能。
技术实现思路
1、基于上述技术问题，本专利技术提供了一种抗静电橡胶，以表面羟基化导电炭黑、羟基化碳纳米管为导电填料对端羧基氟橡胶进行改性，改性后的氟橡胶具有优异的抗静电性以及抗静电稳定性，可作为在蚀刻恶劣环境中运送基板的橡胶材料。
2、本专利技术具体方案如下：
4、本专利技术以表面羟基化导电炭黑和羟基化碳纳米管为导电填料对端羧基氟橡胶进行改性，所述表面羟基化导电炭黑和羟基化碳纳米管表面的羟基能够与端羧基氟橡胶的羧基反应，有效改善导电炭黑与碳纳米管在橡胶材料中的分散均匀性以及导电性均匀性；同时，端羧基氟橡胶分子链能够将表面羟基化导电炭黑和羟基化碳纳米管连在一起，进而改善导电炭黑对温湿度的稳定性，由此得到的橡胶材料可在蚀刻过程中使用。
5、优选地，端羧基氟橡胶为含端羧基的偏氟乙烯、四氟乙烯、六氟丙烯的共聚物。
6、优选地，表面羟基化导电炭黑与羟基化碳纳米管的质量比为1-5:1。
7、优选地，吸酸剂选自氢氧化钙、氧化镁中一种或两种的组合。
8、优选地，硫化促进剂为苄基三苯基氯化磷。
9、优选地，脱模剂选自石蜡、棕榈蜡、酯蜡中一种或多种的组合。
10、本专利技术目的之二在于，提供了所述的抗静电橡胶的制备方法，包括如下步骤：s1、按照重量份将端羧基氟橡胶进行塑练，然后加入表面羟基化导电炭黑、羟基化碳纳米管、吸酸剂、双酚af交联剂、硫化促进剂、脱模剂混炼得到混炼胶；s2、将混炼胶置于模具中在120～200℃保持15-60min进行模压交联，然后在120-250℃保持12-48h加热交联，即得。
11、优选地，s1中，在开炼机中进行混练，混炼时间为15-30min，开炼机辊筒温度为50-60℃。
12、本专利技术有益效果为：
13、本专利技术以两种填料协同对端羧基氟橡胶进行改性，既改善了氟橡胶的抗静电性，同时改善了其抗静电稳定性，由此得到的橡胶材料可在蚀刻过程中使用，延长了使用寿命。
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1.一种抗静电橡胶，其特征在于，其原料按重量份包括：端羧基氟橡胶50-80份、表面羟基化导电炭黑5-20份、羟基化碳纳米管1-5份、吸酸剂5-10份、双酚AF交联剂1-8份、硫化促进剂0.5-2份、脱模剂0.1-0.5份。
2.根据权利要求1所述的抗静电橡胶，其特征在于，端羧基氟橡胶为含端羧基的偏氟乙烯、四氟乙烯、六氟丙烯的共聚物。
3.根据权利要求1或2所述的抗静电橡胶，其特征在于，表面羟基化导电炭黑与羟基化碳纳米管的质量比为1-5:1。
4.根据权利要求1-3任一项所述的抗静电橡胶，其特征在于，吸酸剂选自氢氧化钙、氧化镁中一种或两种的组合。
5.根据权利要求1-4任一项所述的抗静电橡胶，其特征在于，硫化促进剂为苄基三苯基氯化磷。
6.根据权利要求1-5任一项所述的抗静电橡胶，其特征在于，脱模剂选自石蜡、棕榈蜡、酯蜡中一种或多种的组合。
7.权利要求1-6任一项所述的抗静电橡胶的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、按照重量份将端羧基氟橡胶进行塑练，然后加入表面羟基化导电炭黑、羟基化碳纳米管、吸酸剂、双
8.根据权利要求7所述的抗静电橡胶的制备方法，其特征在于，S1中，在开炼机中进行混练，混炼时间为15-30min，开炼机辊筒温度为50-60℃。
...【技术特征摘要】
1.一种抗静电橡胶，其特征在于，其原料按重量份包括：端羧基氟橡胶50-80份、表面羟基化导电炭黑5-20份、羟基化碳纳米管1-5份、吸酸剂5-10份、双酚af交联剂1-8份、硫化促进剂0.5-2份、脱模剂0.1-0.5份。
2.根据权利要求1所述的抗静电橡胶，其特征在于，端羧基氟橡胶为含端羧基的偏氟乙烯、四氟乙烯、六氟丙烯的共聚物。
3.根据权利要求1或2所述的抗静电橡胶，其特征在于，表面羟基化导电炭黑与羟基化碳纳米管的质量比为1-5:1。
4.根据权利要求1-3任一项所述的抗静电橡胶，其特征在于，吸酸剂选自氢氧化钙、氧化镁中一种或两种的组合。
5.根据权利要求1-4任一项所述的抗静电橡胶，其特征在于，硫化促进...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁风英，叶寅，何海军，
申请(专利权)人：上海熹贾精密技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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