大面积平板式等离子体增强化学气相沉积系统技术方案

大面积平板式等离子体增强化学气相沉积系统，主要解决了现有设备只包含一个薄膜沉积腔，产量有限及性价比不高的技术问题。它包含：两个薄膜沉积腔；以及一个基板加热腔；以及一个基板冷却腔；以及一个基板装载台；以及一个基板卸载台。本发明专利技术主要用于制造太阳能电池的大面积等离子体增强化学气相沉积。还可以用于对太阳能电池实施其它薄膜材料制备，例如氧化硅，非晶硅，微晶硅等薄膜材料的等离子体增强化学气相沉积，和金属导电薄膜的化学气相沉积。具有可搭载多个薄膜沉积腔，并且能够共同和同时使用一个基板传递腔的特点。本发明专利技术具有产量大，占地面积相对较小，生产效率高和性价比高等优点，可以有效地降低太阳能电池生产商的运行使用成本，具有很好的市场推广前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于制造太阳能电池的大面积等离子体增强化学气相沉积系统。尤其是，本专利技术涉及一种用于在太阳能电池基板上实施等离子体增强化学气相沉积工艺的 设备平台系统。本专利技术也可用于对具有较大尺寸的加工对象进行等离子体增强化学气相沉 积工艺加工的设备，例如大型显示板制备设备，发光半导体(light-emitting diode, LED) 制备设备。
技术介绍
近年来，太阳能电池制造设备的经济性和有效性已经越来越受到重视。在太阳能 电池制造领域中，太阳能电池制造设备的经济性和有效性一般以太阳能电池生产商的运行 使用成本(Cost of Owner ship,CoO)来衡量。影响CoO的因素有很多，但是太阳能电池制 造设备的产量，设备的价格和设备所需占地面积是最主要的影响因素。其中太阳能电池制造 设备的产量是指设备每单位时间生产太阳能电池的数量，设备的价格主要取决于设备制造商 的制造设备的材料成本，设备所需占地面积则包括设备的占地面积与设备维修所需的邻近区 域。提高设备的产量，降低设备的造价和占地面积是降低设备运行使用成本的有效方法。在晶硅太阳能电池生产工艺中，用于晶硅太阳能本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大面积平板式等离子体增强化学气相沉积系统，它包含：两个薄膜沉积腔；以及一个基板加热腔；以及一个基板冷却腔；以及一个基板装载台；以及一个基板卸载台，其特征在于：所述的两个薄膜沉积腔共同使用一个气体源，一个远程等离子体源系统，一个气压控制系统，和一个真空抽气系统；所述的两个薄膜沉积腔可以同时实施薄膜沉积；所述基板加热腔可以实施加热的基板数量是每个所述薄膜沉积腔可以实施薄膜沉积的基板数量的两倍；所述基板冷却腔可以实施冷却的基板数量是每个所述薄膜沉积腔可以实施薄膜沉积的基板数量的两倍。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘忆军，
申请(专利权)人：刘忆军，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]