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大面积平板式等离子体增强化学气相沉积系统，主要解决了现有设备只包含一个薄膜沉积腔，产量有限及性价比不高的技术问题。它包含：两个薄膜沉积腔；以及一个基板加热腔；以及一个基板冷却腔；以及一个基板装载台；以及一个基板卸载台。本发明主要用于制造太阳...
该专利属于刘忆军所有，仅供学习研究参考，未经过刘忆军授权不得商用。

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