【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及物理气相沉积镀膜领域，具体涉及一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置。
技术介绍
1、物理气相沉积是以高真空度为前提，将固态或液体原料表面汽化成粒子、或部分离化成离子，在低气压条件下，运动到材料表面形成功能性薄膜的材料制备技术。物理气相沉积技术分为真空蒸镀、溅射镀、离子镀。真空蒸镀是在真空容器中(气体压强为10-2pa以下)，将蒸发镀膜原料加热，当到达适温后，蒸镀原料料便开始蒸发汽化而变为气相，形成蒸汽流，直接运动到基体表面凝固成膜。溅射镀膜是利用辉光放电或离子源产生的载能粒子轰击靶材，通过粒子动量的传递打出靶材中的原子或者其他粒子，工件表面被溅射出的颗粒所覆盖形成镀膜。离子镀是将工件置于真空状况下，阴极靶材弧光放电产生高温使靶材表面材料汽化蒸发成原子，原子进入到靶材和基体之间的等离子场时，受到带电离子撞击而电离成离子。在电场的作用下，带电离子在基体工件表面沉积成膜。
2、目前，真空蒸镀因工艺简单、薄膜的粘附强度低等特点，常被用于镀制装饰性薄膜。与真空蒸镀相比，溅射镀及离子镀的工艺过程相对繁琐，且镀制的薄膜的粘附强度、硬度等性能较高。因此，溅射镀及离子镀多用于镀制一些具备特殊功能的硬质薄膜，如tin、crn、bn、tialn、craln、tialsin、tialbn等二元及多元硬质薄膜。以上硬质薄膜应用于金属和非金属成型刀具及模具表面，不仅能够延长刀具及模具的工作寿命，而且能够提高工件表面成型质量。
3、与真空蒸镀不同，溅射镀及离子镀需要在薄膜沉积源(靶材)及工件间施加偏压电场，该电场用以提供
4、现有技术(cn105586577b)公开了一种pvd柔性工作台，其中，上转盘(3)中间开有通孔，驱动杆(1)穿过通孔与大齿轮(5)过盈连接，驱动杆(1)虽然可以带动大齿轮(5)做旋转运动，但其下端无支撑装置，在外界驱动旋转的情况下，传动容易晃动，稳定性差。且根据附图可知，大齿轮(5)置于上转盘(3)内部表面，大齿轮(5)在转动过程中与上转盘(3)间会发生剧烈摩擦磨损，结构设计不合理。同理，小齿轮(6)也是置于上转盘(3)内部表面的，小齿轮(6)无固定的旋转轴，其转动过程中容易发生窜动，同样也会产生剧烈磨损现象。且该柔性工作台不存在绝缘部件，各部分是导通的，若工件通电，则工作台与物理气相沉积涂层腔体、驱动电机相导通，容易造成短路现象，导致物理气相沉积涂层过程无法进行。不仅如此，其夹具体固定杆(8)穿过盖板(7)与小齿轮(6)连接，夹具体固定杆(8)通过扭力弹簧(12)与小齿轮(6)连接，将刀具或其它工件装夹在夹具体固定杆(8)时，夹具体固定杆(8)无法保证不会倾倒，从而进一步带动小齿轮(6)的一侧翘起，上转盘(3)的上部分部件整体出现侧倾现象，无法保证涂层制备安全进行。
技术实现思路
1、为解决现有技术中存在的技术问题，本专利技术提供了一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，以实现功能性薄膜的制备，同时保证薄膜制备的安全性、可靠性及稳定性。
2、为达到上述目的，本专利技术的技术解决方案如下:
3、一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，包括驱动组件、传动组件、支撑组件，驱动组件和传动组件通过支撑组件支撑，驱动组件包括驱动键、驱动轴和旋转支撑台，驱动键与驱动轴固定连接，驱动轴与旋转支撑台之间设置有第一绝缘垫片，驱动轴上设有第一绝缘套筒，支撑组件包括支撑圈、轴向旋转上底座和承载导电座，轴向旋转上底座上设有第二绝缘套筒，轴向旋转上底座和承载导电座之间设有第二绝缘垫片，传动组件包括设置在支撑圈上的太阳轮，太阳轮与支撑圈之间设有第三绝缘套筒和第三绝缘垫片。
4、作为优选的技术方案，驱动键通过驱动键槽和固定螺栓与驱动轴固定连接，驱动轴与旋转支撑台通过穿过第一绝缘垫片和第一绝缘套筒的第一紧固螺栓固定连接。
5、作为优选的技术方案，支撑组件包括支撑柱，旋转支撑台固定在支撑柱上并与承载导电座通过第二紧固螺栓连接。
6、作为优选的技术方案，支撑组件还包括滑移座和底座，底座通过第三紧固螺栓与滑移座连接，底座上设有支撑圈和轴向旋转下底座，支撑圈和轴向旋转下底座通过第四紧固螺栓与底座连接，支撑圈内设有第一轴承，轴向旋转下底座上方依次设有承载球体、轴向旋转上底座和承载导电座，轴向旋转上底座与承载导电座通过穿过第二绝缘套筒和第二绝缘垫片的第五紧固螺栓连接。
7、作为优选的技术方案，支撑组件还包括轴承座和支撑杆，轴承座通过螺纹固定在承载导电座的孔内，轴承座内设有第二轴承，支撑杆与旋转支撑台通过螺纹连接，支撑杆的上方设有上盖板，上盖板与支撑杆通过第六紧固螺栓连接。
8、作为优选的技术方案，传动组件包括传动桶、行星轮、太阳轮和传动杆，太阳轮与支撑圈通过穿过第三绝缘套筒和第三绝缘垫片的第七紧固螺栓连接，传动桶与第二轴承固定连接，行星轮与传动桶连接，传动杆与传动桶连接，传动杆与上盖板通过固定套连接。
9、作为优选的技术方案，传动杆的底部开设有键槽，传动桶内设有与键槽相匹配的键，传动杆与传动桶通过键槽和键传动连接。
10、与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：
11、(1)本专利技术的用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，通过绝缘组件将各部件进行绝缘连接，能够保证涂层工件与涂层腔体、驱动电机间的绝缘连接，实现溅射镀、离子镀物理气相沉积涂层的制备。
12、(2)本专利技术的用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，通过轴承座、轴承、小齿轮的连接方式和结构设计，能够防止齿轮与承载导电座干摩擦，结构设计合理。
13、(3)本专利技术的用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，通过驱动轴驱动旋转支撑台，旋转支撑台将旋转运动传递于承载导电座，而后通过太阳轮使行星轮产生旋转运动，实现传动杆的旋转，避免了太阳轮与承载导电座间的摩擦。
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1.一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，其特征在于，包括驱动组件、传动组件、支撑组件，所述驱动组件和传动组件通过支撑组件支撑，所述驱动组件包括驱动键、驱动轴和旋转支撑台，所述驱动键与驱动轴固定连接，所述驱动轴与旋转支撑台之间设置有第一绝缘垫片，所述驱动轴上设有第一绝缘套筒，所述支撑组件包括支撑圈、轴向旋转上底座和承载导电座，所述轴向旋转上底座上设有第二绝缘套筒，所述轴向旋转上底座和承载导电座之间设有第二绝缘垫片，所述传动组件包括设置在所述支撑圈上的太阳轮，所述太阳轮与支撑圈之间设有第三绝缘套筒和第三绝缘垫片。
2.根据权利要求1所述的一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，其特征在于，所述驱动键通过驱动键槽和固定螺栓与所述驱动轴固定连接，所述驱动轴与旋转支撑台通过穿过第一绝缘垫片和第一绝缘套筒的第一紧固螺栓固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，其特征在于，所述支撑组件包括支撑柱，所述旋转支撑台固定在支撑柱上并与所述承载导电座通过第二紧固螺栓连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，
5.根据权利要求1所述的一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，其特征在于，所述支撑组件还包括轴承座和支撑杆，所述轴承座通过螺纹固定在所述承载导电座的孔内，所述轴承座内设有第二轴承，所述支撑杆与所述旋转支撑台通过螺纹连接，所述支撑杆的上方设有上盖板，所述上盖板与所述支撑杆通过第六紧固螺栓连接。
6.根据权利要求5所述的一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，其特征在于，所述传动组件包括传动桶、行星轮、太阳轮和传动杆，所述太阳轮与支撑圈通过穿过第三绝缘套筒和第三绝缘垫片的第七紧固螺栓连接，所述传动桶与所述第二轴承固定连接，所述行星轮与所述传动桶连接，所述传动杆与传动桶连接，所述传动杆与所述上盖板通过固定套连接。
7.根据权利要求6所述的一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，其特征在于，所述传动杆的底部开设有键槽，所述传动桶内设有与所述键槽相匹配的键，所述传动杆与传动桶通过键槽和键传动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，其特征在于，包括驱动组件、传动组件、支撑组件，所述驱动组件和传动组件通过支撑组件支撑，所述驱动组件包括驱动键、驱动轴和旋转支撑台，所述驱动键与驱动轴固定连接，所述驱动轴与旋转支撑台之间设置有第一绝缘垫片，所述驱动轴上设有第一绝缘套筒，所述支撑组件包括支撑圈、轴向旋转上底座和承载导电座，所述轴向旋转上底座上设有第二绝缘套筒，所述轴向旋转上底座和承载导电座之间设有第二绝缘垫片，所述传动组件包括设置在所述支撑圈上的太阳轮，所述太阳轮与支撑圈之间设有第三绝缘套筒和第三绝缘垫片。
2.根据权利要求1所述的一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，其特征在于，所述驱动键通过驱动键槽和固定螺栓与所述驱动轴固定连接，所述驱动轴与旋转支撑台通过穿过第一绝缘垫片和第一绝缘套筒的第一紧固螺栓固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，其特征在于，所述支撑组件包括支撑柱，所述旋转支撑台固定在支撑柱上并与所述承载导电座通过第二紧固螺栓连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，其特征在于，所述支撑组件还包括滑移座和底座，所述底座通过第三紧固螺栓与所述滑移座连接，所述底座上设有支...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈强，张而耕，周琼，黄彪，梁丹丹，
申请(专利权)人：上海应用技术大学，
类型：发明
国别省市：
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