【技术实现步骤摘要】
本申请涉及金属碳化物涂层制备，尤其涉及一种金属碳化物涂层的制备方法及制备系统。
技术介绍
1、碳化物涂层由于具有良好的抗腐蚀，热稳定，热物理与机械性能，因此在各行各业有着广阔的应用前景。比如碳化钽涂层因其在金属化合物气氛以及氢气等气氛的良好的稳定性，因此在单晶衬底的生长以及外延领域有着良好的应用前景。
2、化学气相沉积(cvd)是一种在气相或气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程，化学气相沉积方法也应用于碳化物涂层的制备。如何制备出结合性能更好的碳化物涂层是本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例致力于提供一种金属碳化物涂层的制备方法，包括：
2、在沉积室内提供一碳基体；
3、将所述沉积室内的气压和温度分别控制在预设气压范围和预设温度范围内，所述预设温度范围的最小值大于温度阈值；
4、向所述沉积室内通入金属卤化物、氩气、烃类气体和氢气并沉积第一预设时间，此过程中保证所述烃类气体中的碳原子数量和所述金属卤化物中的沉积...
【技术保护点】
1.一种金属碳化物涂层的制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的金属碳化物涂层的制备方法，其特征在于，向所述沉积室内通入金属卤化物、氩气、烃类气体和氢气并沉积第一预设时间的步骤包括：
3.根据权利要求1所述的金属碳化物涂层的制备方法，其特征在于，向所述沉积室内通入金属卤化物、氩气、烃类气体和氢气并沉积第一预设时间的步骤包括：
4.根据权利要求1-3中任一项所述的金属碳化物涂层的制备方法，其特征在于，向所述沉积室内通入金属卤化物、氩气、烃类气体和氢气并沉积第一预设时间的步骤之前包括：
5.根据权利要求1所述的...
【技术特征摘要】
1.一种金属碳化物涂层的制备方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的金属碳化物涂层的制备方法，其特征在于，向所述沉积室内通入金属卤化物、氩气、烃类气体和氢气并沉积第一预设时间的步骤包括：
3.根据权利要求1所述的金属碳化物涂层的制备方法，其特征在于，向所述沉积室内通入金属卤化物、氩气、烃类气体和氢气并沉积第一预设时间的步骤包括：
4.根据权利要求1-3中任一项所述的金属碳化物涂层的制备方法，其特征在于，向所述沉积室内通入金属卤化物、氩气、烃类气体和氢气并沉积第一预设时间的步骤之前包括：
5.根据权利要求1所述的金属碳化物涂层的制备方法，其特征在于，所述碳基体的厚度为毫米级别，所述金属碳化物涂层...
【专利技术属性】
技术研发人员：石林，杨倩倩，
申请(专利权)人：苏州清研半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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