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本发明提供了一种金属碳化物涂层的制备方法及制备系统，属于金属碳化物涂层制备技术领域。制备方法包括：在沉积室内提供一碳基体；将沉积室内的气压和温度分别控制在预设气压范围和预设温度范围内，预设温度范围的最小值大于温度阈值；向沉积室内通入金属卤化...
该专利属于苏州清研半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州清研半导体科技有限公司授权不得商用。

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