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本发明涉及一种用于溅射及离子镀膜的工件装载装置，包括驱动组件、传动组件和支撑前两者的支撑组件，驱动组件包括驱动轴、与驱动轴连接的驱动键和旋转支撑台，驱动轴与旋转支撑台之间设有第一绝缘垫片，驱动轴上设有第一绝缘套筒，支撑组件包括支撑圈、轴向旋...
该专利属于上海应用技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海应用技术大学授权不得商用。

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