【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及搬送装置。
技术介绍
1、专利文献1、2中公开的加工装置具有将被加工物搬送至多个加工单元的搬送装置。
2、专利文献1：日本特开2015-082569号公报
3、专利文献2：日本特开2018-060958号公报
4、专利文献3：日本特开2020-194901号公报
5、专利文献4：日本特开2015-217501号公报
6、该搬送装置如专利文献3、4所公开的那样，在与吸引源、空气源、水源以及电源连接的状态下移动至与各加工单元对应的位置。因此，搬送装置将收纳有配管和配线的线缆拖链cable bear(注册商标)等收纳部件的一端侧连结，拉拽收纳部件而移动。因此，在移动时，收纳部件与配线和配管摩擦而产生污染物。有时设置有加工装置的洁净室被该污染物污染。
技术实现思路
1、由此，本专利技术的目的在于提供搬送装置，其能够抑制在将被加工物搬送至多个加工单元时产生污染物。
2、根据本专利技术，提供搬送装置，其将被加工物搬送至多个加工单元，其中，该搬送装置具有：轨道，其沿着与该多个加工单元的配置对应的移动路径而设置；搬送单元，其具有对该被加工物进行保持和分离的保持部；以及移动机构，其使该搬送单元按照被该轨道引导的方式移动，该搬送单元包含：吸引机构，其使吸引力作用于该保持部；分离机构，其使该保持部所吸引保持的该被加工物从该保持部分离；保持部移动机构，其通过电力使该保持部在水平方向和铅垂方向上移动；以及蓄电池，其用于向该
3、优选该搬送单元还包含向该保持部所保持的被加工物提供水的水提供机构。
4、优选该水提供机构为循环式，并且包含：积水部，其使该保持部所保持的该被加工物浸没于水中；紫外线照射部，其对从该积水部回收的水照射紫外线；离子交换单元，其对从该紫外线照射部排出的水进行离子交换；以及过滤器，其对从该离子交换单元排出的水进行过滤，该水提供机构将过滤后的水再次提供至该积水部。
5、在本搬送装置中，搬送单元具有：吸引机构，其对保持被加工物的保持部赋予吸引力；分离机构，其用于使被加工物从保持部分离；保持部移动机构，其用于使保持部移动；以及蓄电池，其用于向保持部移动机构提供电力。因此，搬送单元无需从外部接受电力、流体等的提供，因此无需具有从搬送单元向外部延伸的配线和配管以及对配线和配管进行收纳的收纳部件。因此，能够抑制由于收纳部件与配线和配管摩擦所导致的污染物的产生。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种搬送装置，其将被加工物搬送至多个加工单元，其中，
2.根据权利要求1所述的搬送装置，其中，
3.根据权利要求2所述的搬送装置，其中，
【技术特征摘要】
1.一种搬送装置，其将被加工物搬送至多个加工单元，其中，
2.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：佐田淳，安田祐树，出岛健志，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：
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