System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 半导体装置制造方法及图纸_技高网

半导体装置制造方法及图纸

技术编号:40276153 阅读:12 留言:0更新日期:2024-02-02 23:03
本公开涉及一种半导体装置,其中半导体衬底包括:n型衬底区域、布置在n型衬底区域上的不同位置处的n型第一半导体区域和第二半导体区域、形成在n型第一半导体区域上和第二半导体区域上的n型埋层、形成在n型埋层上并且彼此间隔开的p型第三半导体区域和p型第四半导体区域,以及从n型埋层到达半导体衬底的上表面的n型第五半导体区域。n型埋层、n型第一半导体区域和n型衬底区域存在于p型第三半导体区域和n型第五半导体区域下方。第一晶体管被形成在p型第三半导体区域的上部分中,并且第二晶体管被形成在p型第四半导体区域的上部分中。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种半导体装置,并且可以适用于例如包括作为功率开关元件的晶体管的半导体装置。


技术介绍

1、例如,诸如ldmosfet(横向扩散金属氧化物半导体场效应晶体管)的功率开关元件被用在诸如逆变器电路的功率转换电路中。尽管功率开关元件被形成在半导体衬底中,但是构成其他电路的晶体管可以一起被形成在其中形成功率开关元件的半导体衬底中。

2、下面列出了公开的技术。

3、[专利文献1]日本未审查专利申请公开号2013-247120

4、[非专利文献1]t.nitta,y.yoshihisa,t.kuroi,k.hatasako,s.maegawa和k.onishi,“enhanced active protection technique for substrate minority carrierinjection in smart power ic”,2012年第24届国际会议功率半导体装置和ic研讨会,比利时布鲁日,2012年,第205-208页

5、专利文献1和非专利文献1描述了针对具有有源阻挡结构的半导体装置的技术。


技术实现思路

1、在具有功率开关元件的半导体装置中,期望尽可能地改进性能。

2、根据本说明书的描述和附图,其他目的和新颖特征将变得明显。

3、根据一个实施例,半导体装置包括:半导体衬底、形成在半导体衬底的上表面上的第一元件区域中的第一导电类型的第一晶体管,以及形成在半导体衬底的上表面上的第二元件区域中的第二晶体管。配置半导体装置的半导体衬底包括:到达半导体衬底的背表面的第一导电类型的衬底区域,以及布置在衬底区域上的不同位置处的第一半导体区域和第二半导体区域。第一半导体区域具有第一导电类型,并且第二半导体区域具有第一导电类型或与第一导电类型相反的第二导电类型。半导体衬底还包括:形成在第一半导体区域和第二半导体区域上的第一导电类型的埋层;形成在埋层上并且彼此间隔开的第二导电类型的第三半导体区域和第二导电类型的第四半导体区域;以及从埋层到达上表面的第一导电类型的第五半导体区域。第一接触插塞被布置在第五半导体区域上,并且电连接到第五半导体区域。埋层、第一半导体区域和衬底区域存在于第三半导体区域和第五半导体区域下方,并且埋层、第二半导体区域和衬底区域存在于第四半导体区域下方。在平面图中,第一元件区域被包括在第三半导体区域中,并且在平面图中,第二元件区域被包括在第四半导体区域中,并且在平面图中,第五半导体区域被插入在第三半导体区域和第四半导体区域之间。

4、根据一个实施例,可以改进半导体装置的性能。

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【技术保护点】

1.一种半导体装置,包括:

2.根据权利要求1所述的半导体装置,

3.根据权利要求2所述的半导体装置,

4.根据权利要求2所述的半导体装置,

5.根据权利要求1所述的半导体装置,包括:

6.根据权利要求1所述的半导体装置,

7.根据权利要求1所述的半导体装置,

8.根据权利要求1所述的半导体装置,

9.根据权利要求1所述的半导体装置,

10.根据权利要求9所述的半导体装置,

11.根据权利要求1所述的半导体装置,

12.根据权利要求1所述的半导体装置,

13.根据权利要求1所述的半导体装置,

14.根据权利要求13所述的半导体装置,

15.根据权利要求1所述的半导体装置,

【技术特征摘要】

1.一种半导体装置,包括:

2.根据权利要求1所述的半导体装置,

3.根据权利要求2所述的半导体装置,

4.根据权利要求2所述的半导体装置,

5.根据权利要求1所述的半导体装置,包括:

6.根据权利要求1所述的半导体装置,

7.根据权利要求1所述的半导体装置,

8.根据权利要求1所述的半导...

【专利技术属性】
技术研发人员:小清水亮中柴康隆河合彻
申请(专利权)人:瑞萨电子株式会社
类型:发明
国别省市:

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