半导体器件制造技术

技术编号:41427374 阅读:13 留言:0更新日期:2024-05-28 20:25
本公开涉及一种半导体器件,在半导体衬底的p型衬底区域中,形成n型源极区域、n型漏极区域、具有比p型衬底区域的杂质浓度高的杂质浓度的p型主体区域、具有比p型主体区域的杂质浓度高的杂质浓度的p型主体接触区域、以及具有比n型漏极区域的杂质浓度低的杂质浓度的n型漂移区域。栅极电极经由栅极电介质膜形成在半导体衬底上。半导体衬底包括在栅极电极的延伸方向上交替布置的第一区域和第二区域。第二区域中与栅极电极重叠的p型主体区域的宽度小于第一区域中与栅极电极重叠的p型主体区域的宽度。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种半导体器件,并且可以适用于例如具有ldmosfet的半导体器件。


技术介绍

1、作为misfet(金属绝缘体半导体场效应晶体管),存在ldmosfet(横向扩散金属氧化物半导体场效应晶体管)。ldmosfet具有高漏极击穿电压。

2、下面列出了公开的技术。

3、[专利文献1]日本未审查专利申请公开号2019-117883

4、专利文献1描述了与具有ldmosfet的半导体器件有关的技术。


技术实现思路

1、在诸如ldmosfet的misfet中,阈值电压是重要的电学特性,并且misfet的阈值电压需要根据半导体器件的应用来进行调整。为此,期望以简单的方法调整misfet的阈值电压,而不增加半导体器件的制造成本。

2、其他目的和新颖特征将从本说明书的描述和附图变得明显。

3、根据一个实施例,一种半导体器件包括:具有上表面的半导体衬底;形成在半导体衬底中的第一导电类型的衬底区域;形成在半导体衬底的上表面上的第一misfet;彼此隔开地形成在本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体器件,包括:

2.根据权利要求1所述的半导体器件,

3.根据权利要求1所述的半导体器件,包括:

4.根据权利要求3所述的半导体器件,包括:

5.根据权利要求3所述的半导体器件,

6.根据权利要求1所述的半导体器件,

7.根据权利要求1所述的半导体器件,

8.根据权利要求1所述的半导体器件,

9.根据权利要求1所述的半导体器件,

10.根据权利要求9所述的半导体器件,

11.根据权利要求1所述的半导体器件,

12.根据权利要求1所述的半导体器件,...

【技术特征摘要】

1.一种半导体器件,包括:

2.根据权利要求1所述的半导体器件,

3.根据权利要求1所述的半导体器件,包括:

4.根据权利要求3所述的半导体器件,包括:

5.根据权利要求3所述的半导体器件,

6.根据权利要求1所述的半导体器件,

7.根据权利要求1所述的半导体器件,

8.根据权利要求1所述的半导体器件,

9.根据权利要求1所述的半导体器件,

10.根据权利要求9所述的半导体器件,

11.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:森隆弘
申请(专利权)人:瑞萨电子株式会社
类型:发明
国别省市:

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