【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体工艺设备，具体而言，涉及一种反应腔室泄漏检测系统。
技术介绍
1、半导体工艺设备在pm前或pm后，需要及时地检测反应腔室的泄漏(leak)情况，常规工艺通常采用的是在真空腔室里面喷射等离子体(plasma)的设备来进行检测的。然而，这种工艺成本高昂，且检出时间较长，同时无法早期检测和实时检测。同时半导体设备中，每天测量chamber leak，data spec out(数据规范)时进行泄漏检查。leak检验与下次leak检验之间的期间里，如果发生腔室泄漏(chamber leak)的话，并没有检验得知的方法，就可能会发生事故。
技术实现思路
1、本专利技术的目的包括，例如，提供了一种反应腔室泄漏检测系统，其能够实时检测反应腔室的泄漏情况，并且成本低廉，无需使用plasma设备。
2、本专利技术的实施例可以这样实现：
3、第一方面，本专利技术提供一种反应腔室泄漏检测系统，包括：
4、反应腔室，所述反应腔室的顶端设置有一开口；
5、设置在所述开口处的密封圈；
6、盖设在所述开口上，并压合在所述密封圈上的盖板；
7、设置在所述密封圈外的电性纤维圈；
8、与所述电性纤维圈连接的传感器；
9、其中，所述密封圈用于密封设置在所述反应腔室和所述盖板之间，所述电性纤维圈用于在气压超过预设值时断裂，所述传感器用于在所述电性纤维圈断裂后发出报警信号。
10、在可选的实施方式
11、在可选的实施方式中，所述密封环槽周围还设置有容置环槽，所述容置环槽与所述密封环槽导通，所述电性纤维圈设置在所述容置环槽中。
12、在可选的实施方式中，所述开口周围还设置有射频垫片，所述射频垫片设置在所述密封圈外侧，所述电性纤维圈设置在所述密封圈和所述射频垫片之间。
13、在可选的实施方式中，所述容置环槽上与所述射频垫片对应的位置还设置有导流孔，所述电性纤维圈封堵在所述导流孔上，并在所述密封圈发生泄漏时朝向所述导流孔断裂。
14、在可选的实施方式中，所述反应腔室内填充热敏气体，所述反应腔室内所述电性纤维圈采用纤维热敏材料，用于在气体泄漏并受热后断裂。
15、在可选的实施方式中，所述电性纤维圈采用纳米碳管材料。
16、在可选的实施方式中，所述密封圈呈o形，且所述电性纤维圈的形状与所述密封圈的形状相适配。
17、在可选的实施方式中，所述传感器为多个，多个所述传感器均布在所述电性纤维圈上，且每个所述传感器均设置有电流发射模块和电流接收模块，所述电流发射模块用于向所述电性纤维圈输送电流，以使所述电性纤维圈内具有电流，所述电流接收模块用于接收所述电性纤维圈上的电流，并在电流异常时发出报警信号。
18、在可选的实施方式中，所述反应腔室泄漏检测系统还包括联锁感应器，所述联锁感应器与多个所述传感器电性连接，并用于与中控机通信连接，所述联锁感应器用于在至少一个所述传感器发出报警信号时发出联锁信号，以锁定所述反应腔室。
19、本专利技术实施例的有益效果包括，例如：
20、本专利技术实施例提供的一种反应腔室泄漏检测系统，在反应腔室的开口处设置密封圈，盖板盖设在开口上并压合在密封圈上，密封圈用于密封反应腔室和盖板之间，同时在密封圈外额外设置易于断裂的电性纤维圈，传感器与电性纤维圈连接，在发生泄漏时，密封圈周围的气压会局部升高，电性纤维圈用于在气压超过预设值时断裂，传感器用于在电性纤维圈断裂后发出报警信号。相较于现有技术，本专利技术通过增设电性纤维圈，通过监测电性纤维圈的断裂情况来判定是否发生泄漏，从而实现了实时监测反应腔室的泄漏情况，同时无需采用plasma设备额外进行密封检测，成本低廉，检测结果准确。
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1.一种反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述开口的周围设置有密封环槽，所述密封圈部分设置在所述密封环槽中。
3.根据权利要求2所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述密封环槽周围还设置有容置环槽，所述容置环槽与所述密封环槽导通，所述电性纤维圈设置在所述容置环槽中。
4.根据权利要求3所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述开口周围还设置有射频垫片，所述射频垫片设置在所述密封圈外侧，所述电性纤维圈设置在所述密封圈和所述射频垫片之间。
5.根据权利要求4所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述容置环槽上与所述射频垫片对应的位置还设置有导流孔，所述电性纤维圈封堵在所述导流孔上，并在所述密封圈发生泄漏时朝向所述导流孔断裂或者背离导流孔断裂。
6.根据权利要求2所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述反应腔室内填充热敏气体，所述电性纤维圈采用纤维热敏材料，用于在气体泄漏并受热后断裂。
7.根据权利要求6所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征
8.根据权利要求7所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述密封圈呈O形，且所述电性纤维圈的形状与所述密封圈的形状相适配。
9.根据权利要求1所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述传感器为多个，多个所述传感器均布在所述电性纤维圈上，且每个所述传感器均设置有电流发射模块和电流接收模块，所述电流发射模块用于向所述电性纤维圈输送电流，以使所述电性纤维圈内具有电流，所述电流接收模块用于接收所述电性纤维圈上的电流，并在电流异常时发出报警信号。
10.根据权利要求9所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述反应腔室泄漏检测系统还包括联锁感应器，所述联锁感应器与多个所述传感器电性连接，并用于与中控机通信连接，所述联锁感应器用于在至少一个所述传感器发出报警信号时发出联锁信号，以锁定所述反应腔室。
...【技术特征摘要】
1.一种反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述开口的周围设置有密封环槽，所述密封圈部分设置在所述密封环槽中。
3.根据权利要求2所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述密封环槽周围还设置有容置环槽，所述容置环槽与所述密封环槽导通，所述电性纤维圈设置在所述容置环槽中。
4.根据权利要求3所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述开口周围还设置有射频垫片，所述射频垫片设置在所述密封圈外侧，所述电性纤维圈设置在所述密封圈和所述射频垫片之间。
5.根据权利要求4所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述容置环槽上与所述射频垫片对应的位置还设置有导流孔，所述电性纤维圈封堵在所述导流孔上，并在所述密封圈发生泄漏时朝向所述导流孔断裂或者背离导流孔断裂。
6.根据权利要求2所述的反应腔室泄漏检测系统，其特征在于，所述反应腔室内填充热敏气体，所述电性纤维圈采...
【专利技术属性】
技术研发人员：金建澔，
申请(专利权)人：成都高真科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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