温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种反应腔室泄漏检测系统，涉及半导体工艺设备技术领域，该反应腔室泄漏检测系统包括反应腔室、密封圈、盖板、电性纤维圈和传感器，密封圈用于密封反应腔室和盖板之间，同时在密封圈外额外设置易于断裂的电性纤维圈，传感器与电性纤维圈连接，在...
该专利属于成都高真科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都高真科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。