【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及透射电镜显微镜，具体涉及一种透射电子显微镜用倾转样品杆、透射电镜机台。
技术介绍
1、透射电子显微镜(tem)是表征材料微观结构的重要设备，作为tem的重要组件之一，样品杆起到承载样品，并对样品施加多物理场如力、热、电、光等的作用。
2、透射电子显微镜的镜筒从构造上，包括电子枪、样品台、荧光板等，从电子枪内发射出电子束入射到待测样品上，并透射到荧光板上。由于装在电子枪、镜筒内的磁透镜，电子束会以螺旋状方向旋转并最后投映在荧光板上，投映得到的图像的方向由样品的加载方向决定。
3、样品加载在透射电子显微镜的样品杆上，通过调整样品杆的倾转方式来改变样品的加载方向。一般使用的透射电子显微镜样品杆的种类，根据倾转的不同功能，分为单倾转样品杆、双倾转样品杆，单倾转样品杆(single tilt holder)具有α-倾转(α-tilt)功能，如商业化的样品杆gatan公司的613型、628型和643型；双倾转样品杆(double tilt holder)同时具有α-倾转(α-tilt)功能和β-倾转(β-tilt)功能，如gatan公司的646型和652型样品杆。
4、其中，沿样品杆的杆轴旋转的倾转方式为α-倾转，垂直于样品杆的杆轴和电子束入射方向的旋转为β-倾转。通常，α-倾转是由透射电子显微镜的测角台来实现，而β-倾转需要在样品杆上通过旋转样品载台来实现，样品载台沿垂直于样品杆的杆轴和电子束入射方向的旋转。根据欲分析的材料以及分析方法选择使用的样品杆。如为了准确量测半导体各单位工艺的扩散
5、虽然使用目前的双倾转样品杆可以在两个维度灵活地转动样品，更方便地观测晶体结构物质的表面形貌和衍射花样，表征样品的晶体结构。但是由于tem镜筒上磁透镜的设置，电子束以螺旋状方向旋转最后投映在荧光板上，得到的电镜图像中的观察区域的并不是沿水平方向左右排列，如图4中的(a)所示。这种效果会对结果分析产生一定的影响，分析结果不准确。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是利用目前的双倾转样品杆的得到的电镜图像的观察区域并非沿水平方向，导致结构分析不准确。目的在于提供一种透射电子显微镜用倾转样品杆、透射电镜机台，以解决以上问题。
2、本专利技术通过下述技术方案实现：
3、本专利技术的第一个目的是提供一种透射电子显微镜用倾转样品杆，所述样品杆包括手柄部、杆体、样品杆前端、样品载台，所述杆体的一端连接所述手柄部、另一端固定连接所述样品杆前端，所述样品载台位于所述样品杆前端的槽孔内，所述倾转样品杆可进行α-倾转、β-倾转和样品载台旋转，所述样品载台可沿所述样品杆的杆轴旋转以形成所述样品载台旋转，用于对投映的图像进行水平线校准，以使获得的电镜图的观察区域按照水平方向排列。
4、在一可选地实施例中，所述样品载台的可旋转角度为360°。
5、在一可选地实施例中，以压电马达作为动力源驱动所述样品载台的旋转。
6、在一可选地实施例中，所述压电马达采用粘滑式压电马达。
7、在一可选地实施例中，所述杆体内部设有与其转动配合的转杆，转杆沿所述杆体的轴向方向延伸且一端延伸至所述杆体的外部，所述转杆位于所述杆体外部的一端固定连接所述样品载台，所述转杆的另一端连接所述压电马达。
8、在一可选地实施例中，所述转杆连接所述样品载台的一端具有一突出部，所述突出部连接所述样品载台的一端为弧形端面，用于与所述样品载台的外周面相配合。
9、在一可选地实施例中，所述突出部沿垂直于所述转杆的轴线方向延伸。
10、在一可选地实施例中，所述突出部朝向所述杆体的一侧延伸。
11、在一可选地实施例中，所述压电马达固定安装于所述手柄部内。
12、本专利技术的第二个目的是提供一种透射电镜机台，包括如上所述的透射电子显微镜用倾转样品杆。
13、本专利技术与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
14、(1)本专利技术实施例提供的透射电子显微镜用倾转样品杆，具有三种倾转方式，即α-倾转、β-倾转和r倾转，不但可以通过α-倾转、β-倾转两个维度灵活地转动样品，更方便地观测晶体结构物质的表面形貌和衍射花样，表征样品的晶体结构，还可以对获得的电镜图片进行水平线校准，从而可以提升扩散电容与厚度量测的准确度，改善透射电子显微镜分析质量，改善分析效果。
15、(2)本专利技术实施例提供的透射电子显微镜用倾转样品杆，利用压电马达作为动力源，可以精准控制r倾转的角度，从而可以使水平线校准过程更加准确，而可以提升扩散电容与厚度量测的准确度。
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1.一种透射电子显微镜用倾转样品杆，所述样品杆包括手柄部、杆体、样品杆前端、样品载台，所述杆体的一端连接所述手柄部、另一端固定连接所述样品杆前端，所述样品载台位于所述样品杆前端的槽孔内，其特征在于，所述倾转样品杆可进行α-倾转、β-倾转和样品载台旋转，所述样品载台可沿所述样品杆的杆轴旋转以形成所述样品载台旋转，用于对投映的图像进行水平线校准，以使获得的电镜图的观察区域按照水平方向排列。
2.如权利要求1所述的一种透射电子显微镜用倾转样品杆，其特征在于，所述样品载台的可旋转角度为360°。
3.如权利要求2所述的一种透射电子显微镜用倾转样品杆，其特征在于，以压电马达作为动力源驱动所述样品载台的旋转。
4.如权利要求3所述的一种透射电子显微镜用倾转样品杆，其特征在于，所述压电马达采用粘滑式压电马达。
5.如权利要求4所述的一种透射电子显微镜用倾转样品杆，其特征在于，所述杆体内部设有与其转动配合的转杆，转杆沿所述杆体的轴向方向延伸且一端延伸至所述杆体的外部，所述转杆位于所述杆体外部的一端固定连接所述样品载台，所述转杆的另一端连接所述压电马
6.如权利要求5所述的一种透射电子显微镜用倾转样品杆，其特征在于，所述转杆连接所述样品载台的一端具有一突出部，所述突出部连接所述样品载台的一端为弧形端面，用于与所述样品载台的外周面相配合。
7.如权利要求6所述的一种透射电子显微镜用倾转样品杆，其特征在于，所述突出部沿垂直于所述转杆的轴线方向延伸。
8.如权利要求7所述的一种透射电子显微镜用倾转样品杆，其特征在于，所述突出部朝向所述杆体的一侧延伸。
9.如权利要求8所述的一种透射电子显微镜用倾转样品杆，其特征在于，所述压电马达固定安装于所述手柄部内。
10.一种透射电镜机台，其特征在于，包括如权利要求1～9任一项所述的透射电子显微镜用倾转样品杆。
...【技术特征摘要】
1.一种透射电子显微镜用倾转样品杆，所述样品杆包括手柄部、杆体、样品杆前端、样品载台，所述杆体的一端连接所述手柄部、另一端固定连接所述样品杆前端，所述样品载台位于所述样品杆前端的槽孔内，其特征在于，所述倾转样品杆可进行α-倾转、β-倾转和样品载台旋转，所述样品载台可沿所述样品杆的杆轴旋转以形成所述样品载台旋转，用于对投映的图像进行水平线校准，以使获得的电镜图的观察区域按照水平方向排列。
2.如权利要求1所述的一种透射电子显微镜用倾转样品杆，其特征在于，所述样品载台的可旋转角度为360°。
3.如权利要求2所述的一种透射电子显微镜用倾转样品杆，其特征在于，以压电马达作为动力源驱动所述样品载台的旋转。
4.如权利要求3所述的一种透射电子显微镜用倾转样品杆，其特征在于，所述压电马达采用粘滑式压电马达。
5.如权利要求4所述的一种透射电子显微镜用倾转样品杆，其特征在于，所述杆体内部...
【专利技术属性】
技术研发人员：李德元，
申请(专利权)人：成都高真科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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