一种蒸发设备制造技术

本发明专利技术公开了一种蒸发设备，其特征在于，该蒸发设备包括：（ａ）至少一个蒸发源，能够加热使源材料气化产生源材料的蒸气；（ｂ）一个与蒸发源连接的盒子，该盒子具有线性出口，引导盒子中的蒸气流到衬底上；（ｃ）阻止材料沉积在所述盒子和导管的内壁上的加热部件；（ｄ）外壳和分布在盒子和蒸发源周围的冷却管。该蒸发设备具有可以实现大面积均匀成膜的优点，并且容易实现均匀混合蒸镀两种或多种材料，能够加快薄膜沉积速率，提高材料利用率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于蒸镀的蒸发设备。
技术介绍
有机电致发光器件(OLED)目前广泛运用的结构为多层次的有机膜，分别作为 电子空穴传输及发光层。其外部并为透明电极氧化铟锡(ITO)作为阳极，与另一金属 阴极形成三明治结构，将有机材料包夹于两电极中。量产的过程中首先是常是以溅镀 方式将氧化铟锡(ITO)沉积于玻璃基板，而后以氧气等离子体处理其表面，如此做法可 提高氧化铟锡(ITO)的功函数使元件运作时空穴更容易注入有机层，可降低操作电压， 并提高元件发光效率。完成阳极表面处理后便可进行有机材料的沉积。小分子沉积方 式主要分为真空热蒸镀(VacuumThermalEvaporation，VTE)及有机气相沉机沉积技术 (OrganicVaporPhaseD印osition，OVPD),主要可分为点蒸镀源(PointSource)、线蒸镀源 (LinearSource)和有机气相沉积(OVPD)。其中，有机气相蒸发系统因为需要巨大的热量来使材料保持气相状态，然后沉积 在衬底上。目前虽有个别公司取得授权，但是量产的OLED还是用真空热蒸发的方法，在进 入大型化量产及考量营运成本的状况下，真本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸发设备，其特征在于，该蒸发设备包括：（ａ）至少一个蒸发源，能够加热使源材料气化产生源材料的蒸气；（ｂ）一个与蒸发源连接的盒子，该盒子具有线性出口，引导盒子中的蒸气流到衬底上；（ｃ）阻止材料沉积在所述盒子的内壁上的加热部件；（ｄ）外壳和分布在盒子和蒸发源周围的冷却管。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：涂爱国，
申请(专利权)人：涂爱国，
类型：发明
国别省市：51[中国|四川]