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一种蒸发设备制造技术
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下载一种蒸发设备的技术资料
文档序号:4012987
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本发明公开了一种蒸发设备,其特征在于,该蒸发设备包括:(a)至少一个蒸发源,能够加热使源材料气化产生源材料的蒸气;(b)一个与蒸发源连接的盒子,该盒子具有线性出口,引导盒子中的蒸气流到衬底上;(c)阻止材料沉积在所述盒子和导管的内壁上的加热...
该专利属于涂爱国所有,仅供学习研究参考,未经过涂爱国授权不得商用。
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