当前位置: 首页 > 专利查询>涂爱国 > 一种蒸发设备制造技术 >技术资料下载
下载一种蒸发设备的技术资料

文档序号:4012987

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种蒸发设备,其特征在于,该蒸发设备包括:(a)至少一个蒸发源,能够加热使源材料气化产生源材料的蒸气;(b)一个与蒸发源连接的盒子,该盒子具有线性出口,引导盒子中的蒸气流到衬底上;(c)阻止材料沉积在所述盒子和导管的内壁上的加热...
该专利属于涂爱国所有,仅供学习研究参考,未经过涂爱国授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。