一种微纳结构硅材料的制备系统与制备方法技术方案

一种微纳结构硅材料的制备系统，特点是：反射镜、连续可调衰减片、光快门、透镜和三维调整台固定在光学平台上，不锈钢长腔真空室安装在三维调整台上，不锈钢长腔真空室前端有窗片，其内部的后表面粘贴有硅片，外部与真空室充气管道连接，所述管道上设置有两个微调阀，光快门通过导线与脉冲计数器连接。通过连续可调衰减片调节入射激光功率，配合使用脉冲计数器准确控制蚀刻的脉冲数量，并利用微调阀门调节真空室内气体压强，最终实现各种不同形貌的微纳结构硅材料的形成。本发明专利技术生产工艺简单，操作便捷，所得微纳结构的硅材料具有跨度超过２５００ｎｍ的吸收光谱，且反射率低于１０％。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，涉及激光加工技术，采 用飞秒激光脉冲，通过物理变化和化学变化的共同作用，制备出宽光谱范围内具有高吸收 效率的微纳结构硅材料。
技术介绍
能源是现代人类社会发展的首要前提条件，而太阳能取之不尽，用之不竭，是对环 境无任何污染的新型可再生能源的首选。充分利用太阳能是解决未来能源短缺，保护环境， 降低释放温室效应气体，防止全球变暖的有效途径。2000年至2008年，全球太阳能电池的 产量年均复合增长率约为47%，2008年产量达到6. 4GW。我国的光伏产业在近几年也有了 迅猛发展，生产的光伏电池总量占了全球总量的30%，成为全球光伏电池生产第一大国。众所周知，提高太阳能电池光电转换效率的关键是光伏材料的性能、结构等方面 的改进。而欲在光伏材料上有所突破，进一步提高其对太阳能光谱的有效吸收率，就一定要 有新的，非传统的材料或改进传统材料的制备方法。超短脉冲激光与光伏材料相作用，得到 的具有微纳结构的新型材料正满足这一要求。理论分析表明，在100%吸收太阳光全光谱并且和对应所有吸收频段的带隙都最 优化的前提条件下，太阳辐射能转换成电能的理想卡诺循环极限效率为86. 8%，单本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微纳结构硅材料的制备系统，包括钛宝石飞秒激光器、反射镜、连续可调衰减片、光快门、透镜、不锈钢长腔真空室和三维调整台，其特征在于：反射镜、连续可调衰减片、光快门、透镜和三维调整台固定在光学平台上，不锈钢真空室安装在三维调整台上，所述的不锈钢真空室前端设置有窗片，不锈钢长腔真空室内部的后表面粘贴有硅片，不锈钢长腔真空室与外部的真空室充气管道连接，所述的真空室充气管道上设置有两个微调阀，光快门通过导线与脉冲计数器连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亦鸣，彭滟，温雅，阮邵崧，许丽兰，张大伟，陈麟，曹剑炜，倪争技，庄松林，
申请(专利权)人：上海理工大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]