本发明涉及信号检测技术领域，具体涉及一种用于半导体缺陷检测的高速数字锁相方法及系统，本发明通过时钟树结构生成多路时钟信号，并输出该多路时钟信号进行相位对齐，同时发送指令将使芯片内置的通用参考信号定时器复位，控制所有的时钟输出分频器同步对...