一种适用超薄板材的撕膜机制造技术

本发明专利技术公开了一种适用超薄板材的撕膜机，包括机架

【技术实现步骤摘要】
一种适用超薄板材的撕膜机


[0001]本专利技术涉及半导体
，具体涉及一种适用超薄板材的撕膜机
。

技术介绍

[0002]半导体显影蚀刻工艺过程中，会有一道撕膜的工艺，即完成蚀刻后将板材表面的薄膜去除
。
该工艺中，对于板材功能区的防护，行业内有很高要求
。
在撕膜之前，薄膜有一定保护功能区的作用，可以使用常规的传输方式
(
皮带或滚轮等传输
)
进行传输；薄膜去除后，板材功能区就暴露在外，需要避免与外界的直接接触
。
[0003]中国专利
202210103866.X
公开了一种膜板分离装置，该膜板分离装置中采用下压夹紧板材前边缘方式对板材进行固定以实现撕膜，撕膜结束，采用交错滚轮式流道进行传送
。
但是对于超薄封装基板
(
一般厚度为
0.08mm
‑
0.1mm)
，其基板本身比较柔软刚性不足，仅仅靠夹住基板前边缘，撕膜过程中容易变形或坍塌
。
而且撕膜结束，采用交错滚轮式流道传输，在传送过程中，滚轮不可避免地会与板材的功能区接触，从而会对板材表面造成损伤和污染
。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种适用超薄板材的撕膜机，该撕膜机中的夹紧平移装置能将板材的前
、
左
、
右侧边夹住从而使板材绷紧，避免板材在撕膜过程中或者平移过程中坍塌变形，且不会接触板材的功能区
。
[0005]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0006]一种适用超薄板材的撕膜机，包括机架
、
设于机架上用于传送板材的输送辊道
、
设置于所述输送辊道前部附近的撕膜装置
、
以及间隔设置在撕膜装置前方的下料装置，所述输送辊道上设有起泡装置，所述撕膜装置包括用于先将板材头部的部分薄膜从板材上粘起的粘膜机构和后夹住薄膜被粘起部分并将剩余薄膜完全撕除的撕膜夹爪，还包括用于将撕膜装置处的板材夹紧并平移至下料装置处的夹紧平移装置，所述夹紧平移装置包括设置于所述机架上的横向驱动组件
、
由横向驱动组件驱动的支撑座
、
以及分别设置于所述支撑座上用于夹紧板材的前
、
左
、
右侧边缘从而使该板材紧绷的夹具
。
[0007]由于板材的基板厚度为
0.08mm
‑
0.1mm
的超薄基板，该基板自身柔软刚性不足，且极易变形坍塌
。
采用上述结构后，夹紧平移装置中的前
、
左
、
右侧夹紧机构可以将板材边缘夹住并绷紧，且板材在撕膜过程中或者前移过程中板材底面不需要辊道支撑，这样可以避免与板材的功能区接触不会对板材表面造成污染和损伤，而且使用夹紧平移装置在对板材撕膜过程中或者平移过程中也不会坍塌变形
。
[0008]作为本专利技术进一步的方案：所述阵列装置包括位于输送辊道后部左
、
右两侧由相对的推板电机驱动的推板
、
位于输送辊道后部下方辅助轮电机
、
由所述辅助轮电机驱动的多个能在两个所述辊子之间上下穿行的辅助轮，所述辅助轮的滚动方向与板材的前进方向垂直
。
采用这样的结构后，当辅助轮电机驱动多个辅助轮带着板材上升，在多个辅助轮的支
撑作用下，推板电机驱动推板推动板材，实现了板材的精确定位
。
同时因为板材被左右推动时辅助轮的滚动方向与板材的移动方向一致，从而减少了推板电机推动板材时产生的摩擦力，避免板材变形损坏
。
[0009]作为本专利技术进一步的方案：所述下料装置包括平台底座
、
安装在所述平台底座上的平台驱动机构
、
由所述平台驱动机构驱动的吸附平台
、
以及安装在所述吸附平台旁边的所述机架上的扫描机构，其中，所述平台驱动机构用于驱动吸附平台在竖直方向上的升降和旋转，以及在横向方向和纵向方向上的前进和后退
。
采用上述结构后，对板材位置进行校正时，不用与板材直接进行接触，避免板材变形
。
[0010]作为本专利技术进一步的方案：所述吸附平台包括底板
、
和固定在底板上四个边缘真空吸块
、
一个横向真空吸块以及两个纵向真空吸块，其中，四个边缘真空吸块的表面
、
一个横向真空吸块表面以及两个纵向真空吸块表面齐平形成一个田字形吸附面，能够将所述板材吸住并固定住
。
采用这样的结构能防止板材的坍塌，而且，田字形吸附面与板材接触的位置都避让开板材中的功能区，避免污染损坏板材
。
[0011]作为本专利技术进一步的方案：所述底板表面固定有一对气动滑台，两个所述纵向真空吸块分别安装在相对应的所述气动滑台，所述气动滑台为所述纵向真空吸块提供驱动力
。
采用上述结构，由于板材上的功能区大小不同从而导致各个功能区之间的间隙位置不同，通过调节两个纵向的纵向真空吸块，使其抵在板材的功能区之间有间隙上，这样可以避免与板材的功能区接触
。
附图说明
[0012]下面结合附图对本专利技术作进一步的说明
。
[0013]图1是本专利技术一种适用超薄板材的撕膜机的结构示意图；
[0014]图2是本专利技术为适用超薄板材的撕膜机另一视角的结构示意图；
[0015]图3是本专利技术为阵列装置顶升前的结构示意图；
[0016]图4是本专利技术为阵列装置顶升后的结构示意图；
[0017]图5是图2所示
A
的局部放大图；
[0018]图6是本专利技术为夹具的结构示意图；
[0019]图7是本专利技术为压块的结构示意图；
[0020]图8是本专利技术为撕膜夹爪的结构示意图；
[0021]图9是本专利技术为夹爪的结构示意图；
[0022]图
10
是本专利技术为粘膜机构的结构示意图；
[0023]图
11
是本专利技术为下料装置的结构示意图；
[0024]图
12
是本专利技术为下料装置另一视角的结构示意图
。
具体实施方式
[0025]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围
。
[0026]请参阅图1和图2所示，本专利技术为一种适用超薄板材的撕膜机，包括机架
10、
设于机架
10
用于传送板材9的输送辊本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种适用超薄板材的撕膜机，包括机架
、
设于机架上用于传送板材的输送辊道
、
设置于所述输送辊道前部附近的撕膜装置
、
以及间隔设置在撕膜装置前方的下料装置，所述输送辊道上设有起泡装置，所述撕膜装置包括用于先将板材头部的部分薄膜从板材上粘起的粘膜机构和后夹住薄膜被粘起部分并将剩余薄膜完全撕除的撕膜夹爪，其特征在于：还包括用于将撕膜装置处的板材夹紧并平移至下料装置处的夹紧平移装置，所述夹紧平移装置包括设置于所述机架上的横向驱动组件
、
由横向驱动组件驱动的支撑座
、
以及分别设置于所述支撑座上用于夹紧板材的前
、
左
、
右侧边缘从而使该板材紧绷的夹具
。2.
根据权利要求1所述的适用超薄板材的撕膜机
,
其特征在于：所述夹具包括夹块伸缩气缸
、
安装在夹块伸缩气缸上的夹块升降气缸
、
以及由夹块升降气缸驱动的一对能上下开合的夹块
。3.
根据权利要求2所述的适用超薄板材的撕膜机
,
其特征在于：所述夹块的外侧还设置有用于对板材进行导向的导轮
。4.
根据权利要求1所述的适用超薄板材的撕膜机
,
其特征在于：所述输送辊道包括多根沿板材前进方向间隔设置的辊子，每根所述辊子上间隔设置有多个滚动方向与板材前进方向一致的滚轮
。5.
根据权利要求4所述的适用超薄板材的撕膜机
,
其特征在于：所述输送辊道上设有阵列装置，所述阵列装置用于对被传送至输送辊道起始端的板材进行左
、
右位置的阵列
。6.
根据权利要求5所述的适用超薄板材的撕膜机
,
其特征在于：所述阵列装置包括位于输送辊道后部左
、
右两侧由相对的推板电机驱动的推板
、
位于输送辊...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁猛，赵凯，林海涛，李彬，时威，金啸宇，
申请(专利权)人：上海世禹精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：