一种超薄板材的膜板分离装置制造方法及图纸

本技术公开了一种超薄板材的膜板分离装置，包括机架、设于机架上用于传送产品的输送辊道、设置于所述输送辊道末端附近的撕膜装置，所述撕膜装置前方还间隔设置有下料工位，还包括用于将撕膜装置处的产品夹紧并平移至下料工位的夹紧平移装置，所述夹紧平移装置包括固定在机架上的一对导轨、固定在一对导轨上的支撑框架、固定在机架上用于驱动支撑框架沿导轨平移的横向驱动组件、以及夹具。夹紧平移装置夹取产品时，可以将产品边缘夹住并绷紧，避免产品在撕膜过程中或者平移过程中坍塌变形，且不会接触产品的功能区。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体，具体涉及一种超薄板材的膜板分离装置。

技术介绍

1、半导体显影蚀刻工艺过程中，会有一道撕膜的工艺，即完成蚀刻后将产品表面的薄膜去除。该工艺中，对于产品功能区的防护，行业内有很高要求。在撕膜之前，薄膜有一定保护功能区的作用，可以使用常规的传输方式(皮带或滚轮等传输)进行传输；薄膜去除后，产品功能区就暴露在外，需要避免与外界的直接接触。

2、中国专利202210103866.x公开了一种膜板分离装置，该膜板分离装置中采用下压夹紧产品前边缘方式对产品进行固定以实现撕膜，撕膜结束，采用交错滚轮式流道进行传送。但是对于超薄封装基板(一般厚度为0.08mm-0.1mm)，其基板本身比较柔软刚性不足，仅仅靠夹住基板前边缘，撕膜过程中容易变形或坍塌。而且撕膜结束，采用交错滚轮式流道传输，在传送过程中，滚轮不可避免地会与产品的功能区接触，从而会对产品表面造成损伤和污染。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种超薄板材的膜板分离装置，在使用夹紧平移装置夹取产品时，可以将产品边缘夹住并绷紧，避免产品在撕膜过程中或者平移过程中坍塌变形，且不会接触产品的功能区。

2、本技术的目的可以通过以下技术方案实现：

3、一种超薄板材的膜板分离装置，包括机架、设于机架上用于传送产品的输送辊道、设置于所述输送辊道前端附近的撕膜装置，所述撕膜装置包括用于先将产品头部的部分薄膜从产品上粘起的粘膜机构和后夹住薄膜被粘起部分并将剩余薄膜完全撕除的撕膜夹爪，所述撕膜装置前方还间隔设置有下料工位，还包括用于将撕膜装置处的产品夹紧并平移至下料工位的夹紧平移装置，所述夹紧平移装置包括固定在机架上的一对导轨、固定在一对导轨上的支撑框架、固定在机架上用于驱动支撑框架沿导轨平移的横向驱动组件、以及分别设置于支撑框架上用于夹紧产品前、左、右边缘从而使该产品能够紧绷的夹具。

4、由于产品的基板厚度为0.08mm-0.1mm的超薄基板，该基板自身比较柔软刚性不足，且极易坍塌变形。采用上述结构后，夹紧平移装置中的前、左、右侧夹紧机构可以将产品边缘夹住并绷紧，且产品在撕膜过程中或者前移过程中产品底面不需要辊道支撑，这样可以避免与产品的功能区接触不会对产品表面造成污染和损伤，而且使用夹紧平移装置在对产品撕膜过程中或者平移过程中也不会坍塌变形。

5、作为本技术进一步的方案：通过夹块的外侧还设置有导轮的结构，产品传送到夹具处时，导轮能够起到前、左、右侧导向的作用。

6、作为本技术进一步的方案：粘膜机构上、下对称设置均包括支板、设于支板上的胶带放卷、胶带收卷及第一粘膜气缸、与第一粘膜气缸相连的压架、设于压架上的第二粘膜气缸、与第二粘膜气缸相铰接的胶带压块、设于压架一侧并与胶带压块相连且控制胶带压块转动的第三粘膜气缸、设于压架另一侧的第四粘膜气缸及与第四粘膜气缸相连用以涨紧胶带的涨紧轮。使用该结构，通过第一、二、三、四粘膜气缸的配合使用，能够使胶带与薄膜粘结的更紧更牢，有助于提粘起薄膜。

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【技术保护点】

1.一种超薄板材的膜板分离装置，包括机架、设于机架上用于传送产品的输送辊道、设置于所述输送辊道前端附近的撕膜装置，所述撕膜装置包括用于先将产品头部的部分薄膜从产品上粘起的粘膜机构和后夹住薄膜被粘起部分并将剩余薄膜完全撕除的撕膜夹爪，所述撕膜装置前方还间隔设置有下料工位，其特征在于：还包括用于将撕膜装置处的产品夹紧并平移至下料工位的夹紧平移装置，所述夹紧平移装置包括固定在机架上的一对导轨、固定在一对导轨上的支撑框架、固定在机架上用于驱动支撑框架沿导轨平移的横向驱动组件、以及分别设置于支撑框架上用于夹紧产品前、左、右边缘从而使该产品能够紧绷的夹具。

2.根据权利要求1所述的超薄板材的膜板分离装置,其特征在于：所述夹具包括夹块伸缩气缸、安装在夹块伸缩气缸上的夹块升降气缸、以及由夹块升降气缸驱动的一对能上下开合的夹块。

3.根据权利要求2所述的超薄板材的膜板分离装置,其特征在于：所述夹块的外侧还设置有用于对产品进行导向的导轮。

4.根据权利要求1所述的超薄板材的膜板分离装置,其特征在于：所述粘膜机构上、下对称设置均包括支板、设于支板上的胶带放卷、胶带收卷及第一粘膜气缸、与第一粘膜气缸相连的压架、设于压架上的第二粘膜气缸、与第二粘膜气缸相铰接的胶带压块、设于压架一侧并与胶带压块相连且控制胶带压块转动的第三粘膜气缸、设于压架另一侧的第四粘膜气缸及与第四粘膜气缸相连用以涨紧胶带的涨紧轮。

5.根据权利要求1所述的超薄板材的膜板分离装置,其特征在于：所述撕膜夹爪包括夹爪横向移动组件和由夹爪横向移动组件驱动的上、下对称设置的夹爪单元，两个所述夹爪单元均包括夹爪安装框架、安装在夹爪安装框架上的夹爪升降组件、安装在夹爪升降组件上的夹爪气缸、以及由所述夹爪气缸驱动的夹爪。

6.根据权利要求1所述的超薄板材的膜板分离装置,其特征在于：所述输送辊道包括多根沿产品前进方向间隔设置的辊子，每根所述辊子上间隔设置有多个滚动方向与产品前进方向一致的滚轮。

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【技术特征摘要】

1.一种超薄板材的膜板分离装置，包括机架、设于机架上用于传送产品的输送辊道、设置于所述输送辊道前端附近的撕膜装置，所述撕膜装置包括用于先将产品头部的部分薄膜从产品上粘起的粘膜机构和后夹住薄膜被粘起部分并将剩余薄膜完全撕除的撕膜夹爪，所述撕膜装置前方还间隔设置有下料工位，其特征在于：还包括用于将撕膜装置处的产品夹紧并平移至下料工位的夹紧平移装置，所述夹紧平移装置包括固定在机架上的一对导轨、固定在一对导轨上的支撑框架、固定在机架上用于驱动支撑框架沿导轨平移的横向驱动组件、以及分别设置于支撑框架上用于夹紧产品前、左、右边缘从而使该产品能够紧绷的夹具。

2.根据权利要求1所述的超薄板材的膜板分离装置,其特征在于：所述夹具包括夹块伸缩气缸、安装在夹块伸缩气缸上的夹块升降气缸、以及由夹块升降气缸驱动的一对能上下开合的夹块。

3.根据权利要求2所述的超薄板材的膜板分离装置,其特征在于：所述夹块的外侧还设置有用于对产品进行导向的导轮。...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁猛，赵凯，林海涛，李彬，金啸宇，陆俊，
申请(专利权)人：上海世禹精密设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：