【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体生产，具体涉及一种残膜检测设备。
技术介绍
1、半导体生产i c载板生产过程中，有一道撕膜的工艺，就是把产品i c载板表面的pet膜去除。如果产品上得pet膜没有去除干净并且流到下一道工艺，会造成产品报废。
2、目前检测残膜是依靠撕膜机的检查功能，但是这样只能检查产品侧面两边各20mm宽的范围内有没有残留。而现有i c载板的尺寸达到510mmx515mm，这样不足以保证其它位置没有残留，会有损失的风险。如果采用专门岗位的人对产品一一确认是否有残留，这样既增加了人工成本，效率也比较低，不利于大批量生产；而且产品对洁净度要求都很高，每一次人为接触都增加了被沾污的风险，严重的会造成产品报废。所以有一台专门对i c载板进行残膜检查的设备是很有必要的。
技术实现思路
1、基于此，针对上述问题，本技术提供一种残膜检测设备。
2、本技术的目的可以通过以下技术方案实现：
3、一种残膜检测设备，包括机架、设于机架上用于传送产品的辊道，还包括用于对产品进行检测的检测机构和对检测不合格的产品进行缓存的缓存机构；该检测机构包括设于辊道上下方的相对的y轴直线驱动模组、和y轴直线驱动模组驱动的相机，所述缓存机构包括z轴直线驱动模组、由z轴直线驱动模组驱动的料仓。
4、作为本技术进一步的方案：所述辊道包括多根沿产品前进方向间隔设置的辊子。
5、作为本技术进一步的方案：每根所述辊子上间隔设置有多个滚轮。
6、作为本技术进一步的
7、作为本技术进一步的方案：每个所述支撑杆上间隔设置有多个支撑头。
8、作为本技术进一步的方案：所述辊道的两侧均设有若干限位轮，若干限位轮均转动安装在机架内侧且沿着机架的长度方向等距分布，可以对产品行进过程中左、右限位。
9、本技术的有益效果：该设备结构简单、使用方便、提高了效率。
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1.一种残膜检测设备，包括机架、设于机架上用于传送产品的辊道，其特征在于：还包括用于对产品进行检测的检测机构和对检测不合格的产品进行缓存的缓存机构；该检测机构包括设于辊道上下方的相对的Y轴直线驱动模组、和Y轴直线驱动模组驱动的相机，所述缓存机构包括Z轴直线驱动模组、由Z轴直线驱动模组驱动的料仓。
2.根据权利要求1残膜检测设备所述的残膜检测设备,其特征在于：所述辊道包括多根沿产品前进方向间隔设置的辊子。
3.根据权利要求2残膜检测设备所述的残膜检测设备,其特征在于：每根所述辊子上间隔设置有多个滚轮。
4.根据权利要求2残膜检测设备所述的残膜检测设备,其特征在于：所述料仓包括升降架，所述升降架中有多个间隔设置且能在两个所述辊子之间上下穿行的竖杆，每个所述竖杆上沿竖向方向间隔设置有多个水平支撑杆，该水平支撑杆与所述辊子平行且能够在两个辊子之间上下穿行，其中，每行的支撑杆形成用于承载产品的隔料层。
5.根据权利要求4残膜检测设备所述的残膜检测设备,其特征在于：每个所述支撑杆上间隔设置多个支撑头。
6.根据权利要求1残膜检测设备
...【技术特征摘要】
1.一种残膜检测设备，包括机架、设于机架上用于传送产品的辊道，其特征在于：还包括用于对产品进行检测的检测机构和对检测不合格的产品进行缓存的缓存机构；该检测机构包括设于辊道上下方的相对的y轴直线驱动模组、和y轴直线驱动模组驱动的相机，所述缓存机构包括z轴直线驱动模组、由z轴直线驱动模组驱动的料仓。
2.根据权利要求1残膜检测设备所述的残膜检测设备,其特征在于：所述辊道包括多根沿产品前进方向间隔设置的辊子。
3.根据权利要求2残膜检测设备所述的残膜检测设备,其特征在于：每根所述辊子上间隔设置有多个滚轮。
4.根据权利要求2残膜检测设备所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：林海涛，赵凯，梁猛，李彬，陈俊杰，金啸宇，
申请(专利权)人：上海世禹精密设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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