【技术实现步骤摘要】
本技术属于植球，尤其涉及一种植球对位装置。
技术介绍
1、在晶圆实际生产过程中，晶圆随晶圆载台移动至植球工位，接着，晶圆载台将晶圆上升至植球高度，因晶圆载台本身存在机械误差，故晶圆上升时并不是绝对垂直上升，导致上升后的实际位置与目标位置在前后、左右方向及旋转角度上有偏移，进一步对植球网板与晶圆进行对位。
2、在现有技术中，通常由工作人员使用类似于手持显微镜的观察工具，进行上、下、左、右、中五点对位，操作不便，且容易损坏网板，不仅需要花费不少的时间进行对位，还不能保证校准是否准确。
技术实现思路
1、基于此，针对上述技术问题，提供一种植球对位装置。
2、为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
3、一种植球对位装置，包括用于向下观察植球网板的网孔与晶圆的植球点是否对位的观察相机以及用于带动所述观察相机在所述植球网板的上方前后左右水平移动的驱动机构，所述观察相机设于所述驱动机构上，所述驱动机构通过支撑架设于晶圆植球设备的植球工位。
4、本技术...
【技术保护点】
1.一种植球对位装置，其特征在于，包括用于向下观察植球网板的网孔与晶圆的植球点是否对位的观察相机以及用于带动所述观察相机在所述植球网板的上方前后左右水平移动的驱动机构，所述观察相机设于所述驱动机构上，所述驱动机构通过支撑架设于晶圆植球设备的植球工位。
2.根据权利要求1所述的一种植球对位装置，其特征在于，所述观察相机为视野6.14mmx 4.92mm、物距220mm的相机。
3.根据权利要求1所述的一种植球对位装置，其特征在于，所述驱动机构包括用于带动第一支撑板左右水平移动的一对第一电缸以及用于带动第二支撑板前后水平移动的第二电缸，所述一对第一...
【技术特征摘要】
1.一种植球对位装置，其特征在于，包括用于向下观察植球网板的网孔与晶圆的植球点是否对位的观察相机以及用于带动所述观察相机在所述植球网板的上方前后左右水平移动的驱动机构，所述观察相机设于所述驱动机构上，所述驱动机构通过支撑架设于晶圆植球设备的植球工位。
2.根据权利要求1所述的一种植球对位装置，其特征在于，所述观察相机为视野6.14mmx 4.92mm、物距220mm的相机。
3.根据权利要求1所述的一种植球对位装置，其特征在于，所述驱动机构包括用于带动第一支撑板左右水平移动的一对第一电缸以及用于带动第二支撑板前后水平移动的第二电缸，所述一对第一电缸沿所述植球网板的中心对称分布于该植球网板的...
【专利技术属性】
技术研发人员：林海涛，赵凯，梁猛，赵康，张伟，倪海铨，邵迪，
申请(专利权)人：上海世禹精密设备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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